公开(公告)号：WO03057639A8

公开(公告)日：2003-09-04

申请号：PCT/US0235811

申请日：2002-11-07

Applicant: 3M INNOVATIVE PROPERTIES CO

Inventor： ANDERSON MARK T ,  SCHARDT CRAIG R ,  ONSTOTT JAMES R ,  BUDD KENTON D

IPC: C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  H01S3/067 ,  H01S3/16 ,  H01S3/17 ,  C03B19/10 ,  C03B19/14 ,  C03B37/018

CPC classification number: C03C17/3618 ,  C03C3/06 ,  C03C13/046 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/3652 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3405 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/3458 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/3494 ,  C03C2201/36 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1616 ,  H01S3/1693 ,  H01S3/1695 ,  H01S3/176

Abstract: An optical waveguide including a core having silica, Al, a non-fluorescent rare-earth ion, Ge, Er, and Tm. The non-fluorescent rare-earth ion may be La. Exemplary compositions concentrations are Er is from 15 ppm to 3000 ppm, Al is from 0.5 mol% to 12 mol%, La is less than or equal to 2 mol%, Tm is from 15 ppm to 10,000 ppm; and the Ge is less than or equal to 15 mol%. The core may further include F. An exemplary concentration of F is less than or equal to 6 anion mol%.

Abstract translation: 一种光波导，其包含具有二氧化硅，Al，非荧光稀土离子，Ge，Er和Tm的核。 非荧光稀土离子可以是La，示例性的组成浓度是Er为15ppm至3000ppm，Al为0.5mol％至12mol％，La小于或等于2mol％，Tm为 15 ppm至10,000 ppm; 并且Ge小于或等于15摩尔％。 芯可进一步包括F.F的示例性浓度小于或等于6阴离子摩尔％。

公开(公告)号：WO2006104178A1

公开(公告)日：2006-10-05

申请号：PCT/JP2006/306379

申请日：2006-03-22

Applicant: ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED ,  HAYASHI, Hideaki ,  KOIKE, Akio ,  KAWATA, Mitsuhiro ,  SUGIMOTO, Naoki ,  KIKUGAWA, Shinya ,  YAMADA, Kenji

Inventor： HAYASHI, Hideaki ,  KOIKE, Akio ,  KAWATA, Mitsuhiro ,  SUGIMOTO, Naoki ,  KIKUGAWA, Shinya ,  YAMADA, Kenji

IPC: C03C3/06 ,  C03B19/14 ,  G02B1/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1438 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/40 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/34 ,  C03C23/0095 ,  C03C2201/24 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3405 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/40 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/54

Abstract: To provide quartz-type glass for a microlithographic projection exposure apparatus, which contains at least 51 mass% of SiO 2 and which further contains at least one member selected from the group consisting of lanthanum, aluminum, hafnium, nitrogen, scandium, yttrium and zirconium. It is a material which is useful for an illumination system for a microlithographic projection exposure apparatus or as a projection object lens and has a refractive index at 248 nm larger than 1.508 of quartz glass and a refractive index at 193 nm larger than 1.560 of quartz glass and which can be small-sized.

Abstract translation: 为了提供含有至少51质量％的SiO 2的微光刻投影曝光装置的石英型玻璃，还含有选自镧，铝，铪等的至少一种， 氮，钪，钇和锆。 它是一种用于微光刻投影曝光装置的照明系统或投影物镜并且具有大于1.508的石英玻璃的248nm的折射率和大于石英玻璃的1.560的193nm的折射率的材料 并且可以是小尺寸的。

公开(公告)号：WO2003057640A1

公开(公告)日：2003-07-17

申请号：PCT/US2002/037404

申请日：2002-11-21

Applicant: 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY

Inventor： ANDERSON, Mark, T. ,  SCHARDT, Craig, R. ,  ONSTOTT, James, R. ,  BUDD, Kenton, D.

IPC: C03C13/04

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1065 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01838 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/36 ,  C03B2203/29 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3405 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/3458 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/3494 ,  C03C2201/36 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1616 ,  H01S3/1693 ,  H01S3/1695 ,  H01S3/1698 ,  H01S3/17 ,  H01S3/176 ,  Y02P40/57

Abstract: A method of making an erbium-doped optical fiber for use in optical amplifiers according to the present invention includes the step of providing a substrate tube. High purity silica-based cladding layers are deposited on the inside of the tube. A core glass that includes silica, Al, a non-fluorescent rare-earth ion, Ge, Er, and Tm is then depositedin the tube. The non-fluorescent rare-earth ion may be La and the core may further include F. The tube is then collapsed to form a preform. Finally, the preform is drawn to yield optical fiber. The core glass may be substantially homogeneous. The core may include at least two regions, wherein one region contains a substantially different Er toTm ratio than the other region. Said regions may be in an annular arrangement. The core of such a waveguide may be made with multiple MCVD passes, multiple sol-gel passes or with multiple soot deposition, solution doping, and consolidation passes.

Abstract translation: 根据本发明的制造用于光放大器的掺铒光纤的方法包括提供衬底管的步骤。 高纯度的二氧化硅基包覆层沉积在管的内部。 然后在管中沉积包括二氧化硅Al，非荧光稀土离子Ge，Er和Tm的芯玻璃。 非荧光稀土离子可以是La，并且芯可以进一步包括F.然后将管塌缩以形成预制件。 最后，预制​​件被拉伸以产生光纤。 芯玻璃可以是基本均匀的。 芯可以包括至少两个区域，其中一个区域包含与其它区域基本上不同的Er至Tm比率。 所述区域可以是环形布置。 这种波导的核心可以通过多次MCVD通过，多次溶胶 - 凝胶通过或多次烟灰沉积，溶液掺杂和固结通过来制成。

公开(公告)号：WO2003057639A1

公开(公告)日：2003-07-17

申请号：PCT/US2002/035811

申请日：2002-11-07

Applicant: 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY

Inventor： ANDERSON, Mark T., ,  SCHARDT, Craig R., ,  ONSTOTT, James R., ,  BUDD, Kenton D.,

IPC: C03C13/04

CPC classification number: C03C17/3618 ,  C03C3/06 ,  C03C13/046 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/3652 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3405 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/3458 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/3494 ,  C03C2201/36 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1616 ,  H01S3/1693 ,  H01S3/1695 ,  H01S3/176

Abstract: An optical waveguide including a core having silica, Al, a non-fluorescent rare-earth ion, Ge, Er, and Tm. The non-fluorescent rare-earth ion may be La. Exemplary compositions concentrations are Er is from 15 ppm to 3000 ppm, Al is from 0.5 mol% to 12 mol%, La is less than or equal to 2 mol%, Tm is from 15 ppm to 10,000 ppm; and the Ge is less than or equal to 15 mol%. The core may further include F. An exemplary concentration of F is less than or equal to 6 anion mol%.

Abstract translation: 包括具有二氧化硅的芯，Al，非荧光稀土离子，Ge，Er和Tm的光波导。 非荧光稀土离子可以是La，示例性组合物浓度为Er为15ppm至3000ppm，Al为0.5mol％至12mol％，La为小于或等于2mol％，Tm为 15 ppm至10,000 ppm; Ge小于或等于15mol％。 芯可以进一步包括F. F的示例性浓度小于或等于6阴离子摩尔％。

公开(公告)号：TW200301378A

公开(公告)日：2003-07-01

申请号：TW091135160

申请日：2002-12-04

Applicant: 3M新設資產公司 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY

Inventor： 馬克 泰道爾 安德森 MARK THEODORE ANDERSON ,  桂格 羅素 史佳德 CRAIG RUSSELL SCHARDT ,  詹姆士 羅伯特 安斯都特 JAMES ROBERT ONSTOTT ,  肯頓 迪瑞克 鮑德 KENTON DEREK BUDD

IPC: C03B ,  G02B

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1065 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01838 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/36 ,  C03B2203/29 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3405 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/3458 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/3494 ,  C03C2201/36 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1616 ,  H01S3/1693 ,  H01S3/1695 ,  H01S3/1698 ,  H01S3/17 ,  H01S3/176 ,  Y02P40/57

Abstract: 根據本發明之製造用於光學放大器中摻雜鉺之光學纖維之方法，其包括以下步驟：提供底材管(substrate tube)，高純度、以矽石為主之覆套層係沉積於該管之內部，然後將核心玻璃，其包含矽石、Al、一種非螢光之稀土金屬離子、Ge、Er、及Tm，沉積於該管中。該非螢光之稀土金屬離子可為La，及該核心可進一步包含F。然後將該管陷縮(collapsed)以形成預成型物。最後，拉伸該預成型物以產生光學纖維。該核心玻璃可為實質上均勻的。該核心可包含至少兩個區域，其中一個區域包含與另一個區域實質上不同之Er比Tm比。該等區域可呈環狀排列。此種波導之核心可係藉由多重MCVD(化學蒸氣沉積)通道(passes)、多重溶膠-凝膠通道、或以多重煤灰(soot)沉積、溶液摻雜、及固結(consolidation)通道而製造。

Abstract in simplified Chinese: 根据本发明之制造用于光学放大器中掺杂铒之光学纤维之方法，其包括以下步骤：提供底材管(substrate tube)，高纯度、以硅石为主之覆套层系沉积于该管之内部，然后将内核玻璃，其包含硅石、Al、一种非萤光之稀土金属离子、Ge、Er、及Tm，沉积于该管中。该非萤光之稀土金属离子可为La，及该内核可进一步包含F。然后将该管陷缩(collapsed)以形成预成型物。最后，拉伸该预成型物以产生光学纤维。该内核玻璃可为实质上均匀的。该内核可包含至少两个区域，其中一个区域包含与另一个区域实质上不同之Er比Tm比。该等区域可呈环状排列。此种波导之内核可系借由多重MCVD(化学蒸气沉积)信道(passes)、多重溶胶-凝胶信道、或以多重煤灰(soot)沉积、溶液掺杂、及固结(consolidation)信道而制造。

公开(公告)号：TW200301377A

公开(公告)日：2003-07-01

申请号：TW091134079

申请日：2002-11-22

Applicant: 3M新設資產公司 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY

Inventor： 馬克 泰道爾 安德森 MARK THEODORE ANDERSON ,  桂格 羅素 史考德 CRAIG RUSSELL SCHARDT ,  詹姆斯 羅伯特 安史都特 JAMES ROBERT ONSTOTT ,  肯頓 迪瑞克 鮑德 KENTON DEREK BUDD

IPC: C03C ,  G02B

CPC classification number: C03C17/3618 ,  C03C3/06 ,  C03C13/046 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/3652 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3405 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/3458 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/3494 ,  C03C2201/36 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1616 ,  H01S3/1693 ,  H01S3/1695 ,  H01S3/176

Abstract: 本案係揭示一種光學波導件，其包含具二氧化矽、A1、非螢光稀土離子、Ge、Er及Tm之核芯。非螢光稀土離子可為La。示範之組合物濃度：Er為15ppm至3000ppm，A1為0.5莫耳%至12莫耳%，La小於或等於2莫耳%，Tm為15ppm至10,000ppm，且Ge小於或等於15莫耳%。核芯尚可含有F。F之示範濃度小於或等於6陰離子莫耳%。

Abstract in simplified Chinese: 本案系揭示一种光学波导件，其包含具二氧化硅、A1、非萤光稀土离子、Ge、Er及Tm之核芯。非萤光稀土离子可为La。示范之组合物浓度：Er为15ppm至3000ppm，A1为0.5莫耳%至12莫耳%，La小于或等于2莫耳%，Tm为15ppm至10,000ppm，且Ge小于或等于15莫耳%。核芯尚可含有F。F之示范浓度小于或等于6阴离子莫耳%。