表面发光型半导体激光器及其制造方法

    公开(公告)号:CN1323473C

    公开(公告)日:2007-06-27

    申请号:CN200310118604.8

    申请日:2003-11-26

    Abstract: 本发明公开了一种表面发光型半导体激光器,通过设置从包含被氧化层(6a)的台面(100)的侧面使被氧化层进行氧化而形成的氧化区域(600),在被氧化层的未被氧化部分使电流狭窄,其特征在于:在氧化区域和未被氧化部分的边界附近设置有包含质子的质子含有区域(15、16)。被氧化层在包围未被氧化部分的位置上具有注入了质子的质子含有区域,质子含有区域设置在从台面的侧面离开的位置上,并且质子含有区域中包含氧化区域和未被氧化部分。通过提高所选择的氧化中的氧化长度和电流狭窄区域的尺寸和形状的控制性能,能提高衬底面内的均匀性和再现性,抑制激光特性元件之间的误差,提高产量及其再现性。

Patent Agency Ranking