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公开(公告)号:JP2016025140A
公开(公告)日:2016-02-08
申请号:JP2014146729
申请日:2014-07-17
Applicant: TOWA株式会社
IPC: H01L21/68 , H01L21/301
Abstract: 【課題】成形済基板から切り分けたブロック域において発生する切り分け前後の位置ずれを補正する。 【解決手段】成形済基板1のブロック域1cに予め第2のアライメントマーク1fを設定したうえで、設定した第2のアライメントマーク1fの位置を、ブロック域切り分け工程前後で検出して比較し、比較結果に基づいてブロック域1cの位置を補正する。 【選択図】図9
Abstract translation: 要解决的问题:校正在从模制基材切割的块区域中切割前后的位置偏差。解决方案:将第二对准标记1f预先设置在模制基板1的块区域1c中,然后 在块区域切割步骤之前和之后检测并比较所设置的第二对准标记1f的位置,并且基于比较结果来校正块区域1c的位置。图9
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公开(公告)号:JP2015228450A
公开(公告)日:2015-12-17
申请号:JP2014114188
申请日:2014-06-02
Applicant: TOWA株式会社
Inventor: 高 丈明
Abstract: 【課題】大形の半導体基板上に装着した複数の半導体素子を一括して樹脂封止するための圧縮樹脂封止型において、キャビティ底面部材とキャビティ側面部材との嵌合摺動部に浸入付着した樹脂カスを型外へ効率良く排出する。 【解決手段】キャビティ底面部材22の上下二個所にキャビティ側面部材23の内面に対する密接嵌合部22aを設ける。上下密接嵌合部22a間のキャビティ底面部材22の表面とキャビティ側面部材23の内面とから成る空隙部を樹脂カス収容部22bとして構成する。樹脂カス収容部22bに、少なくとも一つのエア供給口27及びエア排出口30を開設する。更に、エア供給口27から圧縮エアを導入して樹脂カス収容部22b内の樹脂カスを剥離して集合させると共に、エア排出口30から樹脂カス収容部22b内のエアを吸引して集合した樹脂カスを、外部へ積極的に排出する。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题:为了排出侵入腔底面构件和空腔侧构件的嵌合滑动部分并附着在其上的树脂渣,在压缩树脂密封模具中用于共同树脂密封安装在大的多个半导体元件 半导体衬底。解决方案:空腔侧构件23的内表面上的紧配合部分22a设置在空腔底表面构件22的上方和下方的两个位置。由空腔底面构件22的表面限定的空腔, 并且下部紧固部22a和空腔侧构件23的内表面构成为树脂屑容纳部22b。 至少一个空气供给口27和排气口30在树脂容纳部22b中打开。 此外,通过从空气供给口27引入压缩空气使树脂渣滓容纳部22b中的树脂渣被剥离并收集,并且通过从空气排出口30吸入树脂渣滓容纳部22b中的空气而收集的树脂渣被排出 积极向外
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公开(公告)号:JP2015214095A
公开(公告)日:2015-12-03
申请号:JP2014098564
申请日:2014-05-12
Applicant: TOWA株式会社
Inventor: 白澤 賢典
Abstract: 【課題】型締力のばらつきを抑制することが可能なモールド装置、圧縮成形装置および圧縮成形方法を提供する。 【解決手段】モールド装置は、スライドプレートの下方に設けられ、型締機構の型締力をスライドプレートに伝達するトグルリンク機構を備える。トグルリンク機構は、スライドプレートを移動させる第1リンク部材と、下部固定盤に回動可能に連結される第1端と、第1リンク部材に回動可能に連結される第2端とを有する第2リンク部材と、第2リンク部材と型締機構とを連結する第3リンク部材とを含み、スライドプレートの下方において、トグルリンク機構が少なくとも3つ配置される。 【選択図】図3
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种能够抑制模具夹紧力的变化的模制装置和压缩成型的装置和方法。解决方案:模具装置设有肘节联动装置,其配置在滑板下方并传递模具 模具夹紧机构对滑板的夹紧力。 肘节连接件具有用于移动滑板的第一连杆构件,具有可转动地连接到下固定板的第一端和可转动地连接到第一连杆构件的第二端的第二连杆构件和连接第二连杆构件的第三连杆构件 和模具夹紧机构在一起。 在滑板下方布置有至少三个拨动连杆。
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公开(公告)号:JP2015214070A
公开(公告)日:2015-12-03
申请号:JP2014097793
申请日:2014-05-09
Applicant: TOWA株式会社
Abstract: 【課題】離型性および防汚性に優れ、かつ、割れや欠けが生じにくい成形型を提供する。 【解決手段】成形型は、成形品を成形する際に使用される成形型であって、金属製の基材10と、基材10上に設けられ、酸化イットリウム、窒素および4A族元素のカチオンを含み、成形品と接触するセラミックス層20とを備える。上記成形型は、基材10とセラミックス層20との間に介在する中間層30をさらに備えてもよい。中間層30は、基材10よりも硬度が高く、かつ、セラミックス層20よりも靱性が高い部分を有する。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种具有优异的脱模性和防污性并且几乎不引起断裂或破裂的成型工具。提供一种用于模制成型制品的模具,其包括金属基材10和陶瓷 层20,其设置在基材10上并含有氧化钇,氮和4A族元素的阳离子,并与成型品接触。 成型工具还可以包括介于基材10和陶瓷层20之间的中间层30.中间层30具有比基材10更高的硬度,并且具有比陶瓷层20更高的韧性的部分。
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公开(公告)号:JP5823213B2
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:JP2011191923
申请日:2011-09-02
Applicant: TOWA株式会社
Inventor: 東 秀和
IPC: B23B19/02 , H01L21/301 , B24B41/04
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公开(公告)号:JP2015188024A
公开(公告)日:2015-10-29
申请号:JP2014065041
申请日:2014-03-27
Applicant: TOWA株式会社
Inventor: 和泉 裕也
IPC: H01L21/301
Abstract: 【課題】電子部品を外観検査した後ばら収容する切断装置及び切断方法を提供する。 【解決手段】切断装置に、複数の電子部品9を吸着する乾燥用テーブルと、乾燥用テーブルが有する複数の第1の吸引路につながる吸引ポンプと、乾燥用テーブルの上の複数の電子部品9を乾燥させる乾燥手段と、乾燥用テーブルから複数の電子部品9を受け取り吸着する仮保持機構と、乾燥用テーブルの上に置かれるプレート19と、プレート19に設けられプレート19が乾燥用テーブルの上に置かれた状態において複数の第1の吸引路につながる複数の第3の吸引路23と、プレート19の上に置かれプレート19に着脱されるふた20と、プレート19とふた20とを固定するねじ28と、複数の電子部品9がばら収容される収容箱とを備える。作業者がプレート19からふた20を取り外し、顕微鏡15を使用して複数の電子部品9を検査する。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题:在对电子部件进行外观检查之后,提供用于容纳电子部件的切割装置和方法。解决方案:切割装置具有用于吸附多个电子部件9的干燥台,与多个电子部件相互连通的抽吸泵 设置在干燥台上的第一吸入路径,用于干燥干燥台上的多个电子部件9的干燥装置,用于从干燥台接收和吸附多个电子部件9的暂时保持机构,放置在干燥台上的板19, 多个第三吸入路径23,其设置在板19上,并且在板19被放置在干燥台上的状态下与多个第一吸入路径连通,可拆卸地设置在板19上的盖20, 固定板19和盖20以及多个电子部件9容纳在其中的容纳箱。 工人将盖子20从板19上拆下,用显微镜15检查多个电子部件9。
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公开(公告)号:JP2015157397A
公开(公告)日:2015-09-03
申请号:JP2014032835
申请日:2014-02-24
Applicant: TOWA株式会社
IPC: B29C31/04
Abstract: 【課題】液状樹脂中に添加剤が添加されても、添加剤が沈殿することを防止する。 【解決手段】液状樹脂保管機構2に、蛍光体5が添加された混合液状樹脂6を貯蔵する複数のカートリッジ4A、4Bと各カートリッジ間を接続する連結部16Aとを設ける。各カートリッジ4A、4B、連結部16A、ディスペンサ3に設けられた貯留部9、及び、スタティックミキサ11の少なくとも1つに、攪拌機構MOVを設ける。攪拌機構MOVを設けることによって、混合液状樹脂6を流動させる。また、コンプレッサ13を使用して、各カートリッジ4A、4B間において、連結部16Aを経由して混合液状樹脂6を流動させる。混合液状樹脂6を流動させることによって、混合液状樹脂6に添加された蛍光体5を混合液状樹脂6とともに流動させる。したがって、蛍光体5が沈殿することを防止できる。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题:即使添加剂添加到液体树脂中也可防止添加剂沉淀。溶液:液体树脂储存机构2设置有多个储存混合液体树脂6的盒4A,4B, 已经添加了荧光体5,以及连接盒4A,4B之间的连接部16A。 搅拌机构MOV安装在盒4A,4B,连接部分16A,设置在分配器3中的存储部分9和静态混合器11中的至少一个中。混合液体树脂6通过安装 搅拌机构MOV。 混合液体树脂6通过使用压缩机13的连接部16A在盒4A,4B之间流动。添加到混合液体树脂6中的荧光体5通过使混合液体树脂6流化而与混合液体树脂6一起流动。 因此,能够防止荧光体5析出。
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公开(公告)号:JP2015101083A
公开(公告)日:2015-06-04
申请号:JP2013246069
申请日:2013-11-28
Applicant: TOWA株式会社
Abstract: 【課題】大きなフレーム枠、大きな離型フィルムであっても、離型フィルムを、シワができないように適切にフレーム枠の下部に張設して凹状収容部を作製し、樹脂材料をキャビティ内に均一の厚さで供給する方法の提供。 【解決手段】圧縮成形用型の下型キャビティの開口に対応した形状の開口を上下に有するフレーム枠36と該フレーム枠の下部の開口を被覆した離型フィルム37とにより作製した凹状収容部に均一な厚さで樹脂材料を供給する方法であって、該フレーム枠よりも大きい離型フィルムを、フィルム把持部材41,43によって二以上の方向において両側で保持することにより該離型フィルムを張設するフィルム張設工程と、前記張設された離型フィルムの上に該フレーム枠の下部全周を接触させて配置するフレーム枠配置工程とを含む。そのため、離型フィルムには、従来のように一方向にのみ引っ張っていた場合に生じていた波状のシワが発生しない。 【選択図】図6
Abstract translation: 要解决的问题:为了提供一种用于在框架的下部适当地延伸脱模膜以使得不产生褶皱的方法,即使当框架和脱模膜较大时,也形成凹形的壳体部分, 在空腔中进给均匀厚度的树脂材料。解决方案:用于在凹形壳体部分中均匀厚度地供给树脂材料的方法,该方法由以下形成:具有垂直开口的框架36,每个框架具有与下部形状相对应的形状 用于压缩成型的模具的模腔; 用于覆盖框架的下开口的脱模膜37包括:膜延伸步骤,通过两个或更多个方向的两侧的膜抓持构件41,43夹持大于框架的脱模膜,以延伸模具 释放膜; 以及框架设置步骤,在使框架的下部的整个周边与延长的脱模膜接触的同时设置框架。 结果,不会产生波浪状的皱纹,因此在常规的脱模膜的情况下产生的褶皱仅被拉到一个方向。
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公开(公告)号:JP2015100875A
公开(公告)日:2015-06-04
申请号:JP2013242692
申请日:2013-11-25
Applicant: TOWA株式会社
IPC: H01L21/301 , B23Q11/08
Abstract: 【課題】繰り返しの伸縮に対する耐久性に優れた蛇腹機構を提供する。 【解決手段】第1山折り線R1と、第1山折り線R1に屈折点aを介して一直線状に連なる第2山折り線R2と、隣接する屈折点同士を繋ぐ第3山折り線R3と、第1山折り線R1の間に平行に形成されて第3山折り線R3の中点cに接続される第1谷折り線V1と、第2山折り線R2の間に平行に形成される第2谷折り線V2と、第2谷折り線V2の内方端bと第3山折り線R3の中点cとに亘って形成される第4山折り線R4と、屈折点aと第2谷折り線V2の内方端bとに亘って形成される第3谷折り線V3とを備え、第3、第4山折り線R3、R4、及び、第3谷折り線V3によって囲まれた折込み部12が、蛇腹圧縮に伴って第2面蛇腹部10Sの内部に畳み込まれ、第4山折り線R4の長さを第3山折り線R3の長さより大きく設定してある。 【選択図】図3A
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种优异的往复伸缩运动的耐久性的波纹管机构。解决方案:波纹管机构包括第一山折线R1,与第一山折线R1连接的第二山折线R2,经由拐点a 连接相邻拐点的第三山折线R3,与第一山折线R1平行形成并与第三山折线R3的中点c连接的第一谷折线V1, 与第二山折线R2平行形成的第二谷折线V2,从第二谷折线V2的内端b到第三山折线R3的中点c形成的第四山折线R4,以及 从拐点a到第二谷折线V2的内端b形成的第三谷折线V3。 由第三和第四山折线R3和R4包围的折叠部分12和第三谷折线V3根据波纹管压缩在第二面波纹部分10S内折叠,从而将第四山折线R4的长度 长于第三山折线R3的长度。
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