公开(公告)号：WO2012160845A1

公开(公告)日：2012-11-29

申请号：PCT/JP2012/053473

申请日：2012-02-15

Applicant: アルプス電気株式会社 ,  矢澤 久幸 ,  高橋 亨 ,  大川 尚信 ,  菊入 勝也

Inventor： 矢澤　久幸 ,  高橋　亨 ,  大川　尚信 ,  菊入　勝也

IPC: G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/033 ,  G01P2015/0814

Abstract: 【課題】　従来に比べて、小型で且つ、高い感度を得ることが可能なＭＥＭＳセンサを提供することを目的としている。 【解決手段】　可動電極部は、Ｘ１－Ｘ２方向に間隔を空けて配置された複数本の可動支持部５０と、各可動支持部５０の側部から延出し、各可動支持部５０にてＹ１－Ｙ２方向に間隔を空けて配置された複数本の可動電極子６０と、を有する。固定電極部は、Ｘ１－Ｘ２方向に間隔を空けて配置された複数本の可動支持部５０と、各固定支持部５１の側部から延出し、各固定支持部５１にてＹ１－Ｙ２方向に間隔を空けて配置された複数本の固定電極子６２と、を有する。複数本の可動支持部と複数本の固定支持部とがＸ１－Ｘ２方向に交互に配列されており、隣り合う可動支持部と固定支持部とが組６６にされて、各組の可動支持部と固定支持部の間にて可動電極子６０と固定電極子６２とが交互に配列されている。

Abstract translation: 发明内容本发明的目的是提供一种紧凑且能够实现比以前更高的灵敏度的MEMS传感器。 [解决方案]可移动电极具有以X1-X2方向间隔设置的多个可动支撑件（50）和从每个可移动支撑件（50）的侧面延伸出的多个可动电极构件（60） 在每个可移动支撑件（50）上以Y1-Y2方向间隔设置。 固定电极具有沿X1-X2方向间隔设置的多个可动支撑件（50）和从每个固定支撑件（51）的侧面延伸并且间隔设置的多个固定电极部件（62） 在每个固定支撑件（51）上的Y1-Y2方向上。 可移动支撑件和固定支撑件沿X1-X2方向交替布置，相邻的可移动支撑件和固定支撑件组成（66），可动电极件（60）和固定电极件（62）交替布置在 每个组的可移动支撑和固定支撑。

公开(公告)号：WO2010136358A2

公开(公告)日：2010-12-02

申请号：PCT/EP2010/056813

申请日：2010-05-18

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  NJIKAM NJIMONZIE, Frederic ,  SCHOCK, Wolfram ,  MUCHOW, Joerg ,  LESTYAN, Zoltan

Inventor： NJIKAM NJIMONZIE, Frederic ,  SCHOCK, Wolfram ,  MUCHOW, Joerg ,  LESTYAN, Zoltan

IPC: B81B3/00

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  Y10T29/49002

Abstract: Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einer äußeren Stator-Elektrodenkomponente (28) und einer äußeren Aktor-Elektrodenkomponente (24), welche über mindestens eine Außenfeder (81) mit einer Halterung (55) verbundenen ist, wobei ein verstellbares Element (10) über ein Anlegen einer ersten Spannung zwischen der äußeren Aktor-Elektrodenkomponente (24) und der äußere Stator-Elektrodenkomponente (28) um eine erste Drehachse (12) verstellbar ist, einer inneren Stator-Elektrodenkomponente (30) und einer inneren Aktor-Elektrodenkomponente (26) mit einem ersten Steg (50) mit mindestens einem angeordneten Elektrodenfinger (26a,26b), wobei das verstellbare Element (10) über ein Anlegen einer zweiten Spannung zwischen dem mindestens einen Elektrodenfinger (26a, 26b) der inneren Aktor-Elektrodenkomponente (26) und der inneren Stator-Elektrodenkomponente (30) um eine zweite Drehachse (14) verstellbar ist, und wobei die innere Aktor-Elektrodenkomponente (26) mit der äußeren Aktor-Elektrodenkomponente (24) über eine entlang der zweiten Drehachse (14) ausgerichtete Zwischenfeder (52) verbunden ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.

Abstract translation: 本发明涉及一种具有外部定子电极组件（28）和外致动器电极组件（24），其经由至少一个外弹簧（81）配有一个支座（55），其特征在于，可调节的元件连接的微机械部件（10）的 外执行器电极组件（24）和围绕旋转（12）的第一轴的外定子电极组件（28）之间施加第一电压是可调的，内部定子电极部件（30）和一个内执行器电极组件（26） 与第一土地（50）具有至少一个布置的电极指（26A，26B），其中所述可调元件（10）将所述至少一个电极指之间的第二电压（26A，26B）内的致动器电极的组件（26）和 围绕旋转的第二轴内部定子电极部件（30）（14）是可调节的，并且其中所述内部执行器电极组件（26）连接到外耳炎 沿着所述弹簧（52）之间的旋转（14）的第二轴线对齐ßeren执行器电极组件（24）连接。 此外，本发明涉及一种用于微机械部件的制造方法。

公开(公告)号：WO2010034552A2

公开(公告)日：2010-04-01

申请号：PCT/EP2009060025

申请日：2009-08-03

Applicant: BOSCH GMBH ROBERT ,  FEYH ANDO

Inventor： FEYH ANDO

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81B7/007 ,  B81B2201/033 ,  B81B2207/095 ,  B81C2203/0118 ,  B81C2203/036 ,  Y10T29/49126

Abstract: The invention relates to a method for producing a micromechanical component (300) that comprises providing a first substrate (100), forming a microstructure (150) on the first substrate (100), wherein the microstructure (150) comprises a moving function element (151), providing a second substrate (200), and forming in the second substrate (200) an electrode (251) for capacitively measuring a deflection of the function element (151). The method further comprises connecting the first and the second substrates (100; 200), wherein a closed cavity which encloses the function element (151) is formed, and wherein the electrode (251) adjoins the cavity in an area of the function element (151).

Abstract translation: 用于制造微机械装置（300）根据本发明的方法包括提供第一衬底（100），第一基板（100），其中所述微结构（150）具有可移动的功能元件（151）上形成微结构（150）， 提供第二基片（200）;以及形成在用于电容检测的功能元件（151）的位移的第二基板（200）的电极（251）。 该方法还包括连接所述第一和第二基板（100; 200），其中封闭的腔中形成，其包围所述功能元件（151），并且其中，在所述功能元件的区域中的电极（251）到所述腔（151 ）毗邻。

公开(公告)号：WO2009010355A2

公开(公告)日：2009-01-22

申请号：PCT/EP2008/057553

申请日：2008-06-16

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  CLASSEN, Johannes

Inventor： CLASSEN, Johannes

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0086 ,  B81B2201/033 ,  B81B2203/0136 ,  G01P15/125

Abstract: Es wird ein mikromechanisches Bauelement und ein Verfahren zum Betrieb eines mikromechanischen Bauelements vorgeschlagen, wobei das mikromechanische Bauelement eine Feststruktur und eine seismische Masse aufweist, wobei die Feststruktur erste Elektroden und die seismische Masse zweite Elektroden aufweist und wobei die seismische Masse gegenüber der Feststruktur in einer zur direkten Verbindungslinie der seismischen Masse mit der Feststruktur parallelen Hauptbewegungsrichtung in einer Haupterstreckungsebene der Feststruktur beweglich ist und wobei ferner in einer Ruhelage der seismischen Masse die ersten Elektroden und die zweiten Elektroden derart voneinander beabstandet sind, dass keine Überlappung der ersten Elektroden relativ zu den zweiten Elektroden in einer zur Hauptbewegungsrichtung senkrechten ersten Richtung in der Haupterstreckungsebene vorgesehen ist und lediglich in einem Auslenkungszustand eine derartige Überlappung entsteht.

Abstract translation: 公开了一种微机械部件和用于操作微型机械装置的方法，该微机械部件具有实心结构和振动质量，其中第一电极的固体结构和振动质量具有第二电极，以及其中，所述地震质量相对的固定结构在用于 直线振动质量连接到运动的固定结构平行的主方向是固定结构的主延伸平面中移动和进一步其中，所述第一电极和所述第二电极中的地震质量的静止位置相互间隔开的，没有首先相对于第二电极的电极中的重叠 垂直于第一方向的主运动方向的方向在主延伸平面提供与仅在偏转状态下形成这样的重叠。

公开(公告)号：WO2009010309A1

公开(公告)日：2009-01-22

申请号：PCT/EP2008/006070

申请日：2008-07-10

Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. ,  HOFMANN, Ulrich ,  QUENZER, Hans-Joachim ,  OLDSEN, Marten

Inventor： HOFMANN, Ulrich ,  QUENZER, Hans-Joachim ,  OLDSEN, Marten

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  H04N5/74

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  G02B26/105

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Mikrosystem mit mindestens einem Mikrospiegel (1) und mindestens einem Mikrospiegelaktuator (2) zum Schwenken des mindestens einen Mikrospiegels (1) um mindestens eine Achse aus einer entspannten Ruhelage heraus, umfassend einen Rahmenchip und eine auf dem Rahmenchip angeordnete transparente Abdeckung (3), wobei der Rahmenchip einen Chiprahmen (10) aufweist, an dem der mindestens eine Mikrospiegel (1) elastisch schwenkbar angelenkt ist, wobei der mindestens eine Mikrospiegel (1) ferner innerhalb des Chiprahmens (10) und in einer zwischen der transparenten Abdeckung (3) und einer Trägerschicht gebildeten Kavität (11) angeordnet ist. Dabei ist der mindestens eine Mikrospiegel (1) um die mindestens eine Achse schwenkbar an einem Rahmen (14) angelenkt ist, der seinerseits schwenkbar an dem Chiprahmen (10) angelenkt ist, wobei der Rahmen (14) dauerhaft aus einer durch die Trägerschicht definierten Chipebene herausgeschwenkt ist, so dass der Mikrospiegel (1) in seiner Ruhelage um einen nichtverschwindenden Winkel gegenüber der Chipebene gekippt ist. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Herstellen eines derartigen Mikrosystems.

Abstract translation: 本发明涉及一种微系统与至少一个微反射镜（1）和至少一个Mikrospiegelaktuator（2），用于至少一个轴从静止的松弛位置枢转所述至少一个微反射镜（1），包括一个框架芯片和布置在框架芯片透明盖（ 3），其特征在于，具有在其上的至少一个微反射镜（1）铰接弹性可枢转的芯片框架（10），所述框架的芯片，其中所述至少一个微反射镜（1）进一步包括（芯片框架10）和内侧（在透明盖之间 形成的空腔3）和载体层（11）布置。 在这里，所述至少一个微反射镜（1）铰接围绕至少一个轴的框架（14），其反过来铰接在枢接于模具框架（10），其中由所述载体层芯片级别上定义的框架（14）永久地从平面 被枢转，使得所述微反射镜（1）在其静止的位置倾斜到不消失的角度到芯片平面。 本发明还涉及一种用于制造这样的微的方法。

公开(公告)号：WO2007006729A1

公开(公告)日：2007-01-18

申请号：PCT/EP2006/063980

申请日：2006-07-06

Applicant: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ,  DESPESSE, Ghislain ,  CHAILLOUT, Jean-Jacques ,  JAGER, Thomas

Inventor： DESPESSE, Ghislain ,  CHAILLOUT, Jean-Jacques ,  JAGER, Thomas

IPC: H01G5/16

CPC classification number: H01G5/16 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/033 ,  G01C19/56 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0814

Abstract: La présente invention a principalement pour objet un dispositif capacitif comportant au moins des premier (2) et deuxième (4) peignes, munis respectivement des doigts interdigités, aptes à être mobiles l'un par rapport à l'autre selon un rapprochement-éloignement des axes des doigts, au moins un doigt du premier peigne (2) comportant une face en regard d'une face d'un doigt du deuxième peigne (4) caractérisé en ce que l'axe du doigt du premier peigne et l'axe du doigt du deuxième peigne sont inclinés par rapport à un plan orthogonal à la première direction (X) de déplacement des peignes, le plan étant défini par des deuxième (Y) et troisième (Z) directions perpendiculaires à la direction (X), et perpendiculaires entre elles.

Abstract translation: 本发明主要涉及一种电容性装置，其包括分别设置有叉指的至少第一（2）和第二（4）梳，适于根据手指的轴线的闭合间隔相对于彼此移动， 第一梳子（2）的至少一个手指包括与第二梳子（4）的手指的表面相对的表面。 本发明的特征在于，第一梳子的手指的轴线和第二梳子的手指的轴线相对于与梳子的位移的第一方向（X）正交的平面倾斜，该平面由 第二（Y）和第三（Z）方向垂直于方向（X），并相互垂直。

公开(公告)号：WO2005028359A1

公开(公告)日：2005-03-31

申请号：PCT/JP2004/014142

申请日：2004-09-21

Applicant: MATSUSHITA ELECTRIC WORKS, LTD. ,  OKA, Naomasa ,  HARADA, Hiroshi ,  OGIHARA, Jun ,  FUKSHIMA, Hiroshi ,  NOGE, Hiroshi ,  SUZUKI, Yuji ,  KAWANO, Kiyohiko ,  YOSHIHARA, Takaaki ,  SUZUMURA, Masahiko

Inventor： OKA, Naomasa ,  HARADA, Hiroshi ,  OGIHARA, Jun ,  FUKSHIMA, Hiroshi ,  NOGE, Hiroshi ,  SUZUKI, Yuji ,  KAWANO, Kiyohiko ,  YOSHIHARA, Takaaki ,  SUZUMURA, Masahiko

IPC: B81B3/00

CPC classification number: G02B26/0816 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/045 ,  B81C1/00484 ,  B81C2201/0109 ,  B81C2201/019 ,  G02B6/3516 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/355 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584 ,  H02N1/008

Abstract: A process for fabricating a micro-electro-mechanical system (MEMS) composed of fixed components fixedly supported on a lower substrate and movable components movably supported on the lower substrate. The process utilizes an upper substrate separate from the lower substrate. The upper substrate is selectively etched in its top layer to form therein a plurality of posts which project commonly from a bottom layer of the upper substrate. The posts include the fixed components to be fixed to the lower substrate and the movable components which are resiliently supported only to one or more of the fixed components to be movable relative to the fixed components. The lower substrate is formed in its top surface with at least one recess. The upper substrate is then bonded to the top of the lower substrate upside down in such a manner as to place the fixed components directly on the lower substrate and to place the movable components upwardly of the recess. Finally, the bottom layer of the upper substrate is removed to release the movable components from the bottom layer for floating the movable components above the recess and allowing them to move relative to the lower substrate, while keeping the fixed components fixed to the top of the lower substrate.

Abstract translation: 一种用于制造由固定地支撑在下基板上的固定部件和可移动地支撑在下基板上的可移动部件的微电子机械系统（MEMS）的制造方法。 该方法利用与下基板分开的上基板。 在其顶层中选择性地蚀刻上基板，以在其中形成多个从上基板的底层共同突出的柱。 支柱包括要固定到下基板的固定部件和仅弹性地支撑到一个或多个固定部件以相对于固定部件可移动的可动部件。 下基板在其顶表面上形成有至少一个凹部。 然后将上基板以这样的方式上下连接到下基板的顶部，以将固定部件直接放置在下基板上并将可移动部件放置在凹部的上方。 最后，去除上基板的底层以从底层释放可移动部件，用于使可移动部件浮动在凹部上方并允许​​它们相对于下基板移动，同时保持固定部件固定在 下基板。

公开(公告)号：WO2002091556A1

公开(公告)日：2002-11-14

申请号：PCT/FR2002/001574

申请日：2002-05-07

Applicant: PHS MEMS ,  GARNIER, Amalia ,  GEMI, Roberto ,  LE GOAER, Xavier ,  VALENTIN, François ,  DURAFFOURG, Laurent

Inventor： GARNIER, Amalia ,  GEMI, Roberto ,  LE GOAER, Xavier ,  VALENTIN, François ,  DURAFFOURG, Laurent

IPC: H02N1/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/058 ,  H02N1/008

Abstract: L'invention concerne un actionneur électrostatique réalisé dans une partie d'une tranche de matériau conducteur (1), comprenant un peigne de lames mobiles parallèles (3) s'étendant orthogonalement à la face supérieure de la tranche, et un peigne de lames fixes (2) intercalé avec le peigne mobile et s'étendant à partir de la face inférieure de la tranche. Des doigts conducteurs (4) s'étendant parallèlement les uns aux autres et parallèlement aux faces principales de la tranche, sont fixés d'un côté (5) sur une zone isolée (8) de la surface supérieure de la tranche, portent du côté de leur autre extrémité les lames mobiles, et comprennent une partie intermédiaire souple (6) formant lame de ressort. Les lames fixes (2) et mobiles (3) ont des hauteurs intermédiaires entre l'épaisseur de la tranche et la moitié de ladite épaisseur.

Abstract translation: 本发明涉及一种由导电材料（1）制成的晶片的一部分产生的静电致动器，该静电致动器包括与晶片上表面垂直延伸的平行的可动叶片梳齿（3），以及插入有 移动梳，并从晶片的下表面延伸。 导电指状物（4）彼此平行延伸并平行于晶片的主表面，固定在晶片上表面绝缘区（8）的一侧（5）上，并在其另一侧 并且包括形成弹簧叶片的柔性中间部分（6）。 固定（2）和移动（3）刀片的高度位于晶片的厚度和所述厚度的一半之间。

公开(公告)号：WO01073934A2

公开(公告)日：2001-10-04

申请号：PCT/US2001/009462

申请日：2001-03-23

IPC: B81B5/00 ,  B81B3/00 ,  B81C99/00 ,  G02B6/35 ,  G02B26/08 ,  H02N1/00

CPC classification number: G02B6/357 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/0181 ,  B81B2203/058 ,  B81C1/0015 ,  B81C1/00214 ,  B81C1/00396 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3524 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/359 ,  G02B26/0833 ,  H02N1/008 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49126 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49156

Abstract: A multi-layer vertical comb-drive actuator includes a first comb structure having a plurality of first comb fingers and a second comb structure having a plurality of second comb fingers, wherein the first and second comb fingers are substantially interdigitated. The first and second comb fingers may include two or more stacked conductive layers electrically isolated from each other by an insulating layer or an air gap. Alternatively, either the first or second comb fingers may include only one conductive layer. An application of a voltage between the first and second comb fingers causes the second comb structure to move relative to the first comb structure. The present invention includes a 2D-gimble configuration to rotate a movable element along two axis.

Abstract translation: 多层垂直梳驱动致动器包括具有多个第一梳指的第一梳结构和具有多个第二梳指的第二梳结构，其中第一梳指和第二梳指基本相互交错。 第一和第二梳齿可以包括通过绝缘层或气隙彼此电隔离的两个或更多个堆叠的导电层。 或者，第一或第二梳齿可以仅包括一个导电层。 施加第一和第二梳齿之间的电压使得第二梳状结构相对于第一梳状结构移动。 本发明包括沿着两个轴线旋转可移动元件的2D柔性配置。

公开(公告)号：WO01071409A2

公开(公告)日：2001-09-27

申请号：PCT/US2001/009456

申请日：2001-03-23

IPC: B81B3/00 ,  B81C99/00 ,  G02B6/35 ,  G02B26/08 ,  G02B26/10 ,  H02N1/00 ,  G02B26/00

CPC classification number: G02B6/3556 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0181 ,  B81B2203/058 ,  B81B2207/07 ,  B81C1/00214 ,  G02B6/3512 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3542 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/356 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/085 ,  G02B26/0858 ,  G02B26/0866 ,  H02N1/008

Abstract: A beam steering module and switching system. The steering module is composed of an NxM array of single axis mirrors able to rotate about a particular axis (X-axis), a second NxM array of single axis mirrors able to rotate about an axis orthogonal to that of the first NxM array of mirrors (Y-axis), and a relay lens designed to image the first mirror array onto the second mirror array such that the beam angle may be controlled in both the X and Y-axis by adjusting the angle of the appropriate mirrors in the X and Y mirror arrays. Two steering modules may be combined to form a switching system. With two such steering modules, it is possible to completely determine, at the plane of the output fiber array, the position and angle of an optical beam emerging from any of the input fibers.

Abstract translation: 光束转向模块和开关系统。 转向模块由能够围绕特定轴线（X轴）旋转的单轴镜的N×M阵列组成，能够围绕与第一N×M阵列阵列正交的轴线旋转的单轴镜的第二N×M阵列 （Y轴）和设计成将第一反射镜阵列成像到第二反射镜阵列上的中继透镜，使得可以通过调整X中的适当反射镜的角度来控制X和Y轴两者的光束角度，以及 Y镜阵列。 可以组合两个转向模块以形成切换系统。 使用两个这样的转向模块，可以在输出光纤阵列的平面处完全确定从任何输入光纤出射的光束的位置和角度。