公开(公告)号：JP2021040110A

公开(公告)日：2021-03-11

申请号：JP2019162314

申请日：2019-09-05

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 籾山 大 ,  鈴木 実 ,  佐々木 均 ,  重住 司

IPC: H01L21/3065 ,  H02N13/00 ,  C23C16/458 ,  H01L21/683

Abstract: 【課題】プラズマ密度の面内均一性を高めることができる静電チャックを提供する。 【解決手段】第1、第2主面を有するセラミック誘電体基板と、ベースプレートと、セラミック誘電体基板の内部に設けられる第1、第2電極層と、を備え、第1電極層はZ軸方向において第1主面と第2主面との間に設けられ、第2主面側から給電され、第2電極層はZ軸方向において第1電極層と第1主面との間に設けられ、第1電極層は第1電極層の中央側に位置する第1部分と第1部分よりも外周側に位置する第2部分とを有し、第1部分は第1主面側の第1面と第1面とは反対側の第2面とを有し、第2部分は、第1主面側の第3面と第3面とは反対側の第4面とを有し、第3面はZ軸方向において第1面と第2電極層との間に位置し、第1面の電気抵抗は第1部分の平均電気抵抗よりも小さいことを特徴とする静電チャック。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP5800273B2

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：JP2010199864

申请日：2010-09-07

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 大塚 俊治 ,  土屋 勝久 ,  重住 司 ,  大江 俊春 ,  中野 清隆 ,  松尾 卓哉

IPC: H01M8/12 ,  H01M8/04

CPC classification number: Y02E60/525

公开(公告)号：JP5748055B2

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：JP2011145836

申请日：2011-06-30

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 大塚 俊治 ,  土屋 勝久 ,  重住 司 ,  大江 俊春 ,  中野 清隆 ,  松尾 卓哉

IPC: H01M8/12 ,  H01M8/04

CPC classification number: Y02E60/525

公开(公告)号：JP5748054B2

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：JP2011145835

申请日：2011-06-30

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 大塚 俊治 ,  土屋 勝久 ,  重住 司 ,  大江 俊春 ,  中野 清隆 ,  松尾 卓哉

IPC: H01M8/12 ,  H01M8/04

CPC classification number: Y02E60/525

公开(公告)号：JP5696875B2

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：JP2010199865

申请日：2010-09-07

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 大塚 俊治 ,  土屋 勝久 ,  重住 司 ,  大江 俊春 ,  中野 清隆 ,  松尾 卓哉

IPC: H01M8/12 ,  H01M8/04

CPC classification number: Y02E60/525