公开(公告)号：US1579162A

公开(公告)日：1926-03-30

申请号：US61662023

申请日：1923-02-02

Applicant: FIRM OF OZONHOCHFREQUENZ G M B

Inventor： ALFRED STARKE ,  VON WARTENBERG HANS

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/14 ,  C01B2201/76

公开(公告)号：JPWO2016047264A1

公开(公告)日：2017-04-27

申请号：JP2016550009

申请日：2015-07-28

Applicant: 三菱電機株式会社

Inventor： 昇 和田 ,  昇 和田 ,  雄介 中川 ,  雄介 中川

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/14 ,  C01B2201/30 ,  C01B2201/76 ,  H01J37/3438 ,  H01M4/765

Abstract: オゾン発生装置の放電空間で酸素を含むガスを放電させてオゾンを発生させるオゾン発生運転期間と、オゾン発生装置内にガスを封止するとともに放電を停止させてオゾンを発生さないオゾン発生運転待機期間とを繰り返す間欠運転を行うオゾン発生システムにおいて、硝酸および窒素酸化物の少なくとも一方を吸着する吸着剤をオゾン発生装置の放電空間以外の場所に設置した。

公开(公告)号：JP6092410B2

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：JP2015540336

申请日：2013-10-04

Applicant: 東芝三菱電機産業システム株式会社

Inventor： 田畑 要一郎 ,  沖原 雄二郎 ,  中村 紀幸 ,  西村 真一

IPC: H02M7/48 ,  H05H1/46

CPC classification number: H05H1/24 ,  C01B13/11 ,  H02M1/32 ,  H02M7/48 ,  H05B33/0815 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/74 ,  C01B2201/76 ,  C01B2201/90 ,  H05B33/0818 ,  H05H2001/4682

公开(公告)号：JP5677344B2

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：JP2012059696

申请日：2012-03-16

Applicant: 株式会社東芝

Inventor： 隆昭 村田 ,  隆昭 村田 ,  裕二 沖田 ,  裕二 沖田 ,  清行 雨森 ,  清行 雨森 ,  貴恵 久保 ,  貴恵 久保 ,  竜太郎 牧瀬 ,  竜太郎 牧瀬 ,  納田　和彦 ,  和彦 納田 ,  高橋　良一 ,  良一 高橋

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/115 ,  B01J19/088 ,  B01J2219/0809 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/30 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/62 ,  C01B2201/76

公开(公告)号：JPWO2012140747A1

公开(公告)日：2014-07-28

申请号：JP2011515616

申请日：2011-04-13

Applicant: 東芝三菱電機産業システム株式会社

Inventor： 真一 西村 ,  真一 西村 ,  田畑　要一郎 ,  要一郎 田畑

IPC: C01B13/11 ,  B01J35/02 ,  H01T19/00

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/66 ,  C01B2201/76 ,  C01B2201/90

Abstract: 本発明は、高純度、高濃度のオゾンガスを出力するための複数の手段を有した機能を付加させた窒素添加レス・オゾン発生器ユニットの小型化を図った窒素添加レス・オゾン発生ユニットを得ることを目的とする。そして、本発明において、ガス配管集積ブロック(30)は複数の内部配管経路(R30a〜R30f)を有し、これら複数の内部配管経路と、放電面にオゾンを生成するための光触媒物質を塗布した窒素添加レス・オゾン発生器(1)、制御手段(MFC(3)、ガスフィルター(51)及びAPC(4))、原料ガス供給口(14)、オゾンガス出力口(15)とが繋がることにより、原料ガス供給口からAPCを介して窒素添加レス・オゾンガス発生器に至る原料ガス入力配管経路、及び窒素添加レス・オゾン発生器からガスフィルター、MFCを介してオゾンガス出力口に至るオゾンガス出力配管経路が一体化したユニットに形成される。

公开(公告)号：JP4627532B2

公开(公告)日：2011-02-09

申请号：JP2006537607

申请日：2004-09-29

Applicant: 東芝三菱電機産業システム株式会社

Inventor： 雄二郎 沖原 ,  要一郎 田畑 ,  政幸 石川 ,  徹哉 西津

IPC: C01B13/11 ,  H02M7/5387

CPC classification number: H02M7/48 ,  C01B13/115 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/40 ,  C01B2201/76 ,  C01B2201/84 ,  C01B2201/90

公开(公告)号：JPWO2006103945A1

公开(公告)日：2008-09-04

申请号：JP2007510383

申请日：2006-03-16

Applicant: 三菱電機株式会社

Inventor： 昇 和田 ,  昇 和田 ,  葛本　昌樹 ,  昌樹 葛本 ,  中谷　元 ,  元 中谷 ,  弘行 荊原 ,  弘行 荊原 ,  江崎　徳光 ,  徳光 江崎 ,  峯　慎吾 ,  慎吾 峯 ,  民田　太一郎 ,  太一郎 民田

IPC: H05H1/24 ,  C01B13/11 ,  C23C16/50 ,  H01L21/3065 ,  H01T19/00

CPC classification number: H01T19/00 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/14 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/24 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/34 ,  C01B2201/60 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/76 ,  C01B2201/90

Abstract: 無声放電式プラズマ発生装置が、誘電体と、誘電体を挟んで対向配置された1組の電極と、電極間に交流電圧を印加して放電させる交流電源とを含み、放電を発生させる放電空間にガスを供給してプラズマを形成する。電極の少なくとも一方は、誘電体の上に形成された導電性の給電薄膜からなり、誘電体が破損して電極間にアーク放電が発生した場合に、アーク放電が発生した部分の給電薄膜を消滅または酸化させて、アーク放電の発生を停止させる。

公开(公告)号：JPS5771805A

公开(公告)日：1982-05-04

申请号：JP3142581

申请日：1981-03-06

Applicant: Toreriga Co Jieneraaru Dou Roz

Inventor： MARE MORISU

IPC: C01B13/11 ,  G05F1/10 ,  H01T19/00

CPC classification number: C01B13/115 ,  C01B2201/60 ,  C01B2201/76 ,  H01T19/00

公开(公告)号：EP2505550B1

公开(公告)日：2018-08-22

申请号：EP10832935.0

申请日：2010-09-06

Applicant: Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation

Inventor： OKIHARA Yujiro ,  TABATA Yoichiro ,  NAKAMURA Noriyuki ,  SAITSU Tetsuya ,  YOTSUMOTO Hatsuo ,  ITOH Nobuyuki

IPC: C01B13/11

CPC classification number: B01J19/088 ,  B01J2219/0805 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/76 ,  C01B2201/90

Abstract: An object of the present invention is to provide a downsized ozone generation unit including control means having plurality of means for outputting an ozone gas, and the ozone generation unit. In the present invention, a gas pipe integrated block (30) has a plurality of internal pipe paths (R30a to R30f). The plurality of internal pipe paths are connected to an ozone generator (1), control means (an MFC (3), a gas filter (51), and an APC (4)), a raw gas supply port (14), an ozone gas output port (15), and cooling water inlet/outlet ports (13A, 13B), to thereby form a unit in which a raw gas input pipe path and an ozone gas output pipe path are integrated. The raw gas input pipe path extends from the raw gas supply port through the APC to the ozone gas generator. The ozone gas output pipe path extends from the ozone generator through the gas filter, the ozone concentration meter 5, and the MFC 3, to the ozone gas output port.

公开(公告)号：EP1314692B1

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：EP02014892.0

申请日：2002-07-05

Applicant: MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA

Inventor： Okihara, Yujiro ,  Tabata, Youichiro ,  Usui, Akaru ,  Komiya, Hiromichi ,  Ganryu, Yuji ,  Kuzumoto, Masaki ,  Wada, Noboru ,  Ohta, Koji ,  Yagi, Shigenori ,  Kanegae, Hirozoh

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/76