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公开(公告)号：CN105793970B
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201480065989.2
申请日：2014-11-05
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01N21/93 , G01B11/06 , G01B11/0675 , G01B2210/56 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2201/061 , G01N2201/105 , G01N2201/11 , G01N2201/125 , G03F7/705 , G03F7/70616
Abstract: 本发明提供用于确定晶片检验过程的一或多个参数的方法及系统。一种方法包含采集由晶片计量系统产生的针对晶片的计量数据。所述方法还包含基于所述计量数据而确定用于所述晶片或另一晶片的晶片检验过程的一或多个参数。
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公开(公告)号：CN105021632B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201510350555.3
申请日：2010-09-01
Applicant: 克拉-坦科股份有限公司
Inventor： D·坎戴尔 , V·列文斯基 , A·斯维泽 , J·塞利格松 , A·希尔 , O·巴卡尔 , A·马纳森 , Y-H·A·庄 , I·塞拉 , M·马克维兹 , D·纳格利 , E·罗特姆
IPC: G01N21/956
CPC classification number: G01N21/47 , G01B11/02 , G01B11/0641 , G01B2210/56 , G01N21/211 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/4792 , G01N2201/06113 , G01N2201/105 , G03F7/70625 , G03F7/70633
Abstract: 提供了计量系统以及方法。所述计量系统包括：被配置成产生衍射受限光束的光源；变迹器，所述变迹器被配置成在照射光学器件的入射光瞳中使所述光束成形；光学元件，所述光学元件被配置成将所述衍射受限光束从所述变迹器定向到晶片上的光栅靶上的所述照射斑并且收集来自所述光栅靶的散射光；被配置成拒绝一部分所收集散射光的视场光阑；检测器，所述检测器被配置成检测穿过所述视场光阑的散射光并且响应于检测到的散射光生成输出以使所述光栅靶由所述计量系统使用散射计量来测量；以及被配置成使用所述输出来确定所述光栅靶的特性的计算机系统。
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公开(公告)号：CN107091844A
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201710377845.6
申请日：2017-05-25
Applicant: 东莞市联洲知识产权运营管理有限公司
Inventor： 徐亚维
CPC classification number: G01N21/88 , G01N21/01 , G01N21/8806 , G01N2021/0112 , G01N2201/105
Abstract: 本发明公开了一种汽车钣金平面横向移动式检测机构，包括机架，所述机架的顶板的两侧固定有支撑板，上支撑板固定在两个支撑板的顶面上，安装座固定在机架的顶板的中部，安装座的顶面上固定有放置固定板，放置固定板的顶面两侧固定有竖直板，竖直板的外侧壁上固定有夹紧气缸，夹紧气缸的推杆穿过竖直板并固定有夹持板；所述上支撑板的中部具有贯穿通孔，上支撑板的中部底面铰接有旋转螺套，旋转螺套的底端固定有旋转齿轮，上支撑板的顶面固定有升降电机，升降电机的输出轴穿过上支撑板并固定有驱动齿轮，驱动齿轮与旋转齿轮相啮合。本发明可以将工件夹持，其工业相机可以自动上下和左右横向调节，从而实现自动快速检测，其效果好，效率高。
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公开(公告)号：CN105378444A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201380077774.8
申请日：2013-06-25
Applicant: 普睿司曼股份公司
IPC: G01M11/00
CPC classification number: G01N21/954 , C03B37/025 , G01M11/088 , G01M11/37 , G01N2021/9548 , G01N2201/06113 , G01N2201/105
Abstract: 一种用于通过使用被引导到杆形透明物体上的平行光射线的扫描射束检验杆形透明物体中的缺陷的方法，该射束与物体的纵轴正交，使得检验平面包括物体的横截面。扫描射束在被插入以拦截扫描射束的平行射线的杆形物体的相对侧进行检测。来自检测器的电输出信号被处理，以产生在第一扫描方向中的第一光强度曲线图，该光强度曲线图包括由第一和第二阴影边缘界定的阴影区域，所述边缘指示物体跨检验平面的外直径。该方法包括分析第一光强度曲线图以确定阴影区域内正强度峰值的存在或不存在，并且如果强度峰值被确定为存在，则确定该强度峰值内降低强度区域的存在或不存在。如果，作为分析的结果，确定阴影区域内的强度峰值不存在或者确定降低强度区域在强度峰值内存在，则识别物体的横截面内至少一个结构缺陷的存在。在优选实施例中，杆形透明物体是用于传输光纤的生产的玻璃芯杆。
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公开(公告)号：CN105021632A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510350555.3
申请日：2010-09-01
Applicant: 克拉-坦科股份有限公司
Inventor： D·坎戴尔 , V·列文斯基 , A·斯维泽 , J·塞利格松 , A·希尔 , O·巴卡尔 , A·马纳森 , Y-H·A·庄 , I·塞拉 , M·马克维兹 , D·纳格利 , E·罗特姆
IPC: G01N21/956
CPC classification number: G01N21/47 , G01B11/02 , G01B11/0641 , G01B2210/56 , G01N21/211 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/4792 , G01N2201/06113 , G01N2201/105 , G03F7/70625 , G03F7/70633
Abstract: 提供了计量系统以及方法。所述计量系统包括：被配置成产生衍射受限光束的光源；变迹器，所述变迹器被配置成在照射光学器件的入射光瞳中使所述光束成形；光学元件，所述光学元件被配置成将所述衍射受限光束从所述变迹器定向到晶片上的光栅靶上的所述照射斑并且收集来自所述光栅靶的散射光；被配置成拒绝一部分所收集散射光的视场光阑；检测器，所述检测器被配置成检测穿过所述视场光阑的散射光并且响应于检测到的散射光生成输出以使所述光栅靶由所述计量系统使用散射计量来测量；以及被配置成使用所述输出来确定所述光栅靶的特性的计算机系统。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104471373A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201380024642.9
申请日：2013-03-15
Applicant: 巴努·欧尔梅西·贝克尔斯
Inventor： 巴努·欧尔梅西·贝克尔斯
CPC classification number: G01N21/33 , C02F1/008 , C02F1/5209 , C02F1/5245 , C02F1/56 , C02F11/14 , C02F2103/06 , C02F2103/30 , C02F2103/32 , C02F2209/00 , C02F2209/001 , C02F2209/003 , G01J3/42 , G01N21/59 , G01N2201/105
Abstract: 本申请提供一种检测过程物流中的处理剂例如絮凝剂的量的方法，所述方法包括在小于约250nm的波长下测量由所述过程物流获得的样品的至少一种吸收性质的步骤。还提供用于监控和调节处理剂向过程物流的添加的方法和系统。
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公开(公告)号：CN104155313A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201410437602.3
申请日：2010-09-01
Applicant: 克拉-坦科股份有限公司
Inventor： D·坎戴尔 , V·列文斯基 , A·斯维泽 , J·塞利格松 , A·希尔 , O·巴卡尔 , A·马纳森 , Y-H·A·庄 , I·塞拉 , M·马克维兹 , D·纳格利 , E·罗特姆
IPC: G01N21/956
CPC classification number: G01N21/47 , G01B11/02 , G01B11/0641 , G01B2210/56 , G01N21/211 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/4792 , G01N2201/06113 , G01N2201/105 , G03F7/70625 , G03F7/70633
Abstract: 提供了计量系统以及方法。所述计量系统包括：被配置成产生衍射受限光束的光源；变迹器，所述变迹器被配置成在照射光学器件的入射光瞳中使所述光束成形；光学元件，所述光学元件被配置成将所述衍射受限光束从所述变迹器定向到晶片上的光栅靶上的所述照射斑并且收集来自所述光栅靶的散射光；被配置成拒绝一部分所收集散射光的视场光阑；检测器，所述检测器被配置成检测穿过所述视场光阑的散射光并且响应于检测到的散射光生成输出以使所述光栅靶由所述计量系统使用散射计量来测量；以及被配置成使用所述输出来确定所述光栅靶的特性的计算机系统。
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公开(公告)号：CN103857984A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201280048465.3
申请日：2012-12-12
Applicant: 法罗技术股份有限公司
Inventor： 克里斯托弗·伊恩多费尔 , 莱因哈德·贝克
CPC classification number: G01B11/14 , G01C15/002 , G01N21/47 , G01N2201/06113 , G01N2201/105 , G02B26/10
Abstract: 一种用于对环境进行光学扫描和测量的装置，该装置被设计成激光扫描仪(10)，该激光扫描仪(10)具有基部(14)、能够相对于基部(14)旋转的测头(12)、能够相对于测头(12)旋转的镜(16)，其中在至少一个操作模式下，激光扫描仪(10)借助安装装置(40)安装在推车(W)上，推车(W)使与安装装置(40)固定地连接的基部(14)运动，测头(12)相对于基部(14)置靠，镜(16)旋转，并且测头(12)借助锁定装置(34k、40k)与安装装置(40)锁定。
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公开(公告)号：CN1991435A
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200610064159.5
申请日：2006-12-15
Applicant: 西门子公司
Inventor： M·维德尔
CPC classification number: G01N21/4795 , A61B5/0059 , A61B5/0064 , G01N21/6428 , G01N21/6456 , G01N2021/1787 , G01N2201/06113 , G01N2201/0636 , G01N2201/105
Abstract: 本发明涉及一种用于尤其光学扫描特别是不平的表面的扫描设备。所述扫描设备包括电磁初级辐射源、为偏转来自初级辐射源的初级辐射而设立的可控射束偏转设备、和探测器，所述探测器为探测通过初级辐射射到对象上而产生的二次辐射被设立。通过使用可控初级辐射，能够准确地照射对象的要成像的点。因此成像分辨率基本上由初级射线束的范围或者扩展确定。初级射线束同时也确定要成像的点的几何位置，使得可以去掉成像光学器件和像素化的二次辐射探测器。去掉成像光学器件极大地提高了景深清晰度，所述景深清晰度仅尚由初级辐射的扩展限制。由此可以在最大程度上可变地调整在扫描设备和要被扫描的对象之间的距离。
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公开(公告)号：CN107727579A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201710948725.7
申请日：2017-10-12
Applicant: 安徽中科光电色选机械有限公司
IPC: G01N21/17
CPC classification number: G01N21/17 , G01N2021/1765 , G01N2201/105
Abstract: 本发明公开了一种扫描采样起始点的定位方法，包括以下步骤：首先将光源与扫描镜相对设置，光源发出的光线直射在扫描镜上，扫描镜转动后在下方由外向内形成A-C的光线扫描区；在光线扫描区内侧设置单点探测器，单点探测器探测采集扫描镜的光线C，并将光信号转换为电信号；单点探测器的输出端输出图像信息采集的触发信号。本发明确保了每一帧采集到的图像都能有效拼接，提高了光电识别的精度，使扫描成像起始点的定位更加精确，避免了现有实际工程中起始点漂移情况的发生，进一步提高了图像采集的准确度。
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