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公开(公告)号：CN102323665B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201110265538.1
申请日：2006-02-23
Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司
CPC classification number: G09G3/3433 , B81B3/0054 , B81B2201/032 , B81B2201/038 , B81B2201/045 , B81B2203/051 , G02B26/02 , G02B26/0841 , G09G2300/0809 , G09G2310/0262
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的显示装置。尤其是，该显示装置可以包括有两个机械顺性的电极的作动器。另外，揭示了在该显示装置中包括进双稳态的快门组件和用于在该快门组件中支承快门的器件。
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公开(公告)号：CN104297919A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201410341476.1
申请日：2014-07-17
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor： 直野崇幸
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0858 , B81B3/0043 , B81B7/008 , B81B7/02 , B81B2201/032 , B81B2201/042 , B81B2201/045 , B81B2203/04 , G02B26/105 , H01L41/0933 , H01L41/1876
Abstract: 一种反射镜驱动装置及其驱动方法，能够提高位移效率，且在设置有传感器部的情况下，也能够获得足够大的位移角。夹着用于支撑反射镜部(2)的反射镜支撑部(4)而在两侧配置第一促动器部(11)及第二促动器部(22)。第一促动器部(11)和第二促动器部(22)的上部电极和下部电极对应于共振模式振动的压电体内的主应力的应力分布而被分割，与第一上部电极部(111)及第三上部电极部(221)的位置相对应的压电体部分和与第二上部电极部(112)及第四上部电极部(222)的位置相对应的压电体部分产生相互逆向的应力。下部电极也同样被分割，能够向基于分割配置的不同压电体部分的上部电极部和下部电极部施加同相位的驱动电压。
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公开(公告)号：CN103345058A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310236936.X
申请日：2006-02-23
Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司
CPC classification number: G09G3/3433 , B81B3/0054 , B81B2201/032 , B81B2201/038 , B81B2201/045 , B81B2203/051 , G02B26/02 , G02B26/0841 , G09G2300/0809 , G09G2310/0262
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的显示装置。尤其是，该显示装置可以包括有两个机械顺性的电极的作动器。另外，揭示了在该显示装置中包括进双稳态的快门组件和用于在该快门组件中支承快门的器件。
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公开(公告)号：CN103336361A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310236891.6
申请日：2006-02-23
Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司
CPC classification number: G09G3/3433 , B81B3/0054 , B81B2201/032 , B81B2201/038 , B81B2201/045 , B81B2203/051 , G02B26/02 , G02B26/0841 , G09G2300/0809 , G09G2310/0262
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的显示装置。尤其是，该显示装置可以包括有两个机械顺性的电极的作动器。另外，揭示了在该显示装置中包括进双稳态的快门组件和用于在该快门组件中支承快门的器件。
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公开(公告)号：CN1856440A
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200480027286.7
申请日：2004-09-21
Applicant: 松下电工株式会社
CPC classification number: G02B26/0816 , B81B3/0086 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , B81C1/00484 , B81C2201/0109 , B81C2201/019 , G02B6/3516 , G02B6/3518 , G02B6/3546 , G02B6/355 , G02B6/357 , G02B6/3584 , H02N1/008
Abstract: 一种用于制造包括固定地支撑在底座上的固定元件和可动地支撑在所述底座上的可动元件的微机电系统(MEMS)的方法。所述方法采用与下衬底分离的上衬底。所述上衬底在其顶层被选择性蚀刻以在其中形成多个柱，所述柱从所述上衬底的底层一起突出。所述柱包括将被固定到所述下衬底的所述固定元件和仅弹性地支撑于一个或多个所述固定元件以相对于所述固定元件可移动的所述可动元件。所述下衬底在其顶表面形成有至少一个凹陷。然后所述上衬底颠倒结合到所述下衬底的顶部，使得把所述固定元件直接设置在所述下衬底上，并把所述可动元件设置在所述凹陷上方。最后，除去所述上衬底的底层，以从所述底层释放所述可动元件，从而把所述可动元件浮置在所述凹陷上，并允许它们相对于所述下衬底移动，同时保持所述固定元件固定到所述下衬底的顶部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1242285C
公开(公告)日：2006-02-15
申请号：CN03101716.9
申请日：2003-01-17
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体器件株式会社
IPC: G02B6/35 , G02B26/08 , H01L21/3213
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B2201/045 , B81B2203/0136 , B81C1/00182 , B81C2203/0109 , Y10S359/904
Abstract: 微镜单元包含带有镜部分的运动件、框架以及连接运动件与框架的扭杆。运动件、框架和扭杆集成制作在材料衬底上。框架含有比运动件厚的部分。
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公开(公告)号：CN1467521A
公开(公告)日：2004-01-14
申请号：CN03101716.9
申请日：2003-01-17
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体器件株式会社
IPC: G02B6/35 , G02B26/08 , H01L21/3213
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B2201/045 , B81B2203/0136 , B81C1/00182 , B81C2203/0109 , Y10S359/904
Abstract: 微镜单元包含带有镜部分的运动件、框架以及连接运动件与框架的扭杆。运动件、框架和扭杆集成制作在材料衬底上。框架含有比运动件厚的部分。
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公开(公告)号：CN1370284A
公开(公告)日：2002-09-18
申请号：CN00811629.6
申请日：2000-08-01
Applicant: ADC电信股份公司
Inventor： N·张
CPC classification number: G02B6/357 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , B81C1/00182 , B81C2201/0109 , B81C2203/0136 , G02B6/3514 , G02B6/3518 , G02B6/3544 , G02B6/3584 , H02N1/008
Abstract: 提供了具有改善特性的一种基于MEMS的光学开关(100),以及用于制造该光学开关的方法。根据一个实施例,光学开关包括具有偏移梁结构(124)的单梳(122)驱动致动器(104)和与致动器耦合的镜(102)。镜能在插入在所述波导通道(106)间的伸展位置和远离所述波导通道的收缩位置之间移动。致动器施加力就能将梁结构偏移并将镜向伸展位置或收缩位置之一移动,并且在不施加力时,梁结构将镜返回到伸展位置或收缩位置中的另一位置。
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公开(公告)号：CN105579882A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201480052007.6
申请日：2014-09-05
Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司
IPC: G02B26/02 , G02B26/08 , B81C1/00 , G02F1/01 , H02N1/00 , G02B26/04 , B81B3/00 , H01H3/60 , B81B5/00 , B81B7/00
CPC classification number: G02B26/02 , B81B3/0051 , B81B3/007 , B81B2201/045 , B81B2203/0127 , B81B2203/0163 , B81B2203/0307 , B81B2203/051 , G02B26/023 , G02B26/04 , G09G3/3208 , G09G3/36
Abstract: 本发明提供利用显示器中的挠曲部的系统、方法和设备。在一些实施方案中，机电系统EMS装置可包含沿光调制器的运动轴具有低硬度且在其它方向上具有高硬度的挠曲部。所述挠曲部可包含机械地将MEMS结构耦接至锚的一或多个横梁。所述横梁可耦接至铰链部分，所述铰链部分经配置以通过所述MEMS结构和所述挠曲部抑制平面外运动。所述挠曲部还可使用加强部分抑制平面外运动。所述加强部分可机械地耦接至所述铰链部分或所述挠曲部的至少一个横梁。通过改变所述加强部分的横截面几何形状，所述加强部分的所述硬度可经控制以增大在平面外方向上移动所述挠曲部所需的力。
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公开(公告)号：CN105452934A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201480043879.6
申请日：2014-07-28
Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司
Inventor： 泰勒·A·杜恩 , 蒂莫西·J·布罗斯尼汉
CPC classification number: G02B26/02 , B81B3/0086 , B81B5/00 , B81B2201/045 , B81B2203/0118 , B81B2203/04 , B81B2203/056 , B81C1/00634 , B81C2201/0161 , G02B26/023 , G02B26/0841
Abstract: 本发明提供用于并入有延伸高度致动器的MEMS显示器的系统、方法及设备。光调制组件可定位于衬底与耦合到所述衬底的相对表面之间。悬置电极可耦合到所述光调制组件且悬置于所述衬底与所述相对表面之间。延伸高度电极可定位成紧邻于所述悬置电极，且可从所述衬底向上延伸到超过所述悬置电极的高度的高度。所述悬置电极及所述延伸高度电极可经配置以相对于所述衬底横向移动所述光调制组件。
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