公开(公告)号：CN101566589B

公开(公告)日：2011-08-10

申请号：CN200910135979.2

申请日：2009-05-07

Applicant: 深圳先进技术研究院

Inventor： 金雷 ,  张元亭 ,  龚小竞 ,  杨郡 ,  张艳东

IPC: G01N23/02 ,  G01N21/84 ,  G01J3/453

CPC classification number: G01N21/3581 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02014 ,  G01B9/02069 ,  G01N2021/1785

Abstract: 本发明涉及一种太赫兹成像装置和太赫兹成像方法。所述太赫兹成像装置包括太赫兹脉冲发射装置、分振幅干涉装置、探测器；所述分振幅干涉装置将太赫兹脉冲发射装置发射的太赫兹脉冲分为参考光和信号光；并且使参考光和信号光的光程差小于一个波列长度，此时，参考光和信号光发生分振幅干涉，产生包含有样品信息的太赫兹脉冲分振幅干涉信号；所述探测器接收太赫兹脉冲分振幅干涉信号，产生包含有样品信息的电信号。所述太赫兹成像装置是采用分振幅干涉的手段对样品进行成像，因此可以对样品进行真正的三维成像，并且具有高分辨率和高信噪比的优点。与传统的太赫兹成像技术相比，本发明在光学成像领域可以说是一个开拓性发明。

公开(公告)号：CN102057269A

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN200980120703.5

申请日：2009-11-23

Applicant: 齐戈股份有限公司

Inventor： 马克·戴维森 ,  简·莱塞纳 ,  彼得·德格鲁特 ,  泽维尔·科洛纳德莱加 ,  莱斯利·L·德克

IPC: G01N21/45 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B9/0209 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02039 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02068 ,  G01B9/02077 ,  G01B11/2441 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70 ,  Y10T29/49002

Abstract: 一种设备包括宽带扫描干涉测量系统，该系统包括光学部件，用以结合来自测试物的测试光和参考光，而在探测器上形成干涉图案。该设备还包括配置为扫描从共用光源至探测器的、所述测试光和参考光之间的光程差(OPD)的台，以及包括探测器的探测器系统，用以纪录一系列的光程差增量的每一者的干涉图案，每一个光程差增量的频率定义帧频。光学部件被配置以产生至少二个监测干涉测量信号，当扫描光程差时，干涉测量信号的每一者表示光程差的变化，探测器系统被配置以纪录监测干涉测量信号。该设备包括处理器，被配置以对于大于所述帧频的频率的OPD增量，决定所述光程差增量对扰动灵敏度的信息。

公开(公告)号：CN101765765A

公开(公告)日：2010-06-30

申请号：CN200880101132.6

申请日：2008-06-03

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 岩井秀直 ,  山内丰彦

IPC: G01N21/45 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02069 ,  G01B9/0201 ,  G01B11/06 ,  G01B2290/35 ,  G01N21/45

Abstract: 本发明的光学特性测量装置(1)具备光源部(10)、第1光耦合器(21)、第2光耦合器(22)、透镜(31)、透镜(32)、相位调制部(40)、驱动部(41)、光程长度差调整部(50)、控制部(51)、受光部(60)、同步检测部(70)以及测量部(80)。相位调制部(40)以频率(f)对光进行相位调制。同步检测部(70)在输出对应于从受光部(60)输出的电信号中所含的频率(f)的成分的大小的值的第1信号的同时，输出对应于该电信号中所含的频率(2f)的成分的大小的值的第2信号。控制部(51)以根据从同步检测部(70)输出的第1信号或者第2信号而使被光程长度差调整部(50)调整的光程长度差为规定值的方式进行控制。

公开(公告)号：CN107883880A

公开(公告)日：2018-04-06

申请号：CN201711037010.2

申请日：2017-10-30

Applicant: 曲阜师范大学

Inventor： 马任德 ,  夏云杰 ,  李晓平 ,  高德营

IPC: G01B11/02 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B11/02 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02034

Abstract: 本发明公开了检索正弦相位调制激光干涉数字信号波形拐点位置的方法，包括两个互补的拐点检索方案，分别为间断点检索方案、相邻零点间距检索方案。去除相邻零点间距检索方案中的错误点后，把两种方案检索的拐点位置合并，即可得到正弦相位调制激光干涉信号波形的所有拐点位置。本发明可以精确检索正弦相位调制激光干涉数字信号波形中拐点位置，在光干涉信号处理领域具有极高的应用价值。

公开(公告)号：CN106441082A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201610881939.2

申请日：2016-10-08

Applicant: 南方科技大学

Inventor： 王恺 ,  邓建 ,  郝俊杰 ,  徐冰 ,  孙小卫

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24

CPC classification number: G01B9/0201 ,  G01B11/2441

Abstract: 本发明实施例提供了一种相位恢复方法及装置，其中该方法包括：获取由参考光束和穿过待测物体的探测光束形成的干涉图像；将所述干涉图像进行滤波、归一化处理；基于相移变换系数对归一化后的干涉图像进行相移变换，获取预设数量的相移干涉图像；采用相位恢复算法从所述相移干涉图像中恢复待测物体带有包裹的相位信息；对带有包裹的所述相位信息进行解包裹处理。本发明实施例仅需单幅干涉图像就可以恢复待测物体的相位，且相位恢复的精度高、处理时间短。

公开(公告)号：CN106197257A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201610529724.4

申请日：2016-07-06

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 唐燕 ,  何渝 ,  胡松 ,  赵立新 ,  周毅

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24

CPC classification number: G01B9/0201 ,  G01B11/2441

Abstract: 本发明公开了一种振幅相位联合调制超分辨三维微纳结构形貌测量装置，包括白光光源、准直系统、数字微镜阵列、第一成像系统、分光棱镜、干涉显微物镜、三维运动工件台、第二成像系统、CCD和控制系统，白光光源发出的光经准直系统后，照射到数字微镜阵列表面，通过控制数字微镜阵列对光场振幅进行调制，调制后的光场经分光镜入射到Mirau干涉显微系统，经过Mirau干涉镜内部分光镜分为两束后分别成像到参考反射镜与待测微纳结构表面，反射光场相位信息受到参考镜面与待测微纳结构纵向高度的调制，两束反射光干涉后通过衍射受限系统，形成的光强分布图像最终被图像采集系统接收。本发明能够实现对大面积微纳结构的超分辨三维形貌检测，可以对高分辨力微纳结构进行检测。

公开(公告)号：CN105674875A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201610006912.9

申请日：2016-01-05

Applicant: 中国科学院光电研究院

Inventor： 张文喜 ,  李杨 ,  相里斌 ,  伍洲 ,  孔新新 ,  吕笑宇 ,  刘志刚 ,  郭晓丽

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24

CPC classification number: G01B9/02096 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02015 ,  G01B9/02076 ,  G01B11/2441

Abstract: 本发明公开了一种全视场低频外差点衍射干涉仪，采用声光移频器外差干涉移相，有效避免干涉仪存在运动件，测量精度进一步提高，抗干扰性好，且研制难度与成本可以降低，相比机械驱动同样的优势更明显。同时，采用两根光纤分别产生测量光与参考光，而不是用出射光的一部分，结合了光纤点衍射光容易获得，灵活调整的优点，相比典型的光纤点衍射干涉仪系统，又可以提高测量数值孔径范围。此外，采用研磨角度的光纤头与分光平片相胶合的方式实现点衍射测量光与参考光的合束，合束由半透半反平片的外侧面实现，避免了会聚光斑的波前受到衍射孔边缘的干扰，且容易实现，成本低廉。

公开(公告)号：CN103565415A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201310308798.1

申请日：2013-07-22

Applicant: 三星电子株式会社 ,  韩国科学技术院

Inventor： 任宰均 ,  朴龙根 ,  张在德 ,  俞贤昇 ,  李性德 ,  张祐荣

IPC: A61B5/00

CPC classification number: G01B9/02091 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02083 ,  G01N2021/1787

Abstract: 提供一种产生层析图像的方法和设备。所述方法和设备确定空间光调制器的至少一个基本图案，其中，空间光调制器根据布置了像素的图案来调制入射光线的相位；通过执行空间移位调制获得基础图案的多个移位图案，其中，所述空间移位调制针对基础图案将像素的布置竖直或水平地移动预定数量；通过使用通过穿过空间光调制器并进入对象的入射光线获得的光线的谱信号，产生基础图案的层析图像和基础图案的多个移位图像的层析图像；基于产生的层析图像，从基础图案和多个移位图案之中选择产生最清晰的层析图像的一个图案；通过使用选择的图案来产生最终层析图像。

公开(公告)号：CN102105105A

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：CN200980128730.7

申请日：2009-07-21

Applicant: 光视有限公司

Inventor： 托尼·柯 ,  赵勇华 ,  戴维·黄

IPC: A61B6/00

CPC classification number: A61B3/102 ,  A61B3/0025 ,  A61B5/0066 ,  A61B5/0073 ,  A61B5/7257 ,  G01B9/02004 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02021 ,  G01B9/02028 ,  G01B9/02044 ,  G01B9/02091

Abstract: 本发明提出了一种成像仪，该成像仪可以提供与样品中的不同深度相对应的分离图像。根据本发明的一些实施例，成像仪可以包括：光源；样品臂，接收来自光源的光，将所述光导引至样品，并且捕获从所述样品返回的光；调制源，提供与所述样品中的不同成像深度相对应的不同调制；检测器系统，用于接收采用不同调制从样品捕获的光；以及处理器，接收来自检测器系统的光，并且对与所述样品中的不同成像深度相对应的多个图像进行分离。

公开(公告)号：CN1220030C

公开(公告)日：2005-09-21

申请号：CN03149200.2

申请日：2003-06-20

Applicant: 富士能株式会社

Inventor： 葛宗濤

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24 ,  G02F1/21 ,  G06F17/00

CPC classification number: G01B9/02083 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/0209

Abstract: 在一种低相干性干涉条纹分析方法中，利用包络函数，把由样品的物光和参考光形成的干涉条纹光强分布，表示为光强的分布函数。接着进行相位移动，以便对每一移动行程测量光强。根据由此在相应各移动行程上测量的光强，计算光强分布函数的未知参数。然后，根据计算的未知参数，确定包络函数曲线的峰值位置。根据由此确定的峰值位置，确定样品的相位信息。