光源装置、基板处理装置、基板处理方法

    公开(公告)号:CN101341582B

    公开(公告)日:2010-12-01

    申请号:CN200780000830.2

    申请日:2007-01-29

    CPC classification number: H01J37/32192 H01J65/044

    Abstract: 本发明提供一种光源装置,该光源装置由包含等离子体的形成区域,在上述等离子体的形成区域中,通过无电极放电形成等离子体而产生发光的等离子体形成室;和划分在上述等离子体形成室中的等离子体的形成区域的下端,透过上述发光的光学窗构成,在上述等离子体形成室内,形成有用于导入生成上述等离子体的微波的微波透过窗,而且,在上述微波透过窗的外侧设置有与上述微波窗结合、导入上述微波的微波天线。

    无电极照明装置
    222.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100508107C

    公开(公告)日:2009-07-01

    申请号:CN200510127194.2

    申请日:2005-11-28

    CPC classification number: H01J65/044

    Abstract: 一种电极照明装置,包括:波导管,用于引导从微波发生器产生的微波能量;谐振部件,其与波导管的出口连接并包括至少两个谐振腔,所述谐振腔具有网格结构且沿纵向相互滑动连接,以改变谐振部件的高度,并基于谐振部件的高度对网格密度调整,谐振部件用于使波导管引导的微波能量谐振;以及灯泡,其位于谐振部件内,并当其中封入的材料通过微波能量变为等离子体时产生光,因而能够根据灯泡类型和应用无电极照明装置的条件而改变谐振部件的总长度和基于谐振部件的高度而调整的网格密度,从而使谐振腔无需根据其长度或网格密度分别生产。因此,能够减少生产新谐振腔的时间和成本从而降低单位成本,并减少换灯泡时的装配步骤数量,降低维修成本。

    具有改进的磁控管控制的紫外线灯系统和相关方法

    公开(公告)号:CN101465265A

    公开(公告)日:2009-06-24

    申请号:CN200810186392.X

    申请日:2008-12-19

    Applicant: 诺信公司

    CPC classification number: H01J25/50 H01J23/34 H01J65/044

    Abstract: 本发明涉及具有改进的磁控管控制的紫外线灯系统和相关方法。用于辐射衬底的紫外线灯系统包括磁控管和物理连接到该磁控管的存储器。无电极灯构造为当受到由磁控管产生的微波能激励时发射紫外线光。主控制电路可操作成从存储器读取与磁控管相关的运行数据和将该运行数据写入存储器。紫外线灯系统通过从磁控管产生微波能来运行。无电极灯内的等离子体利用该微波能激励以发射紫外线光。跟踪与磁控管相关的运行数据并将该运行数据写入到与磁控管相关联的存储器。

    使用微波能的照明设备
    224.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100474499C

    公开(公告)日:2009-04-01

    申请号:CN200410003244.1

    申请日:2004-01-30

    Inventor: 闵丙玉

    CPC classification number: H01J65/044

    Abstract: 一种使用微波能的照明设备,包括一个设置在机壳里面、用于产生微波能的磁控管;一个用于导引微波能的波导;一个提供在其中使微波能谐振的谐振区域的谐振腔;一个设置在谐振腔内部、填充有一种当被微波能激励时发光的物质的灯泡;和一个被整体固定在灯泡后面、用于向前反射从灯泡向后发射的光的后反射镜。

    光源装置、基板处理装置、基板处理方法

    公开(公告)号:CN101341582A

    公开(公告)日:2009-01-07

    申请号:CN200780000830.2

    申请日:2007-01-29

    CPC classification number: H01J37/32192 H01J65/044

    Abstract: 本发明提供一种光源装置,该光源装置由包含等离子体的形成区域,在上述等离子体的形成区域中,通过无电极放电形成等离子体而产生发光的等离子体形成室;和划分在上述等离子体形成室中的等离子体的形成区域的下端,透过上述发光的光学窗构成,在上述等离子体形成室内,形成有用于导入生成上述等离子体的微波的微波透过窗,而且,在上述微波透过窗的外侧设置有与上述微波窗结合、导入上述微波的微波天线。

    无电极照明系统
    226.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100377291C

    公开(公告)日:2008-03-26

    申请号:CN02130165.4

    申请日:2002-08-23

    CPC classification number: H01J61/52 H01J65/044

    Abstract: 在一种无电极照明系统中,其内设有用于冷却散热器的冷却装置,所述无电极照明系统包括:用于产生微波能量的微波发生装置;与微波发生装置连接的光线发射装置,可利用微波发生装置中产生的微波能量形成等离子区,进而发射光线;外壳,具有用于容纳微波发生装置的第一容纳空腔,所述外壳还与光线发射装置密封接合;安装在微波发生装置的外表面的换热器,以吸收微波发生装置所产生的热量;安装在外壳外表面的散热器;以及导热部件,所述导热部件的一端连接换热器,而其另一端穿透外壳连接散热器,从而把热量从换热器传送到散热器。

    无电极照明系统
    227.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100356504C

    公开(公告)日:2007-12-19

    申请号:CN200410003243.7

    申请日:2004-01-30

    Inventor: 徐圣台

    CPC classification number: H01J61/54 H01J65/044

    Abstract: 本发明公开了一种无电极照明系统,包括:一个谐振腔,安装在传导磁控管产生的微波能量的波导管出口处,形成一当微波在其内谐振时允许光通过其中的空腔;一个位于谐振腔内并且密封了发光物质的灯泡,该发光物质借助微波能量可以发光;以及一个或多个微波汇聚单元,其安装在谐振腔的内圆周表面并且汇聚从波导管出口输出到灯泡的微波能量。通过将微波汇聚到位于谐振腔内部的无电极等离子体灯泡,可以提高发光初期的稳定性和发光效率。

    使用圆极化波微波的非旋转无电极放电灯系统

    公开(公告)号:CN1326197C

    公开(公告)日:2007-07-11

    申请号:CN200310100060.2

    申请日:2003-10-08

    CPC classification number: H01J65/044

    Abstract: 本发明提供一种圆极化波超高频发生装置,在通电磁场的波导管上,按规定角度旋转,排列椭圆形的波导管,仅通过该椭圆形波导管的短轴和/或长轴的斜度,使电磁场作为圆极化波到达放电灯。在无电极放电灯用的圆极化波变换装置中,使用微波振荡器来送出线极化波微波的长方形波导管与输入圆筒形波导管连结成一条直线,在上述输入圆筒形波导管的外周面上,直角连结终端封闭的长方形波导管,椭圆形波导管与上述输入圆筒形波导管连结成一条直线,使其长轴相对上述输入圆筒形波导管的水平面以规定角度旋转,同时,与将由网体覆盖的放电灯固定在反射镜的板上的圆筒形波导管连结成一条直线。

    无电极灯系统
    229.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1278377C

    公开(公告)日:2006-10-04

    申请号:CN03132871.7

    申请日:2003-07-24

    CPC classification number: H01J65/044

    Abstract: 在一种无电极灯系统中,根据本发明的一种无电极灯系统包括电磁波发生单元,用于产生电磁波;谐振单元,与电磁波发生单元相连,用于谐振电磁波发生单元产生的一定频率的电磁波;和发光单元,与谐振单元连接,以便利用谐振单元内形成的电场产生等离子体,从而发光;其中,谐振单元包括与电磁波发生单元连接的第一谐振单元,和与第一谐振单元垂直连接的第二谐振单元,该第二谐振单元与发光单元相连,并与第一谐振单元一起形成谐振空间,以便以一定频率进行谐振。

    紫外灯系统及方法
    230.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1260013C

    公开(公告)日:2006-06-21

    申请号:CN01135991.9

    申请日:2001-10-31

    CPC classification number: H01J65/044

    Abstract: 本发明公开了一种紫外辐射产生系统及其方法,用于处理基质上的涂层,如像一个光缆上的涂层。该系统包括一个具有一个或一个以上出入口通道的微波室,这些出入口通道使得基质可在该微波室的处理空间以内、或移动通过该空间。将一个微波发生器连接于该微波室,以激发一个纵向伸展、安装于微波室处理空间内的等离子体灯。该等离子体灯发射紫外辐射以照射处理空间中的基质。一个反射器安装于微波室处理空间内,能够反射紫外辐射以依照某种环绕方式而均匀地照射基质。在该系统运行时,该微波室对于微波能量以及紫外辐射的发射基本封闭。

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