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公开(公告)号：CN106463428B
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201580023431.2
申请日：2015-05-04
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G06T7/00 , G01N21/8851 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N21/95607 , G01N2021/8887 , G01N2021/95676 , G01N2201/06113 , G01N2201/10 , G01N2201/12 , G06T7/0008 , G06T7/001 , G06T2207/10056 , G06T2207/30148
Abstract: 本发明提供用于检测光罩上的缺陷的系统及方法。实施例包含产生及/或使用包含光罩图案的成对的预定分段及对应近场数据的数据结构。可基于光罩的由光罩检验系统的检测器产生的实际图像通过回归来确定所述预定分段的所述近场数据。接着，检验光罩可包含：将所述光罩上的检验区中所包含的图案的两个或两个以上分段分别与所述预定分段进行比较；及基于所述分段中的至少一者最类似于的所述预定分段而将近场数据指派到所述分段中的所述至少一者。接着，可使用所述所指派近场数据来模拟将由所述检测器针对所述光罩形成的图像，可将所述图像与由所述检测器产生的实际图像进行比较以进行缺陷检测。
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公开(公告)号：CN104749155B
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201310740974.9
申请日：2013-12-27
Applicant: 同方威视技术股份有限公司
IPC: G01N21/65
CPC classification number: G01N21/65 , G01J3/28 , G01J3/44 , G01J3/4412 , G01N2201/06113 , G01N2201/12
Abstract: 本发明公开了一种用于检测容装体中的样品的拉曼光谱检测方法，包括以下步骤：（a）对容装体的拉曼光谱进行测量以获得第一拉曼光谱信号；（b）透过容装体对容装体中的样品的拉曼光谱进行测量以获得第二拉曼光谱信号；（c）利用第一拉曼光谱信号从第二拉曼光谱信号中去除容装体的拉曼光谱导致的干扰以获得样品自身的第三拉曼光谱信号；和（d）基于第三拉曼光谱信号对样品进行识别。借助于上述方法，能够通过从混有容装体拉曼光谱的样品拉曼光谱信号中去除容装体所导致的干扰来获得能够正确反映样品自身的属性的拉曼光谱信号。该方法可以对容装体中的样品的拉曼光谱进行准确的检测，从而有效地识别待测样品。
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公开(公告)号：CN104685414B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201380050529.8
申请日：2013-07-31
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 徳久章
IPC: G02F1/37 , H01L21/027 , H01S3/00 , H01S3/10
CPC classification number: H01S3/2391 , G01N21/88 , G01N2201/06113 , G03F7/70058 , H01S3/06754 , H01S3/1618 , H01S5/0092 , H01S5/06216 , H01S5/06246 , H01S5/0683 , H01S5/4087
Abstract: 激光装置具备：激光发生部(1)，具有产生第1波长的激光的第1光源和产生第2波长的激光的第2光源；放大部，对第1波长以及第2波长的激光分别进行放大而输出第1放大光和第2放大光；波长变换部，将第1放大光进行波长变换为第1变换光，从第1变换光和第2放大光通过波长变换来产生输出光，或者，将第1放大光和第2放大光分别进行波长变换为第1变换光和第2变换光，从第1变换光和第2变换光通过波长变换来产生输出光；以及控制部，控制激光发生部的动作，控制部构成为通过控制来自第1光源的激光的输出和来自第2光源的激光的输出的相对定时，在波长变换部中的输出光的产生位置，调节第1变换光和第2放大光的时间上的重叠、或者第1变换光和第2变换光的时间上的重叠，控制输出光的输出状态。
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公开(公告)号：CN105021632B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201510350555.3
申请日：2010-09-01
Applicant: 克拉-坦科股份有限公司
Inventor： D·坎戴尔 , V·列文斯基 , A·斯维泽 , J·塞利格松 , A·希尔 , O·巴卡尔 , A·马纳森 , Y-H·A·庄 , I·塞拉 , M·马克维兹 , D·纳格利 , E·罗特姆
IPC: G01N21/956
CPC classification number: G01N21/47 , G01B11/02 , G01B11/0641 , G01B2210/56 , G01N21/211 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/4792 , G01N2201/06113 , G01N2201/105 , G03F7/70625 , G03F7/70633
Abstract: 提供了计量系统以及方法。所述计量系统包括：被配置成产生衍射受限光束的光源；变迹器，所述变迹器被配置成在照射光学器件的入射光瞳中使所述光束成形；光学元件，所述光学元件被配置成将所述衍射受限光束从所述变迹器定向到晶片上的光栅靶上的所述照射斑并且收集来自所述光栅靶的散射光；被配置成拒绝一部分所收集散射光的视场光阑；检测器，所述检测器被配置成检测穿过所述视场光阑的散射光并且响应于检测到的散射光生成输出以使所述光栅靶由所述计量系统使用散射计量来测量；以及被配置成使用所述输出来确定所述光栅靶的特性的计算机系统。
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公开(公告)号：CN107305185A
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201610261539.1
申请日：2016-04-25
Applicant: 潘栋雄
Inventor： 潘栋雄
CPC classification number: G01N21/65 , G01N21/87 , G01N2201/06113
Abstract: 本发明公开了一种利用拉曼在三阶光谱的特征峰来区分天然与合成钻石的方法，包括以下步骤：提供一拉曼分析仪，激光功率为50 mw，光谱平均收集时间为0.1秒，平均20次，并利用其S/N>16,000高灵敏度的特性，再以探测头扫描测试样品；提供一程序进行自动波数与强度校正，及去背景荧光，以利获得具有正确强度与基线平坦的拉曼设定图谱范围；及以校正标准化后的拉曼三阶特征峰来快速区分天然与合成钻石。本发明提供的方法是天然与合成钻石的快速鉴定与分析方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104515760B
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201410787361.5
申请日：2014-12-17
Applicant: 深圳市纳观生物有限公司
IPC: G01N21/64
CPC classification number: G01N21/6428 , G01N21/6458 , G01N2021/6441 , G01N2201/06113
Abstract: 本发明提供了一种双色荧光定位超分辨率生物显微方法和系统，所述方法包括有：使用Alexa647和Alexa750荧光分子，或Cy5和Cy7荧光分子对生物样品进行双色荧光标记，并将生物样品浸泡在成像缓冲液中；通过激光照射生物样品，分别产生与Alexa647或Cy5荧光分子对应的第一通道闪烁荧光信号，以及与Alexa750或Cy7荧光分子对应的第二通道闪烁荧光信号；根据第一、第二通道闪烁荧光信号，分别构建第一、第二生物结构超分辨率图像；将第一、第二生物结构超分辨率图像进行对准处理以构建出第三生物结构超分辨率图像。借此，本发明超分辨率生物显微成像技术不会产生通道串扰，并且可大幅降低背景噪音，从而提高了成像质量。
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公开(公告)号：CN107271403A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201610213507.4
申请日：2016-04-07
Applicant: 南京理工大学
CPC classification number: G01N21/47 , G01M11/02 , G01N2201/06113
Abstract: 本发明公开了一种基于光散射的光学薄膜LIDT测试装置，包括共光轴依次设置脉冲激光器、半波片、格兰-泰勒棱镜、会聚透镜和待测样品，其所在的光轴为脉冲击打光轴；还包括构成共光轴测试光路的半导体激光器、扩束镜和孔径光阑，其所在的光轴为测试光轴，测试光轴与脉冲击打光轴存在夹角α，半导体激光器发出测试光，经扩束镜和孔径光阑后，射到待测样品前表面，经待测样品前表面散射，被CCD探测器接收；脉冲激光器发出的脉冲激光经半波片至格兰-泰勒棱镜，经格兰-泰勒棱镜反射和透射，透射光经会聚透镜会聚至待测样品。本发明更加稳定和高效，且适合在光学工厂中使用和搭建，成本低廉，操作简便。
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公开(公告)号：CN107202798A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201710500785.2
申请日：2017-06-27
Applicant: 苏州天键衡电子信息科技有限公司
Inventor： 叶晓龙
CPC classification number: G01N21/94 , G01N21/47 , G01N21/4738 , G01N21/84 , G01N21/8806 , G01N2021/4735 , G01N2021/8477 , G01N2201/06113 , G01N2201/062
Abstract: 本发明提供一种表面污浊度检测仪，其特征在于，包括盒体、光源及接收镜头，所述盒体设有电源、信号处理系统、检测室及按钮；所述检测内设有对称的V型光道，所述光源与接收镜头分别设置于V型光道末端，所述V型光道底部设有检测口。使用时，先设定标准值或对清理过的表面进行采样作为标准值，将检测口压紧待测表面防止漏光，按下发射按钮，光源发光通过待测表面反射光线被接收镜头接收，并记录数据。污浊表面会产生更多的漫反射，通过对比数据的方式确定清洁度。
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公开(公告)号：CN107003624A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580068285.5
申请日：2015-11-19
Applicant: ASML控股股份有限公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70133 , G01N21/4738 , G01N2201/061 , G01N2201/06113 , G01N2201/068 , G02B5/04 , G02B27/106 , G03F7/70091 , G03F7/70191 , G03F7/70208
Abstract: 一种检查设备可以使用光瞳对称化器确定衬底上目标的精确OV测量值以减小检查设备对于光瞳面中照射光束的非对称性和非均匀性的敏感性。检查设备包括照射系统，其通过(1)分割照射束为子光束，(2)引导子光束沿着不同光学分支，(3)在两个维度中反转或旋转至少一个子光束，并且沿着照射路径重新组合子光束以对称化强度分布，从而形成了对称照射光瞳。进一步配置照射系统以使得第一子光束和第二子光束具有大于至少一个光源的时间相干性长度并小于物镜光学系统的光瞳面中焦深的光程差。
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公开(公告)号：CN106990093A
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201710321788.X
申请日：2017-05-09
Applicant: 广州纤维产品检测研究院
IPC: G01N21/65
CPC classification number: G01N21/65 , G01N2201/0221 , G01N2201/06113 , G01N2201/08 , G01N2201/12
Abstract: 本发明公开了一种棉涤混纺织物检测专用便携式拉曼光谱仪及其定量方法，一方面，本发明提供了一种便携式棉涤混纺织物检测专用便携式拉曼光谱仪，包括相铰接的箱盖和底座，所述的底座内设有内空的容置区，所述容置区底部设有底板及设于底板上的纵横布置的竖向分隔板，所述的底座通过底板、竖向分隔板及底座内侧壁分隔为安装有激光器的第一容纳区和安装有光谱仪及电源装置的第二容纳区，所述的竖向分隔板上方还设有横向支撑板；所述的激光器和光谱仪分别与光纤探头的输入端和输出端相连。另一方面，本方法还提供了一种棉涤混纺织物检测专用便携式拉曼光谱仪的定量方法。通过本发明可以进行精确高效的测量，并且实现环保快速无损。
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