公开(公告)号：CN106768343A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201710019301.2

申请日：2017-01-11

Applicant: 中国地质大学(北京)

Inventor： 高禄

IPC: G01J3/45 ,  G01J1/44

CPC classification number: G01J3/45 ,  G01J1/44 ,  G01J2001/442

Abstract: 本发明提供了一种热光非定域角双缝干涉方法及系统，该系统包括光路上依次设置的热光源、非偏振分束器、空间光调制器、单光子探测器和计算机；所述第一光路与所述第二光路上的元器件对称设置。本发明利用非相干热光源，首次实现了利用非相干热光源轨道角动量域的关联特性的角双缝干涉；降低了对光源相干性的要求，从而拓展了其应用范围，可以实现对待测物体的非定域探测。系统中的两个光路，一个光路可以称为物光光路，另一个被称为参考光路。

公开(公告)号：CN106662824A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201580037024.7

申请日：2015-06-19

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： A·辛格 ,  H·P·M·佩莱曼斯 ,  P·沃纳尔

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70491 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/45 ,  G01N21/4788 ,  G01N2201/06113 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633

Abstract: 检查装置(100)用于测量衬底上的目标。相干辐射跟随用于照射目标(T)的照射路径(实线)。收集路径(虚线)收集来自目标的衍射辐射并且将其传递至锁定图像检测器(112)。参考束跟随参考路径(点线)。声光调制器(108)偏移参考束的光学频率，使得锁定检测器处的辐射的强度包括时变分量，其具有与衍射辐射与参考辐射的频率之间的差相对应的特征频率。锁定图像检测器记录表示时变分量的幅度和相位的二维图像信息。具有不同偏移(110)的第二参考束跟随第二参考路径(点划线)。两个参考束之间的敢骚扰可用于强度标准化。

公开(公告)号：CN106574868A

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201580042523.5

申请日：2015-07-21

Applicant: 赛默科技便携式分析仪器有限公司

Inventor： C·M·加德纳 ,  M·布尔卡

IPC: G01J3/28 ,  G01J3/45 ,  G01N21/15 ,  G01N21/55

CPC classification number: G01N21/552 ,  G01J3/28 ,  G01J3/45 ,  G01J2003/2873 ,  G01N21/15 ,  G01N21/274 ,  G01N2021/3595

Abstract: 本发明表征一种用于减小在FTIR或FTIR‑ATR光谱法中采集背景谱的频率的方法。此方法包含确定是否存在可用的预先存在的参考谱，以及如果此参考谱可用，则在获取样本扫描之前获取当前参考扫描。所述方法还包含将所述当前参考扫描与所述预先存在的参考谱比较以确定其间是否存在一或多个非一致性，以及如果存在一或多个非一致性，则确定是否所述一或多个非一致性为可解析的。如果所述一或多个非一致性为可解析的；以所确定方式解析每一非一致性并且其后获取所述样本的扫描，且如果所述非一致性为不可解析的，则获取新参考样本并且其后获取所述样本的扫描。

公开(公告)号：CN106525241A

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201610945887.0

申请日：2016-10-26

Applicant: 北京雪迪龙科技股份有限公司

Inventor： 敖小强 ,  石磊

IPC: G01J3/45 ,  G01J3/02

CPC classification number: G01J3/45 ,  G01J3/02

Abstract: 本发明提出一种干涉仪及光谱仪。该干涉仪包括壳体、激光器、分束器、平面镜和动镜扫描机构；激光器和分束器固定在壳体上；平面镜用于反射光束；动镜扫描机构包括支架、摆动臂、枢轴、第一角镜、第二角镜和驱动装置，支架固定在壳体上，摆动臂通过枢轴连接在支架上，用于折返平面镜反射光束的第一角镜和第二角镜固定在摆动臂上且对称的分布在分束器的两侧，驱动装置连接摆动臂。该光谱仪包括干涉仪、红外光源和抛物面镜。本发明的干涉仪及光谱仪，具有环境适应性强、结构紧凑、体积小、重量轻、稳定性高、低成本优点，能够在工业现场的环境中使用。

公开(公告)号：CN106404174A

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201610809243.9

申请日：2016-09-07

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 李建欣 ,  徐文辉 ,  柏财勋 ,  沈燕 ,  刘勤

IPC: G01J3/28 ,  G01J3/45

CPC classification number: G01J3/2823 ,  G01J3/45

Abstract: 本发明公开了一种高通量双折射干涉成像光谱仪装置及其成像方法，包括共光轴依次设置的前置成像物镜、光阑、准直物镜、第一平行分束偏光棱镜、第一Wollaston棱镜、第二Wollaston棱镜、第二平行分束偏光棱镜、成像物镜和探测器。来自目标的入射光在探测器上形成干涉，由探测器获得目标的干涉图像信息，最后经过傅立叶变换光谱复原处理后得到目标的光谱信息。本发明相比于传统的双折射干涉成像光谱系统，在装置中引入平行分束偏光棱镜，将光通量提高到50%以上，提高了系统信噪比，有利于提高光谱复原精度。

公开(公告)号：CN105806481A

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：CN201610169726.7

申请日：2016-03-23

Applicant: 复旦大学

Inventor： 袁亚飞 ,  李晶

IPC: G01J3/45

CPC classification number: G01J3/45

Abstract: 本发明属于光学测量技术领域，具体为一种迈克尔逊型光谱仪失调自动校准系统和方法。本发明系统包括：光源、动镜、定镜、分束片、透镜、探测器、信号预处理模块、数据滤波采样模块、数据处理与算法控制模块、压电陶瓷驱动电路及二维定镜执行机构，整个系统采用模块化设计；本发明在定镜机构上采用线性压电陶瓷电机驱动方式，实现镜面在俯仰和水平方向上的两维可调节；采用闭环自动搜索控制方式，通过粗调节和精细调节两个闭环算法达到干涉失调的校准。本发明实现了失调校准调节的自动化和最优化，对高精密的光谱仪测量技术可靠性和准确性提供了自动化的校准技术方案。

公开(公告)号：CN105683726A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201480059031.2

申请日：2014-10-31

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 柴山胜己 ,  笠原隆 ,  广瀬真树 ,  川合敏光

IPC: G01J3/26

CPC classification number: G01J3/26 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/45 ,  G01J5/04 ,  G01J5/20 ,  G02B26/001

Abstract: 本发明所涉及的光谱传感器(1A)的特征在于：具备：法布里-珀罗干涉滤光片(10)，具有光透过区域(11)；光检测器(3)，检测透过光透过区域(11)的光；垫片(4A,4B)，在光透过区域(11)的周围区域支撑法布里-珀罗干涉滤光片(10)；芯片键合树脂(5)，粘结法布里-珀罗干涉滤光片(10)和垫片(4A,4B)。芯片键合树脂(5)在从光透过区域(11)中的光的透过方向来看的情况下具有连通周围区域的内侧和周围区域的外侧的一个开口部(A2)。

公开(公告)号：CN103154684B

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201180040415.6

申请日：2011-08-19

Applicant: 新南创新有限公司

Inventor： 查尔斯·查贝尔·哈博 ,  托马斯·加里·斯宾塞 ,  托比·克瑞斯蒂恩·博伊森

IPC: G01J3/42 ,  G01J3/433 ,  G01N21/00

CPC classification number: G01N21/59 ,  G01J3/42 ,  G01J3/4338 ,  G01J3/45 ,  G01N21/31 ,  G01N21/39 ,  G01N2021/3595 ,  G06F17/00

Abstract: 描述了用于分析时域信号的系统和方法。该方法包括：在混频器（150）中，将时间衰减信号（115）与由本地振荡器（120）生成的本地振荡器信号（122）进行混频，产生混频信号，从该混频信号生成傅里叶变换的时间衰减信号，傅里叶变换的时间衰减信号包括本地振荡器信号（122）的基本频率处的基本的变换的时间衰减信号和多个频率处的多个变换的时间衰减信号；以及确定基本频率处和与基本频率不同的频率处的变换的时间衰减信号中的每一个的幅度。

公开(公告)号：CN105571717A

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201510718129.0

申请日：2015-10-29

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： C·奥伯米勒

IPC: G01J3/45 ,  G01J3/02

CPC classification number: G01J3/0259 ,  G01J3/0227 ,  G01J3/26 ,  G01J3/45 ,  G02B13/001 ,  G02B26/001

Abstract: 本发明涉及光谱计、光谱计的制造方法以及光谱计的操作方法。在各个实施例中，提供了一种光谱计。光谱计可以包括：第一镜单元，对于至少一个波长或波长范围的电磁辐射是半透明的；以及第二镜单元，包括面对第一镜单元的第一区域和第二区域，第一区域和第二区域的至少一部分与第一镜单元隔开，第一区域对于至少一个波长或波长范围的电磁辐射是至少部分反射的，第二区域包括光电检测器的至少一部分，光电检测器被配置为检测至少一个波长或波长范围的电磁辐射。

公开(公告)号：CN105509888A

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201510887218.8

申请日：2015-12-04

Applicant: 天津津航技术物理研究所

Inventor： 刘舒扬 ,  周涛 ,  贾晓东 ,  苏建忠

IPC: G01J3/45

CPC classification number: G01J3/45

Abstract: 本发明涉及一种基于频域分析的傅里叶光谱数据线性滤波处理方法，属于光谱分析技术领域。本发明在进行数据预处理之后、非线性操作之前就进行频率滤波，避免了对干涉图进行傅里叶变换得到光谱图的数据处理流程中，补零和相位校正的过程所引入的非线性处理操作所引起的光谱数据发生错误的问题，从而提高了数据的准确性。