基板検査装置
    194.
    发明申请
    基板検査装置 审中-公开
    基板检查装置

    公开(公告)号:WO2008035752A1

    公开(公告)日:2008-03-27

    申请号:PCT/JP2007/068333

    申请日:2007-09-21

    Inventor: 城ヶ崎 修哉

    CPC classification number: G01N21/896 G01N2201/021

    Abstract:  基板が大型化しても車両により輸送と、輸送先での組立てが容易にでき、かつ、輸送費の低減を図る。基板の搬送方向に対して直交する検査ラインを検査する検査ヘッドと、この検査ヘッドを支持するガントリーおよび基板を一定の高さに浮上させる検査用浮上ステージ部を検査ベースに一体に組み込んだ検査ユニットと、ガントリーの脚部と検査用浮上ステージ部との間の検査ベースに着脱可能に組み付けられ、基板を搬送する搬送路の一側縁に沿うように検査ユニットに対してT字状に配置され、基板を保持して搬送方向に移動させる搬送ユニットとを備え、車両による輸送の際に、搬送ユニットと検査ユニットをユニット単位に分解して輸送可能にした基板検査装置を提供する。

    Abstract translation: 提供一种即使在基板尺寸增大的情况下也容易由车辆传送的基板检查装置,容易组装在运送地点,并且降低运输成本。 基板检查装置设置有用于检查与基板传送方向正交的检查线的检查头; 检查单元,其中用于将用于支撑检查头和基板的台架浮动到固定高度的检查浮动段部分与检查基底结合; 以及在台架的腿部和检查浮动台部之间可拆卸地组装到检查基座的传送单元沿着用于将基板以T形传送到检查单元的传送路径的一个侧端设置 并保持基板沿传送方向移动。 基板检查装置可以通过拆卸到转印单元和检查单元中由车辆运输。

    生体光計測プローブ
    195.
    发明申请
    生体光計測プローブ 审中-公开
    生物光学探针

    公开(公告)号:WO2005058161A1

    公开(公告)日:2005-06-30

    申请号:PCT/JP2004/010154

    申请日:2004-07-09

    Abstract: 計測中に被検体を完全に静止させることはできないため、計測データの信頼性を高めるために、被検体の動きに対して頑健な計測プローブとする。そのため、被検体に光を照射する照明部と、被検体を透過あるいは反射あるいは散乱した光を検出する検出部と、前記照明部および前記検出部と結合し光を導く導波路と、前記照明部および前記検出部を保持する保持部と、前記保持部を被検体に固定する固定部とより構成し、前記保持部は各々独立に弾力を働かせることが可能な弾性体によって固定部と結合し、前記導波路は前記固定部に固定する。

    Abstract translation: 测量探针能够抵抗试样的运动,以提高测量数据的可靠性,因为在测量过程中样品不能完全处于静止状态。 测量探头包括用于用光照射样本的照明部分,用于检测穿过样本的光或者在样本上反射或散射的部分,与照明部分和检测部分连接以引导光的波导, 用于保持照明部分和检测部分的部分和用于将保持部分固定到样本的部分,其中保持部分通过能够独立地施加弹性力的弹性体与固定部分结合,并且波导被固定 到固定部分。

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