公开(公告)号：CN119890027A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202411898887.0

申请日：2024-12-23

Applicant: 上海苏萨电子科技有限公司 ,  塞弗尔科学仪器(上海)有限公司

Inventor： 钱祎棠 ,  任欢欢 ,  钱永彪

IPC: H01J65/04 ,  G01N27/66

Abstract: 本发明提供一种无极紫外灯、发光强度调节方法及光离子化传感器。所述无极紫外灯：紫外灯管包括玻璃外壳及密封设置在玻璃外壳的开口处以使其内部形成封闭腔室的紫外窗口；多个驱动电极固定套设在玻璃外壳上且沿着其轴向间隔排布；驱动模块内预存有紫外灯发光强度与驱动电极对的映射关系，用于响应于紫外灯发光强度控制指令，确定目标驱动电极对，并对目标驱动电极对施加预定幅值和频率的交流电压。所述发光强度调节方法应用于上述驱动模块，包括：响应于紫外灯发光强度控制指令，根据紫外灯发光强度与驱动电极对的映射关系，确定目标驱动电极对；对目标驱动电极对施加预定幅值和频率的交流电压。所述光离子化传感器包括上述无极紫外灯。根据本发明能够解决现有PID传感器用紫外灯的发光强度调节方式的局限性大的问题。

公开(公告)号：CN112331552B

公开(公告)日：2025-04-08

申请号：CN202011333728.8

申请日：2020-11-25

Applicant: 江西省纳米技术研究院 ,  广东中科半导体微纳制造技术研究院

Inventor： 孙钱 ,  汤文君 ,  赵征途 ,  冯美鑫

IPC: H01J61/40 ,  H01J61/35 ,  H01J65/04

Abstract: 本发明公开了一种准分子灯，包括透光容器、至少一对电极和具有滤波功能的介质膜层，所述透光容器内封装有放电用气体，所述至少一对电极之间能够形成使放电用气体发生电离的电场，介质膜层设置于透光容器的外表面。本发明通过在准分子灯高电场区外侧增加带有滤波功能的介质膜，使得准分子灯具有单色性好、输出功率高、稳定性和可靠性好等优点，有助于拓宽准分子灯的应用领域。

公开(公告)号：CN119673728A

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：CN202410665111.8

申请日：2024-05-27

Applicant: 湖南森启科技有限公司

Inventor： 张骁 ,  江国园

IPC: H01J9/26 ,  H01J65/04 ,  H01J61/36

Abstract: 本发明公开了一种陶瓷玻璃真空无极紫外灯封装用装置及方法，装置采用可拆卸连接的第一固定座、第二固定座和第三固定座，可实现陶瓷玻璃真空无极紫外灯玻璃管、窗口片、陶瓷灯管的夹持，当需要进行封装时，自下而上依次将玻璃管、窗口片、陶瓷灯管安装好，封装用装置在封装时与玻璃管、窗口片、陶瓷灯管的封接面不会接触，避免了玻璃管、窗口片、陶瓷灯管粘接在封装用装置上。

公开(公告)号：CN118039452B

公开(公告)日：2025-01-28

申请号：CN202410163545.8

申请日：2024-02-05

Applicant: 中国科学技术大学

Inventor： 胡广月

IPC: H01J65/04 ,  H05H1/24 ,  H01J61/28

Abstract: 本发明公开了一种台式化高亮度等离子体光源，包括激光组件、真空组件、靶物质、用于对靶物质提供磁场区的磁场组件以及用于对靶物质所处磁场区进行供气的充气组件，靶物质和磁场组件设置于真空组件中，激光组件发射的激光照射在靶物质上生成等离子而发光；该等离子体光源能够产生密度更均匀的等离子体发光区域，从而大幅度增加激光驱动的热辐射等离子体光源的发光效率和发光亮度、降低能耗以及靶碎片。

公开(公告)号：CN115380361B

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202180027828.4

申请日：2021-04-13

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： I·贝泽尔 ,  A·E·斯捷潘诺夫 ,  L·B·兹韦德努科 ,  Y·G·库岑科 ,  B·V·波塔普金 ,  S·库马尔

IPC: H01J61/28 ,  H01J65/04 ,  H05G2/00

Abstract: 本发明揭示具有涡旋气体流的激光维持等离子体(LSP)光源。所述LSP源包含：气体围阻结构，其用于容纳气体；一或多个气体入口，其经配置以使气体流到所述气体围阻结构中；及一或多个气体出口，其经配置以使气体流出所述气体围阻结构。所述一或多个气体入口及所述一或多个气体出口经布置以在所述气体围阻结构内产生涡旋气体流。所述LSP源还包含激光泵源，其经配置以产生光学泵以便在所述气体围阻结构的区域中所述涡旋气体流内的内部气体流内维持等离子体。所述LSP源包含光收集器元件，其经配置以收集从所述等离子体发射的宽带光的至少一部分。

公开(公告)号：CN116053112B

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202211642817.X

申请日：2022-12-20

Applicant: 桑尼维尔新材料科技(南京)有限公司

Inventor： 梅泽群 ,  赛红帅 ,  梅文标

IPC: H01J65/04

Abstract: 本发明提供了一种222纳米准分子灯板及其制作方法，一种222纳米准分子灯板包括平行设置的电介质板，所述电介质板能够透过222纳米紫外光；所述电介质板相对的两个内表面上均设有钢化层；两片电介质板的边缘之间通过围坝密封连接以形成用于容纳放电气体的腔体，所述围坝的侧壁上开有通气口；至少一片电介质板的外表面设有网状电极以用于射出222纳米紫外光，用于透光的电介质板的外表面镀有光学过滤膜以用于过滤非222纳米波长的光。本发明采用灯板结构更容易产生辐照强度均匀的效果，在灯板上制作电极等工艺简单、成本低；电介质板和围坝构成的密闭放电腔体的制造工艺可控性强；电介质板内表面的钢化处理提高了准分子灯的寿命。

公开(公告)号：CN107818910B

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN201711171557.1

申请日：2017-11-22

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 黄惠芬 ,  张志平

IPC: H01J65/04

Abstract: 本发明公开了一种新型磁环偶极子聚焦放大谐振腔，包括一对平行的圆形金属板和多个开口圆环，一对平行的圆形金属板具体为上下平行，多个开口圆环的开口与一对平行的圆形金属板连接，所述开口圆环环绕圆形金属板均等对称分布，所述开口圆环之间留有空隙。在微波等离子体系统中，采用本发明，能够将磁场、电场局域于谐振腔内，从而场聚焦放大，同时抑制了电磁泄漏。

公开(公告)号：CN118202440A

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202280073864.9

申请日：2022-10-05

Applicant: 艾斯泰克私人有限责任公司 ,  艾斯泰克集团控股有限公司

Inventor： 德米特里·鲍里索维奇·阿布拉缅科 ,  罗伯特·拉菲列维奇·加亚索夫 ,  丹尼斯·亚历山德罗维奇·格卢什科夫 ,  弗拉基米尔·米哈伊洛维奇·克里夫特森 ,  亚历山大·安德里维奇·拉什

IPC: H01J65/04 ,  H01J61/02 ,  H05H1/24

Abstract: 一种光源，其中辐射等离子体由CW激光器的聚焦光束维持在充气腔室中。气体是纯度至少为99.99％的惰性气体。腔室包含金属壳体，该金属壳体具有由MgF2制成的用于输出等离子体辐射的至少一个窗口。每个窗口均位于套筒的端部上的壳体的孔内，并且通过玻璃胶焊合至套筒，并且每个套筒均在外侧接缝上焊接至金属壳体的孔。套筒和壳体均由合金制成，该合金的线性热膨胀系数(CLTE)与MgF2晶体的在垂直于MgF2晶体的光轴的方向上的CLTE相匹配。技术效果在于将光源的辐射光谱扩展至VUV区域。

公开(公告)号：CN118159307A

公开(公告)日：2024-06-07

申请号：CN202280067708.1

申请日：2022-09-27

Applicant: 昕诺飞控股有限公司

Inventor： R·A·谢普哈诺夫 ,  M·A·德萨博

IPC: A61L9/18 ,  H01J65/00 ,  H01J65/04

Abstract: 本发明涉及一种照明装置，其包括用于在体积内产生微波的微波发生器，其中微波用于对体积进行消毒；用于发射用于照亮外部物体的光的照明负载；以及外壳，其中外壳封围体积，并且被配置成防止微波穿过外壳并使光穿过。

公开(公告)号：CN118039452A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202410163545.8

申请日：2024-02-05

Applicant: 中国科学技术大学

Inventor： 胡广月

IPC: H01J65/04 ,  H05H1/24 ,  H01J61/28

Abstract: 本发明公开了一种台式化高亮度等离子体光源，包括激光组件、真空组件、靶物质、用于对靶物质提供磁场区的磁场组件以及用于对靶物质所处磁场区进行供气的充气组件，靶物质和磁场组件设置于真空组件中，激光组件发射的激光照射在靶物质上生成等离子而发光；该等离子体光源能够产生密度更均匀的等离子体发光区域，从而大幅度增加激光驱动的热辐射等离子体光源的发光效率和发光亮度、降低能耗以及靶碎片。