ANTIREFLECTIVE COATINGS
    212.
    发明公开
    ANTIREFLECTIVE COATINGS 失效
    防反射涂层

    公开(公告)号:EP0819056A1

    公开(公告)日:1998-01-21

    申请号:EP96912545.0

    申请日:1996-04-03

    IPC: G02B1

    CPC classification number: G02B1/111 Y10T428/24975 Y10T428/26 Y10T428/265

    Abstract: An improved way to impart antireflection properties to a light transmissive substrate and, at the same time, achieve a durable surface and electrical conductivity is disclosed. A stack of at least two sputter-deposited light transmissive inorganic layers, one of which being electrically conductive and having a high index of refraction with the one above it (relative to the substrate being antireflected) having a low index of refraction, in combination with a thin lubricating overlayer comprising a solvent-soluble lubricant such as a solvent-soluble fluoropolymer can achieve this desired combination of properties.

    METHOD FOR OBTAINING TRANSVERSE UNIFORMITY DURING THIN FILM DEPOSITION ON EXTENDED SUBSTRATE
    215.
    发明公开
    METHOD FOR OBTAINING TRANSVERSE UNIFORMITY DURING THIN FILM DEPOSITION ON EXTENDED SUBSTRATE 失效
    过程在将薄膜施用于大面积基板均匀LATERAL来实现。

    公开(公告)号:EP0401255A1

    公开(公告)日:1990-12-12

    申请号:EP89902473.0

    申请日:1989-02-09

    CPC classification number: C23C14/562 C23C14/0042 C23C14/54

    Abstract: Un appareil (10) de déposition par pulvérisation d'une couche métallique sur un substrat (12) de grande étendue latérale comprend un support du substrat, une station de déposition (14), un assemblage capteur en aval (58) et une unité de commande informatisée. La station de déposition comprend une cathode (16, 22) et des anodes (28, 30) agencées sur la largeur du substrat (12). Une alimentation en gaz d'une pluralité de zones est assurée par une chambre commune de distribution (48) pourvue d'une pluralité d'orifices d'admission, qui associés les uns aux autres, couvrent toute la largeur du substrat sur lequel on veut déposer une couche à mince pellicule. Le courant de gaz est dirigé par chaque anode dans la région du plasma et est commandé individuellement dans le cas de chaque zone. L'assemblage capteur en aval (58) comprend pour chaque zone un ensemble (62) de contact à quatre points pourvu de quatres roues électroconductrices (64, 66, 68, 70). Deux de ces roues servent à appliquer un courant à la mince pellicule et les deux autres à capter sa résistance. Ces informations sont fournies à l'ordinateur afin d'être utilisées pour commander les courants de gaz dans la station de déposition, zone par zone.

Patent Agency Ranking