成膜装置以及成膜方法
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105986252A

    公开(公告)日:2016-10-05

    申请号:CN201510555649.4

    申请日:2015-09-02

    CPC classification number: B05B7/00 B05B7/22 C23C4/134

    Abstract: 本发明的实施方式提供一种使成膜的再现性进一步提高的成膜装置以及成膜方法。根据实施方式,成膜装置具备等离子体枪、检测部及控制部。等离子体枪能够喷出等离子体气体,而在照射等离子体气体的加工对象物上形成膜。检测部检测等离子体气体喷出方向上的等离子体气体中的温度或发光强度。控制部根据从检测部取得的温度或发光强度,以使温度处于第1温度以上且第2温度以下的范围的等离子体气体、或发光强度处于第1发光强度以上且第2发光强度以下的范围的等离子体气体照射到加工对象物的方式,控制加工对象物与等离子体枪的距离。

    用于多通阀的喷射器
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103153816A

    公开(公告)日:2013-06-12

    申请号:CN201180048024.9

    申请日:2011-09-16

    Abstract: 本发明涉及用于多通阀尤其是双通阀的喷射器,其具有端头(2),所述端头用于固定在阀杆的凸起在阀座之上的部分上。尽管配置多通阀,为了提取仅一种产品,端头具有截面为圆形的柱形部分,所述柱形部分中实施有数量与多通阀中存在的通道的数量一样多的输送导道(22a,22b),每个输送导道配有连接部件,当每个输送导道安装在所述阀上时,所述连接部件用于将每个输送导道密封地连接于阀的相应通道的出口,每个输送导道(22a,22b)在柱形部分的不同的径向平面中和不同的角扇形区中通到端头的柱形部分的外部。此外,喷射器配有枢转盖塞(3),所述枢转盖塞配有盲孔(31),所述盲孔具有与端头的柱形部分互补的形状,枢转盖塞配有数量与多通阀中存在的通道的数量一样多的排出导道(32a,32b)。

    动力喷嘴系统及对基底进行动力喷涂的方法

    公开(公告)号:CN100415382C

    公开(公告)日:2008-09-03

    申请号:CN200510092169.5

    申请日:2005-08-22

    CPC classification number: C23C24/04 B05B7/00

    Abstract: 一种改进型动力喷射系统及其在高速制造环境中的使用方法。所述动力喷嘴系统包括:连接至沿纵向轴线长度等于或大于20毫米的调节腔第一端的气体/粉末交换腔;具有通过喉部与发散部分分开的收敛部分的缩放超声喷嘴,发散部分包括横截面积沿其长度增加的第一部分和横截面积沿其长度大体上恒定的第二部分;和连接至与所述第一端相对的调节腔第二端的收敛部分。所述方法包括:使用添加硬质颗粒的喷嘴系统,硬质颗粒允许最大限度地增高颗粒温度同时不阻塞喷嘴;使用受控颗粒供给速度以配合非常高的横移速度;且预加热基底以清洗基底从而增强颗粒结合性能。结合所披露的喷嘴系统与方法,可在超过200厘米/秒的横移速度和超过80%的沉积效率下进行动力喷涂。

    一种高声强气液二相流雾化喷嘴

    公开(公告)号:CN107185741A

    公开(公告)日:2017-09-22

    申请号:CN201710497628.0

    申请日:2017-06-27

    CPC classification number: B05B7/00 B05B1/34

    Abstract: 本发明公开了一种高声强气液二相流雾化喷嘴,包括气路系统和水路系统,其中气路系统包括进气管、进气堵头和共振腔,水路系统包括进水管、水流导向管和水喷嘴;进气堵头设置于进气管的气体出口端并在该端形成气体高压发射口;共振腔为带有内陷腔体的结构,共振腔以内陷腔体与气体高压发射口相对的方式设置且与气体高压发射口之间形成间隙;进水管连接水流导向管,水流导向管的水流出口端连接水喷嘴,水喷嘴的喷水出口设置于气体高压发射口的相邻位置。本发明提供的高声强气液二相流雾化喷嘴通过结合二相流雾化喷嘴结构和高强声波发生结构的优化设计,通过高强声波二次协同雾化,改善普通二相流喷嘴的雾化效果,满足不同工程应用的需求。

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