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公开(公告)号：JP5591535B2
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：JP2009516834
申请日：2007-06-21
CPC classification number: B81C99/002 , B25J9/104 , B81B2201/0292 , B81B2201/031 , B81B2201/033
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公开(公告)号：JP5431579B2
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：JP2012512305
申请日：2010-05-18
Inventor： ンジカム ンジモンツィー フレデリク , ショック ヴォルフラム , ムホフ イェルク , レスチャン ゾルタン
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/0021 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , Y10T29/49002
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公开(公告)号：JP2013007743A
公开(公告)日：2013-01-10
申请号：JP2012115792
申请日：2012-05-21
Applicant: Alps Electric Co Ltd , アルプス電気株式会社
Inventor： YAZAWA HISAYUKI , TAKAHASHI TORU , OKAWA NAONOBU , KIKUIRI KATSUYA
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , H01L29/84
CPC classification number: G01P15/125 , B81B3/0021 , B81B2201/033 , G01P2015/0814
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a MEMS sensor which is small, and by which high sensitivity is obtained in comparison with a conventional case.SOLUTION: A movable electrode part has: a plurality of movable support parts 50 arranged at intervals in the X1-X2 direction; and a plurality of movable armatures 60 which extend from the sides of the respective movable support parts 50, and are arranged to the respective movable support part 50 at intervals in the Y1-Y2 direction. A fixed electrode part has: a plurality of fixed support parts 51 arranged at intervals in the X1-X2 direction; and a plurality of fixed armatures 62 which extend from the sides of the respective fixed support parts 51, and are arranged to the respective fixed support parts 51 at intervals in the Y1-Y2 direction. The plurality of movable support parts and the plurality of fixed support parts are alternately arranged in the X1-X2 direction, the movable support parts and the fixed support parts adjacent to each other are made into sets 66, and the movable armatures 60 and the fixed armatures 62 are alternately arranged between the movable support parts and the fixed support parts of the respective sets.
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种小型的MEMS传感器，并且与常规情况相比可以获得高灵敏度。 解决方案：可移动电极部分具有：沿X1-X2方向间隔设置的多个可移动支撑部分50; 以及从各可动支撑部50的侧面延伸的多个可动电枢60，并且以Y1-Y2方向间隔配置在各可动支承部50上。 固定电极部具有：沿X1-X2方向间隔设置的多个固定支撑部51; 以及从各个固定支撑部51的侧面延伸的多个固定电枢62，并且以Y1-Y2方向间隔配置在各固定支撑部51上。 多个可动支撑部和多个固定支撑部在X1-X2方向交替配置，可动支撑部和相邻的固定支撑部成为套66，可动电枢60和固定 电枢62交替地布置在可移动支撑部分和各组的固定支撑部分之间。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT
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公开(公告)号：JP2012524515A
公开(公告)日：2012-10-11
申请号：JP2012505955
申请日：2010-04-16
Applicant: シーウェア システムズSi−Ware Systems
Inventor： サダニイ、バサム・エー , ナダ、ヤシーン , メダット、モスタファ , モルタダ、バセム
CPC classification number: B81B3/0051 , B81B3/0037 , B81B2201/033 , B81B2203/0136 , B81B2203/051 , H02N1/008 , Y10T74/20558
Abstract: 【課題】
ＭＥＭＳアクチュエータにおいて、駆動電圧の上昇を伴うことなく、長い安定移動範囲を提供する。
【解決手段】
ＭＥＭＳデバイス用の静電櫛形駆動アクチュエータは、曲げスプリングアセンブリと、曲げスプリングアセンブリの相対向する側にそれぞれ連結された第１の櫛形駆動アセンブリ及び第２の櫛形駆動アセンブリとを含む。 第１及び第２の各櫛形アセンブリは、固定櫛形駆動フィンガと、曲げスプリングアセンブリに連結された、固定櫛形駆動フィンガに向けて延びる可動櫛形駆動フィンガとを含む。 櫛形駆動フィンガは、第１の櫛形駆動アセンブリと第２の櫛形駆動アセンブリとの間で均等に分割され、曲げスプリングアセンブリの対称軸の周りに対称に配置されている。 電気的に励起されと、第１及び第２の櫛形駆動アセンブリの可動櫛形駆動フィンガは、第１及び第２の櫛形駆動アセンブリの固定櫛形駆動フィンガに向けて同時に移動する。
【選択図】図２-
公开(公告)号：JP4598795B2
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：JP2007094568
申请日：2007-03-30
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/0086 , B81B2201/033 , B81B2201/047
Abstract: A micro oscillating device includes a frame, an oscillating part including a first drive electrode for application of a reference electric potential, and a connecting part for connecting the frame and the oscillating part to each other, where the connecting part defines an axis of an oscillating motion of the oscillating part. A second drive electrode is fixed to the frame to cooperate with the first drive electrode for generation of a driving force for the oscillating movement. The first drive electrode includes a first end extension and a second end extension separated from each other and extending in a direction crossing the axis. The second drive electrode is within a separation distance between the first and the second end extensions.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP4573676B2
公开(公告)日：2010-11-04
申请号：JP2005069155
申请日：2005-03-11
Applicant: 富士通株式会社
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00547 , B81B2201/033
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公开(公告)号：JP4477659B2
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：JP2007173078
申请日：2007-06-29
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: B81B3/0078 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0136 , B81B2203/0181 , B81B2203/058 , G02B26/0841
Abstract: A micro-oscillation element includes a base frame, an oscillating portion, and a link portion connecting the base frame and the oscillating portion to each other. The oscillating portion has a movable functional portion, a first driving electrode connected to the movable functional portion, and a weight portion joined to the first driving electrode. The link portion defines an axis of the oscillating motion of the oscillating portion. The second driving electrode, fixed to the base frame, generates driving force for the oscillating motion in cooperation with the first driving electrode.
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公开(公告)号：JP2009012082A
公开(公告)日：2009-01-22
申请号：JP2007173078
申请日：2007-06-29
Applicant: Fujitsu Ltd , 富士通株式会社
Inventor： TSUBOI OSAMU , KOMA NORINAO , SONETA HIROMITSU , OKUDA HISAO , MIZUNO YOSHIHIRO , MATSUMOTO TAKESHI , SAWAKI IPPEI
CPC classification number: B81B3/0078 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0136 , B81B2203/0181 , B81B2203/058 , G02B26/0841
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a micro rocking element suitable for balancing the weight of a rocking portion, and a micro rocking element array including the same.
SOLUTION: The micro rocking element X1 comprises: a frame 21; a rocking portion 10 having a movable function section 11, a driving electrode 12 to be connected to the movable function section 11, and a weight portion 14 to be connected to the driving electrode 12 on the opposite side of the movable function section 11; a connecting portion 22 for defining the center A1 of the rocking motion of the rocking portion 10 by connecting the frame 21 and the rocking portion 10; and a second driving electrode 23 fixed to the frame 21 so as to generate the driving power of the rocking motion in cooperation with the driving electrode 12. The micro rocking element array comprises a plurality of the micro rocking elements X1.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPITAbstract translation: 要解决的问题：提供适于平衡摇摆部分的重量的微摇摆元件和包括其的微摇摆元件阵列。 解决方案：微摇摆元件X1包括：框架21; 具有可动功能部11的摆动部10，与可动功能部11连接的驱动电极12和与可动功能部11相反侧的驱动电极12连接的配重部14; 连接部分22，用于通过连接框架21和摆动部分10来限定摆动部分10的摆动运动的中心A1; 以及第二驱动电极23，其固定到框架21，以便与驱动电极12协调产生摇摆运动的驱动力。微摇摆元件阵列包括多个微摇摆元件X1。 版权所有（C）2009，JPO＆INPIT
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公开(公告)号：JPWO2005015287A1
公开(公告)日：2006-10-05
申请号：JP2005512904
申请日：2004-06-25
Applicant: 株式会社村田製作所
CPC classification number: G02B6/358 , B81B3/0051 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , G02B6/3514 , G02B6/3518 , G02B6/3544 , G02B6/357 , G02B6/3572 , G02B6/3584 , G02B26/0833 , H02N1/008
Abstract: 支持梁の連結部位を回転支持部として構成することにより、可動体を各切換位置に安定的に保持できる構成とし、信頼性を高めるようにする。可動体4を、基板2、各固定部6、回転支持部8、支持梁7によりY軸方向に変位可能に支持し、可動体4を第1,第2の切換位置の間で変位させる。また、回転支持部8は、放射状に配置した腕部9,10,11により支持梁7を回転可能に支持し、可動体4が変位するときには、端部7Aが大きく屈曲しなくても、支持梁7が回転できるようにする。これにより、第1,第2の切換位置の間で可動体4の位置エネルギの障壁ΔEを大きく設定でき、電極12〜15への給電を停止した状態でも、可動体4を各切換位置に安定的に保持することができる。また、可動体4がX軸方向に位置ずれするのを腕部10により防止することができる。
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公开(公告)号：JP2004304856A
公开(公告)日：2004-10-28
申请号：JP2003091112
申请日：2003-03-28
Inventor： MIZOGUCHI YASUSHI , SHIMADA YASUHIRO
CPC classification number: B81B3/0043 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0136 , B81B2203/0163
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small actuator for generating a large torsion (deflection angle) of a movable plate efficiently.
SOLUTION: The actuator comprises a movable plate, at least one meandering beam bearing the movable plate to oscillate with respect to a supporting substrate, and a fixed comb-tooth structure located at such a position as meshing the meandering beam while spaced apart therefrom when the movable plate is displaced.
COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
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