公开(公告)号：US3584244A

公开(公告)日：1971-06-08

申请号：US3584244D

申请日：1969-06-10

Applicant: CLEVITE CORP

Inventor： VEST GARY W

IPC: B06B1/02 ,  H01V7/00

CPC classification number: B06B1/0253 ,  B06B2201/55 ,  B06B2201/71

Abstract: A piezoelectric transducer for an ultrasonic cleaner is driven by a switching circuit having transistors connected in series. The transducer is connected in series with one transistor and the primary winding of a saturable core transformer providing feedback to the bases of the transistors.

公开(公告)号：US3254284A

公开(公告)日：1966-05-31

申请号：US28687663

申请日：1963-05-10

Applicant: GIANNINI CONTROLS CORP

Inventor： TOMES SIDNEY R

IPC: B06B1/02

CPC classification number: B06B1/0261 ,  B06B2201/71

公开(公告)号：TWI479535B

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：TW101148954

申请日：2012-12-21

Applicant: 世創電子材料公司 ,  SILTRONIC AG

Inventor： 榛原照男 ,  HAIBARA, TERUO ,  久保悅子 ,  KUBO, ETSUKO ,  森良弘 ,  MORI, YOSHIHIRO ,  內部真佐志 ,  UCHIBE, MASASHI

IPC: H01L21/02

CPC classification number: B08B3/12 ,  B06B2201/71 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/67057

公开(公告)号：TW201341072A

公开(公告)日：2013-10-16

申请号：TW101146613

申请日：2012-12-11

Applicant: 海上股份有限公司 ,  KAIJO CORPORATION

Inventor： 杉山晋 ,  SUGIYAMA, SUSUMU ,  市川康司 ,  ICHIKAWA, KOUJI

IPC: B08B3/12 ,  H01L21/463

CPC classification number: B08B3/12 ,  B06B1/0253 ,  B06B2201/71

Abstract: [課題]提供一種可更加提高電力管理之可靠性的超音波洗淨裝置。[解決手段]超音波洗淨裝置係具備有：被洗淨物(11)、洗淨液(12)、超音波振動子(13)、振盪器(14)、電源部(16)、及電力計(15)，振盪器(14)係具有：振盪部(17)；以藉由振盪部(17)所被振盪的第1電力成為設定電力值的方式進行控制且輸出至超音波振動子的控制部(18)；檢測藉由控制部(18)而被輸出至超音波振動子(13)的第2電力的檢測部(19)；及運算部(20)，運算部(20)係具有導出將第1檢測電力值藉由補正值α進行補正後的第1補正電力值，且導出將藉由電力計(15)所被測定到的測定電力值藉由補正值β進行補正後的第2補正電力值，若第1補正電力值由第2補正電力值偏移一定值以上時，係將以第1補正電力值成為第2補正電力值的方式將補正值α進行修正後的修正補正值α’記錄在記錄部(21)的功能。

Abstract in simplified Chinese: [课题]提供一种可更加提高电力管理之可靠性的超音波洗净设备。[解决手段]超音波洗净设备系具备有：被洗净物(11)、洗净液(12)、超音波振动子(13)、振荡器(14)、电源部(16)、及电力计(15)，振荡器(14)系具有：振荡部(17)；以借由振荡部(17)所被振荡的第1电力成为设置电力值的方式进行控制且输出至超音波振动子的控制部(18)；检测借由控制部(18)而被输出至超音波振动子(13)的第2电力的检测部(19)；及运算部(20)，运算部(20)系具有导出将第1检测电力值借由补正值α进行补正后的第1补正电力值，且导出将借由电力计(15)所被测定到的测定电力值借由补正值β进行补正后的第2补正电力值，若第1补正电力值由第2补正电力值偏移一定值以上时，系将以第1补正电力值成为第2补正电力值的方式将补正值α进行修正后的修正补正值α’记录在记录部(21)的功能。

公开(公告)号：TWI476054B

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：TW101146613

申请日：2012-12-11

Applicant: 海上股份有限公司 ,  KAIJO CORPORATION

Inventor： 杉山晋 ,  SUGIYAMA, SUSUMU ,  市川康司 ,  ICHIKAWA, KOUJI

IPC: B08B3/12 ,  H01L21/463

CPC classification number: B08B3/12 ,  B06B1/0253 ,  B06B2201/71

公开(公告)号：TWI292985B

公开(公告)日：2008-01-21

申请号：TW092137672

申请日：2003-12-31

Applicant: 蘭姆研究公司 LAM RESEARCH CORPORATION

Inventor： 約翰 柏依 BOYD, JOHN ,  安卓斯 庫提 KUTHI, ANDRAS ,  麥可G. R. 史密斯 SMITH, MICHAEL G.R. ,  湯瑪士W. 安得森 ANDERSON, THOMAS W. ,  威廉 尤 THIE, WILLIAM ,  羅伯特 諾普 KNOP, ROBERT

IPC: H03L ,  B08B ,  H01L

CPC classification number: B08B3/12 ,  B06B1/0253 ,  B06B2201/71 ,  B08B3/10 ,  H01L21/67057 ,  H01L21/67253

Abstract: 一種基板之清洗系統與方法，其包含一百萬赫茲超音波容室，該容室包含一轉換器與一基板。該轉換器係被配向至該基板。一可變距離d使該轉換器與該基板分離。該系統亦包含一動態可調整RF產生器，其具有連接至該轉換器之一輸出。該動態可調整RF產生器可藉由一振盪器輸出電壓與一RF產生器輸出電壓之一相位之一相位比較而受到控制。該動態可調整RF產生器亦可藉由監視一輸出信號之一峰值電壓並控制該RF產生器以將該峰值電壓維持在一預定電壓範圍之內而受到控制。該動態可調整RF產生器亦可藉由動態控制一可變DC電源電壓而受到控制。

Abstract in simplified Chinese: 一种基板之清洗系统与方法，其包含一百万赫兹超音波容室，该容室包含一转换器与一基板。该转换器系被配向至该基板。一可变距离d使该转换器与该基板分离。该系统亦包含一动态可调整RF产生器，其具有连接至该转换器之一输出。该动态可调整RF产生器可借由一振荡器输出电压与一RF产生器输出电压之一相位之一相位比较而受到控制。该动态可调整RF产生器亦可借由监视一输出信号之一峰值电压并控制该RF产生器以将该峰值电压维持在一预定电压范围之内而受到控制。该动态可调整RF产生器亦可借由动态控制一可变DC电源电压而受到控制。

公开(公告)号：TW242575B

公开(公告)日：1995-03-11

申请号：TW083101494

申请日：1994-02-22

Applicant: 柴野佳英

Inventor： 柴野佳英 ,  齋藤傳

IPC: B05B

CPC classification number: B06B1/0284 ,  B06B2201/71 ,  B08B3/12

Abstract: 一種於超音波洗淨中用以使超音波振動子振動之方法，係使於洗淨液中用以放射超音波之具有單一固定振動數之超音波振動子振動之方法，其特徵為包含以下步驟：用以生成具有上述超音波振動子之固定振動數之不同整數倍之頻率之多數種振動信號之第１步驟；將該多數種振動信號按每隔一定時間予以切換並輸出，藉此使該多數種振動信號按時序列混合以生成一合成信號之第２步驟；及，以該合成信號作為超音波振動子之驅動用信號以使該超音波振動子振動之第３步驟。

Abstract in simplified Chinese: 一种于超音波洗净中用以使超音波振动子振动之方法，系使于洗净液中用以放射超音波之具有单一固定振动数之超音波振动子振动之方法，其特征为包含以下步骤：用以生成具有上述超音波振动子之固定振动数之不同整数倍之频率之多数种振动信号之第１步骤；将该多数种振动信号按每隔一定时间予以切换并输出，借此使该多数种振动信号按时串行混合以生成一合成信号之第２步骤；及，以该合成信号作为超音波振动子之驱动用信号以使该超音波振动子振动之第３步骤。