公开(公告)号：CN104755174B

公开(公告)日：2017-08-04

申请号：CN201280076801.5

申请日：2012-11-05

Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社

Inventor： 白幡孝洋 ,  织田容征 ,  平松孝浩

IPC: B05B7/04 ,  B05B7/08 ,  B05B13/00

CPC classification number: C23C16/455 ,  B05B1/044 ,  B05B7/0012 ,  B05B7/0075 ,  B05B7/0483 ,  B05B12/18 ,  B05B14/00 ,  B05B15/55 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/4486 ,  C23C16/46

Abstract: 本发明提供一种成膜装置，其能够在基板上形成膜质良好的膜，能够将溶液有效地用于成膜处理，能够实现装置整体的小型化。因此，在本发明的成膜装置中，具备喷嘴(1)、第一室(2)、第一气体供给口(3a)、第二室(4)、贯通孔(5)以及喷雾口(10)。从喷嘴(1)喷射的液滴化了的溶液收纳于第一室(2)，通过来自第一气体供给口(3a)的气体，在第一室内(2)内使溶液雾化。雾化后的溶液通过贯通孔(5)从第一室(2)向第二室(4)移动，从设置于第二室(4)的喷雾口(10)朝向基板(50)雾状喷射。

公开(公告)号：CN106345623A

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：CN201610829242.0

申请日：2016-09-18

Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 ,  合肥京东方光电科技有限公司

Inventor： 张洪波 ,  马青青 ,  吴兆甑 ,  訾玉宝 ,  刘祖宏

IPC: B05B1/04 ,  B05B1/30 ,  B05B15/10 ,  B05B12/08

CPC classification number: B05B1/326 ,  B05B1/005 ,  B05B1/044 ,  B05B1/267 ,  B05C5/0262 ,  B05B1/04 ,  B05B1/30 ,  B05B12/085 ,  B05B15/70

Abstract: 本发明公开了一种气液刀和气液刀的控制方法，属于机械设备领域。气液刀包括：腔体和刀头，刀头设置在腔体上；刀头设置有喷射口，喷射口与腔体的内部连通；刀头包括第一刀唇和第二刀唇；腔体由滑动连接的第一壁板和第二壁板构成，第一壁板相对第二壁板滑动时，带动第一刀唇相对第二刀唇移动，并改变第一内壁与第二内壁的最小距离。本发明通过两个刀唇的内壁来形成喷射口，且使这两个刀唇能够发生相对移动来改变两个刀唇的内壁的最小距离，解决了相关技术中通过贴覆垫片来调节喷射口的宽度时，会由于垫片厚度上存在误差以及贴覆时的紧密程度造成喷射口宽度的误差较大的问题，达到了喷射口的宽度的调节误差较低的效果。

公开(公告)号：CN105880050A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201610087398.6

申请日：2016-02-16

Applicant: 朗姆研究公司AG

Inventor： 斯蒂芬·德特贝克 ,  托马斯·帕斯盖尔 ,  巴斯卡尔·班达拉普 ,  理查德·芬德尼格

IPC: B05B1/04

CPC classification number: B05C5/0254 ,  B05B1/00 ,  B05B1/04 ,  B05B1/044 ,  B05B1/28 ,  B05B15/40 ,  B05B15/50 ,  H01L21/00 ,  H01L21/67051

Abstract: 本发明涉及狭缝喷嘴，具体而言，一种用于分配液体到晶片的表面上的狭缝喷嘴包括具有排放开口的喷嘴本体，该排放开口的长度为10毫米至100毫米，宽度为0.5毫米至5毫米。该喷嘴本体具有位于所述排放开口的上游并延伸到所述排放开口的分配室，以及位于所述分配室上游的液体分布室。该分配室和液体分布室是相互流体连通并且通过所述喷嘴本体的收缩部隔开，该收缩部的横截面面积比所述排放开口和所述液体分布室中的每一个的横截面面积小至少20％。

公开(公告)号：CN105710056A

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201610161409.0

申请日：2016-03-21

Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 ,  合肥鑫晟光电科技有限公司

Inventor： 姚亮 ,  黄林 ,  周伟 ,  杨玉 ,  林己燮 ,  陈而论 ,  袁晨 ,  徐立铭 ,  谢呈男

IPC: B08B1/00 ,  B08B3/02

CPC classification number: B08B1/005 ,  B05B1/044 ,  B05B15/5223 ,  B05C5/005 ,  B05C5/0254 ,  B08B1/008 ,  B08B9/00 ,  B08B3/02

Abstract: 本发明提供了一种液刀清洁装置及液刀，所述液刀清洁装置包括：一用于设置在所述液刀上，并能够沿所述刀口的延伸方向进行往复移动的架体；一用于伸入所述液刀的刀口内，并能够在所述架体带动下在所述刀口内往复移动，以清洁所述刀口的清洁刮片，所述清洁刮片设置在所述架体上；以及，一用于使得所述架体在所述液刀上沿所述刀口的延伸方向往复移动的移动机构，所述架体与所述移动机构连接。本发明所提供的液刀清洁装置，可以代替以往的手动清洁，清洁液刀的刀口，可减少液帘分叉出现的概率，从而减少此类显影MURA出现的概率，提高了设备的稼动，也避免不连续流片产生的其他问题。

公开(公告)号：CN105618284A

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201610106660.7

申请日：2016-02-27

Applicant: 柳州市够旺贸易有限公司

Inventor： 谭晓云

IPC: B05B1/04 ,  B05B1/14

CPC classification number: B05B1/044 ,  B05B1/14

Abstract: 本发明公开了一种水膜喷射头，涉及水暖器材制造技术领域，包括喷射本体，所述喷射本体的出水端处设有外螺纹，所述喷射本体设有扁平段，所述扁平段从接近所述进水端至所述出水端逐渐扁平，所述本体一面呈扇形，所述本体扇形的倾斜角度为60°，所述本体的出水端扁位最小处宽度为0.6毫米至1.3毫米；所述扁平段上开有多道长孔，所述长孔的宽度为0.6毫米至1.3毫米。本发明与现有技术相比，可以解决现有喷射头无法喷多道出平面式的薄薄的水膜的问题。

公开(公告)号：CN105618282A

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201610106646.7

申请日：2016-02-27

Applicant: 柳州市够旺贸易有限公司

Inventor： 谭晓云

IPC: B05B1/04

CPC classification number: B05B1/044

Abstract: 本发明公开了一种水膜喷射头，涉及水暖器材制造技术领域，包括喷射本体，所述喷射本体的出水端处设有外螺纹，所述喷射本体设有扁平段，所述扁平段从接近所述进水端至所述出水端逐渐扁平，所述本体一面呈扇形，所述本体扇形的倾斜角度为60°，所述本体的出水端扁位最小处宽度为0.6毫米至1.3毫米。本发明与现有技术相比，可以解决现有喷射头无法喷出平面式的薄薄的水膜的问题。

公开(公告)号：CN104684652A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201380051549.7

申请日：2013-09-30

Applicant: 格瑞克明尼苏达有限公司

Inventor： 马克·E·乌利齐

IPC: B05B5/025 ,  B05B7/14

CPC classification number: B05B5/0533 ,  B05B5/03 ,  B05B5/0532 ,  B05B5/082 ,  B05B7/0815 ,  B05B13/02 ,  B05B1/044 ,  B05B5/025

Abstract: 一种静电喷枪，包括:枪筒；壳体，所述壳体被连接到枪筒；喷嘴梢组件，所述喷嘴梢组件与壳体以及第一接地杆相反地被连接到枪筒。喷嘴梢组件位于枪筒的一端处并且具有延仲远离枪筒的电极。所述第一接地杆被电连接到壳体，但是与喷嘴梢组件电隔离，并且沿右枪筒从壳体朝向喷嘴梢组件延伸。

公开(公告)号：CN103736606A

公开(公告)日：2014-04-23

申请号：CN201310719283.0

申请日：2013-12-23

Applicant: 清华大学深圳研究生院

Inventor： 刘学平 ,  徐强 ,  王汉 ,  向东 ,  牟鹏 ,  段广洪

IPC: B05B1/04 ,  B05B1/34 ,  G03F7/20

CPC classification number: B05B1/044 ,  G03F7/30

Abstract: 一种集成式出射流道结构工艺喷嘴，包括设有容置槽的喷嘴主体以及设有出射流道的第一板体，第一板体和喷嘴主体相对设置将所述容置槽封闭形成一个腔体，喷嘴主体设有连通所述腔体的供液通道，其中，所述第一板体侧立设置，所述出射流道包括一条竖向出流狭缝和复数个喷液用横向盲孔，盲孔外端连接所述腔体，盲孔内端连接出流狭缝，出流狭缝的下端贯穿第一板体的下端面。本工艺喷嘴不但能够减缓喷涂液对喷涂表面的冲击压力、能够实现均匀喷涂，而且能够有效避免由于出流狭缝变形引起的喷涂不均匀和不稳定问题。

公开(公告)号：CN103370146A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201280009332.5

申请日：2012-01-17

Applicant: 杜尔艾科克林有限公司

Inventor： 埃贡·卡斯克

IPC: B08B3/10 ,  B05B1/04

CPC classification number: B08B3/102 ,  B05B1/044 ,  B08B3/02

Abstract: 本发明涉及一种喷嘴模块（2）。喷嘴模块（2）具有模块体（4），其具有至少一个喷嘴腔（6）。喷嘴腔（6）具有至少一个用于产生至少一个流体束（56）的喷嘴开口（10）。喷嘴模块包含用于输送被施加压力的流体经过流体通道（37）到至少一个喷嘴腔（6）中的装置（39）。用于输送被施加压力的流体的装置（39）与模块体（4）相连。根据本发明，用于输送流体到模块体（4）的至少一个喷嘴腔（6）中的装置（39）具有空心体（35）。空心体（35）延伸到喷嘴腔（6）中。空心体（35）具有至少一个用于让流体流入喷嘴腔（6）中的开口（41、42）。

公开(公告)号：CN103037975A

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201180032528.1

申请日：2011-06-29

Applicant: 丰田自动车株式会社 ,  爱信化工株式会社

Inventor： 富田易智雄 ,  田岛显史 ,  永井实 ,  川合淳一

IPC: B05B1/04

CPC classification number: B05B1/044 ,  B05B1/14 ,  B05B9/002 ,  B05B9/0413

Abstract: 一种用于高粘度涂料的涂布喷嘴(10)，该涂布喷嘴(10)配置有彼此相通的引入通道(17)、内部空间(16)和喷嘴狭缝(15)，该涂布喷嘴(10)利用来自喷嘴狭缝(15)的高粘度涂料沿半径方向喷涂涂装体。在平面图中，该喷嘴狭缝(15)被构造成具有预定中心角的扇形形状。当该喷嘴狭缝(15)被视作具有扇形形状时，扇形喷嘴狭缝(15)的弧用作喷嘴狭缝出口(15E)。该喷嘴狭缝出口(15E)具有大于等于35mm的喷嘴狭缝出口宽度(W)和小于等于0.01的扁平率(F)，其中喷嘴狭缝高度(D)表示该喷嘴狭缝出口(15E)的间隙，该喷嘴狭缝出口宽度(W)表示该弧的弦，并且该扁平率(F)代表该喷嘴狭缝高度(D)与该喷嘴狭缝出口宽度(W)之比。