一种降低硅衬底压电薄膜破损率的方法

    公开(公告)号:CN118019434B

    公开(公告)日:2024-07-16

    申请号:CN202410423837.0

    申请日:2024-04-10

    Applicant: 济南大学

    Abstract: 本发明属于半导体MEMS芯片制造领域,具体涉及一种降低硅衬底压电薄膜破损率的方法,该方法包括:在硅衬底上表面生长合适的压电薄膜,进行第一步光刻,使压电薄膜图形化,其中使用多个光刻板对压电薄膜的边缘进行分步光刻,制造出阶梯状;第二步光刻,将底电极图形化;第三步光刻,将顶电极图形化;第四步光刻,将桥接绝缘层图形化;第五步光刻,将桥电极图形化;在第六步光刻,对应硅衬底上表面压电薄膜的阶梯尺寸及位置,使用光刻板在硅衬底下表面进行背腔图形化工艺,采用分步光刻,在背腔边缘制造出阶梯状。最大程度的提高了硅衬底上压电薄膜对抗机械应力的强度和日后使用中的耐久度,从而降低压电薄膜的破损率。

    一种抗碱型富铁硫铝酸盐水泥复合胶凝材料及其制备工艺

    公开(公告)号:CN116730638A

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN202310710205.8

    申请日:2023-06-15

    Applicant: 济南大学

    Abstract: 本发明涉及硫铝酸盐水泥技术领域,具体涉及一种抗碱型富铁硫铝酸盐水泥复合胶凝材料及其制备工艺。所述复合胶凝材料包括如下组分:富铁硫铝酸盐水泥熟料120~145重量份、改性抗碱剂30~42重量份、活性拌合水48~61重量份、缓凝剂0.22~0.3重量份。其中:所述富铁硫铝酸盐水泥熟料是以改性赤泥为原料之一制备而成。所述工艺包括如下步骤:将所述富铁硫铝酸盐水泥熟料和改性抗碱剂混合均匀,然后加入所述活性拌合水和缓凝剂搅拌均匀,即得。本发明通过对赤泥进行预处理以及添加抗碱剂,有效提高了以赤泥为原料制备的富铁硫铝酸盐水泥抵抗泛碱的能力。

    一种水泥混凝土水化进程在线监测的压电超声装置

    公开(公告)号:CN112305074B

    公开(公告)日:2023-05-23

    申请号:CN202011168124.2

    申请日:2020-10-28

    Applicant: 济南大学

    Abstract: 本发明公开了一种水泥混凝土水化进程在线监测的压电超声装置,包括用于盛装水泥混凝土的容器,所述容器上方带有开口,所述容器底壁上设有限位槽;以及支撑杆,所述支撑杆的上部设有支架,支撑杆的底部位于限位槽内,所述支撑杆通过限位槽和支架竖立在容器中,所述支撑杆上固定有球形压电超声传感器,所述球形压电超声传感器位于容器的中心位置。本发明利用超声波的优异特性,通过对发射和接收超声信号的传感器的设计,可以适合各种不同情况的混凝土结构,适用范围广,对不同类型的混凝土水化可以实现很好的在线监测。

    一种高抗硫硅酸盐水泥熟料、水泥及其应用

    公开(公告)号:CN115259701B

    公开(公告)日:2023-04-14

    申请号:CN202210843960.9

    申请日:2022-07-18

    Applicant: 济南大学

    Abstract: 本发明公开一种高抗硫硅酸盐水泥熟料、水泥及其应用。所述水泥熟料包括C3S 45~65%、C2S 15~35%、C3A 0~5%、高铁铝比铁相C6AF2 7~23%。所述高抗硫硅酸盐水泥包括所述高抗硫硅酸盐水泥熟料、二水硫酸钙、纳米氢氧化铁凝胶。本发明的高抗硫硅酸盐水泥通过高铁铝比铁相C6AF2显著提高了硅酸盐水泥的抗硫酸盐侵蚀能力。另外,本发明的高抗硫硅酸盐水泥中的纳米氢氧化铁凝胶有利于铁胶的成核,从而形成更多的铁胶填充硬化水泥体内部的孔隙,提高了水泥水化致密度和抗侵蚀能力。试验显示,与含有相同含量的C4AF的普通硅酸盐水泥中相比,本发明的高抗硫硅酸盐水泥的抗硫酸盐侵蚀能力远超普通硅酸盐水泥。

    一种信号采集、放大和无线传输功能于一体的半埋入式声发射传感器

    公开(公告)号:CN115876891A

    公开(公告)日:2023-03-31

    申请号:CN202211380372.2

    申请日:2022-11-04

    Applicant: 济南大学

    Abstract: 本发明公开了一种信号采集、放大和无线传输功能于一体的半埋入式声发射传感器,该传感器由可埋入部分和外部安装部分组成。其中可埋入部分主要由水泥匹配层、1‑3水泥/环氧基压电复合材料和环氧/Fe2O3复合背衬封装材料组成;外部安装部分由电荷放大器、采集卡和无线传输模块通过金属层预封装和水泥/环氧无机材料表层封装组成。该传感器的工作带宽明显变宽,受反射波影响减小,并且实现了信号采集、放大和无线等功能与一体,减小了声发射采集系统的复杂性、提高了与混凝土的耦合性以及简化了大型混凝土声发射监测过程中走线、安装等施工环节。在包括混凝土桥梁、大坝和隧道在内的大型土木工程结构健康监测领域具有广泛的应用前景。

    一种铁尾矿道路基层材料、制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN114890768B

    公开(公告)日:2023-03-10

    申请号:CN202210643874.3

    申请日:2022-06-08

    Applicant: 济南大学

    Abstract: 本发明公开了一种铁尾矿道路基层材料、制备方法及其应用。所述铁尾矿道路基层材料包含以下重量份组分:改性高分子聚合物0.05~0.3份,生石灰5‑10份,粉煤灰10‑20份,铝盐0.5~1份,镁盐0.02~0.1份,钙盐0.02~0.05份,水12~15份,铁尾矿100份。本发明制备的铁尾矿路基材料固化后抗压强度高,具有较好的水稳定性、耐冲刷性,可用作道路的底基层使用;解决了利用铁尾矿作为道路基层材料时施工困难的问题;有效地解决了道路铺设过程中砂石料紧缺的问题,而且减少尾矿堆积、改善生态环境,具有良好的经济社会效益。

    一种利用花岗岩废石粉制备的发泡陶瓷及其制备方法

    公开(公告)号:CN115448698A

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202211329094.8

    申请日:2022-10-27

    Applicant: 济南大学

    Abstract: 本发明提供了一种利用花岗岩废石粉制备的发泡陶瓷及其制备方法,各组分及其所占质量百分比包括:花岗岩废石粉为基料,按100%计,优化剂为花岗岩废石粉的4%~14%,发泡剂为花岗岩废石粉与优化剂总和的0.5%~2%;通过将原料球磨混合、压制、烧结等工艺制备而成。本发明利用优化剂在发泡陶瓷烧结过程中的助熔、稳泡作用以调节配方设计,并结合合适的烧结工艺,在较低的烧结温度下实现花岗岩废石粉在制备发泡陶瓷过程中高利用率的同时,提高发泡陶瓷气孔结构的均匀性,从而获得性能优良的发泡陶瓷。本发明制得的发泡陶瓷气孔尺寸均匀,闭气孔率高,机械性能好,保温性能好。既为固废的资源化利用拓宽途径,又提供了一种绿色节能材料。

    一种高抗硫硅酸盐水泥熟料、水泥及其应用

    公开(公告)号:CN115259701A

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN202210843960.9

    申请日:2022-07-18

    Applicant: 济南大学

    Abstract: 本发明公开一种高抗硫硅酸盐水泥熟料、水泥及其应用。所述水泥熟料包括C3S 45~65%、C2S 15~35%、C3A 0~5%、高铁铝比铁相C6AF2 7~23%。所述高抗硫硅酸盐水泥包括所述高抗硫硅酸盐水泥熟料、二水硫酸钙、纳米氢氧化铁凝胶。本发明的高抗硫硅酸盐水泥通过高铁铝比铁相C6AF2显著提高了硅酸盐水泥的抗硫酸盐侵蚀能力。另外,本发明的高抗硫硅酸盐水泥中的纳米氢氧化铁凝胶有利于铁胶的成核,从而形成更多的铁胶填充硬化水泥体内部的孔隙,提高了水泥水化致密度和抗侵蚀能力。试验显示,与含有相同含量的C4AF的普通硅酸盐水泥中相比,本发明的高抗硫硅酸盐水泥的抗硫酸盐侵蚀能力远超普通硅酸盐水泥。

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