改进的气溶胶涂布装置和方法

    公开(公告)号:CN108495719A

    公开(公告)日:2018-09-04

    申请号:CN201780005524.1

    申请日:2017-02-23

    Abstract: 本发明涉及一种涂布方法和一种用于实现所述方法的装置,所述涂布方法改进沉降在较复杂物体上的涂层的均匀性,较复杂物体如多孔衬底或具有空洞或曲线形式的衬底。所述涂布装置包含沉积腔室和装载结构,所述装载结构被配置成将物体装载到所述沉积腔室的某个位置中以及从所述沉积腔室卸载所述物体。所述涂布装置包含处于所述沉积腔室的底部部分中的雾化元件,所述雾化元件在所述沉积腔室中形成气溶胶体积,所述气溶胶体积包含处于所述沉积腔室的顶部部分中的浮动气溶胶区域。所述装载结构被配置成将所述物体装载到所述沉积腔室中的所述浮动气溶胶区域中的某个位置中。

    雾滴涂布成膜装置及雾滴涂布成膜方法

    公开(公告)号:CN108472676A

    公开(公告)日:2018-08-31

    申请号:CN201580085271.4

    申请日:2015-12-11

    Inventor: 李天明

    CPC classification number: B05B7/26 B05B17/06 B05C9/14 B05D1/02

    Abstract: 本发明的目的是提供能够均匀地成膜出膜厚为100nm以下的薄膜的雾滴涂布成膜装置及雾滴涂布成膜方法。并且,在本发明中,涂布液雾化机构(50)执行涂布液雾滴产生处理,即,利用产生超声波的超声波振子(1)将涂布液5雾化而产生涂布液雾滴(6)。雾滴涂布机构(70)执行涂布液雾滴涂布处理,即,由雾滴涂布头(8)向载置于移动平台(10)上的基板(9)的表面上供给涂布液雾滴(6),在基板(9)的表面上涂布涂布液雾滴(6)。烧成和干燥机构(90)执行烧成和干燥处理,即,在热板(13)上将表面上涂布有涂布液雾滴(6)的基板(9)进行烧成和干燥,使由涂布液雾滴(6)形成的液膜的溶剂蒸发而在基板(9)的表面上成膜出薄膜。

    使用同时旋转与振动的涂覆材料分配

    公开(公告)号:CN105873686B

    公开(公告)日:2018-08-24

    申请号:CN201480071815.7

    申请日:2014-10-16

    Abstract: 本发明提供使用同时振动与旋转分配涂覆材料的方法及系统。在振动期间产生的惯性力及在旋转期间产生的离心力再分配先前沉积于表面上的所述涂覆材料,从而产生均匀及/或保形层。所述经涂覆表面可具有各种形状及粗糙度且可称为复杂表面。可使用浸渍、喷涂、旋涂或其它相似技术将所述涂覆材料的初始层沉积于部件的复杂表面上。通过使用特别选择的工艺条件使所述部件同时旋转及振动来再分配所述涂覆材料,所述特别选择的工艺条件是例如振动及旋转轴相对于所述部件的定向、旋转速度以及振动频率及振幅。可使用不同工艺条件重复所述再分配操作一或多次以确保所述复杂表面的不同部分上的均匀分配。

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