掃描探針顯微鏡
    251.
    发明专利
    掃描探針顯微鏡 审中-公开
    扫描探针显微镜

    公开(公告)号:TW201625954A

    公开(公告)日:2016-07-16

    申请号:TW104132352

    申请日:2015-10-01

    CPC classification number: G01Q70/04 G01Q30/12 G01Q30/18 G01Q60/32

    Abstract: 提供了一種掃描探針顯微鏡,包括一掃描探針(10),一基座(5)以握持於不含液體環境內之一試樣(SMP)。於其內提供一掃描機構(20),沿該試樣(SMP)之表面以感應該掃描探針(10)相對於該試樣(SMP)之一相對移動。一驅動器(30),生成感應該掃描探針(10)相對於欲掃描之該試樣之表面之一振盪運動之一驅動訊號(Sd)。一量測單元(40),量測該掃描探針(10)之偏移,及提供表明該偏移之一偏移訊號(Sδ)。一振幅偵測器(50),偵測為該偏移訊號(Sδ)所顯示之該震盪運動之一振幅,及提供表明該振幅之一振幅訊號(Sa)。該掃描探針(10)係至少部分地容置於包括以減緩該掃描探針之運動之一液體(L),其內具有少於或等於5之一品質因子Q。該掃描探針(10)係容置於包括該液體(L)之一外殼(90)之內,該掃描探針(10)包括一可撓載具(11),該可撓載具含有具有一尖端(12)之一可移動部,其中尖端(12)延伸穿過該外殼內之一開口(91)。

    Abstract in simplified Chinese: 提供了一种扫描探针显微镜,包括一扫描探针(10),一基座(5)以握持于不含液体环境内之一试样(SMP)。于其内提供一扫描机构(20),沿该试样(SMP)之表面以感应该扫描探针(10)相对于该试样(SMP)之一相对移动。一驱动器(30),生成感应该扫描探针(10)相对于欲扫描之该试样之表面之一振荡运动之一驱动信号(Sd)。一量测单元(40),量测该扫描探针(10)之偏移,及提供表明该偏移之一偏移信号(Sδ)。一振幅侦测器(50),侦测为该偏移信号(Sδ)所显示之该震荡运动之一振幅,及提供表明该振幅之一振幅信号(Sa)。该扫描探针(10)系至少部分地容置于包括以减缓该扫描探针之运动之一液体(L),其内具有少于或等于5之一品质因子Q。该扫描探针(10)系容置于包括该液体(L)之一外壳(90)之内,该扫描探针(10)包括一可挠载具(11),该可挠载具含有具有一尖端(12)之一可移动部,其中尖端(12)延伸穿过该外壳内之一开口(91)。

    在平直表面定位載物架之方法以及載物架與定位元件之組合
    254.
    发明专利
    在平直表面定位載物架之方法以及載物架與定位元件之組合 审中-公开
    在平直表面定位载物架之方法以及载物架与定比特件之组合

    公开(公告)号:TW201616033A

    公开(公告)日:2016-05-01

    申请号:TW104121059

    申请日:2015-06-30

    Abstract: 本發明關於一種方法,用於使用一定位件以定位一載物架於一平面,其中載物架包括彼此連接之一上部及一基座且彼此遠離設置,其中定位件設置於基座與上部間以使基座相對於載物架之上部位於定位件之反側且上部在載物架放置於平面前,位於定位件上,其中上部包括三個接合件且其中定位件包括一支撐面用以接收上部之三個接合件,且支撐面包括複數個插槽以提供三個接合件之一移動固接點,其中基座包括三個結合件,每一結合件分別與三個接合件其中之一相關聯且方法包括以下步驟:運作定位件以相對於平面以一平行方向移動載物架以定位載物架於一結合位置之上方;執行位於結合位置時放置載物架至平面的一動作,放置動作包括:移動基座朝向平面直到至少一結合件接觸平面且接合件之一關聯接合件由移動固接點釋放;持續基座相對於平面的移動直到所有結合件接觸平面;及持續放置載物架之動作直到所有接合件由移動固接點釋放。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明关于一种方法,用于使用一定位件以定位一载物架于一平面,其中载物架包括彼此连接之一上部及一基座且彼此远离设置,其中定位件设置于基座与上部间以使基座相对于载物架之上部位于定位件之反侧且上部在载物架放置于平面前,位于定位件上,其中上部包括三个接合件且其中定位件包括一支撑面用以接收上部之三个接合件,且支撑面包括复数个插槽以提供三个接合件之一移动固接点,其中基座包括三个结合件,每一结合件分别与三个接合件其中之一相关联且方法包括以下步骤:运作定位件以相对于平面以一平行方向移动载物架以定位载物架于一结合位置之上方;运行位于结合位置时放置载物架至平面的一动作,放置动作包括:移动基座朝向平面直到至少一结合件接触平面且接合件之一关联接合件由移动固接点释放;持续基座相对于平面的移动直到所有结合件接触平面;及持续放置载物架之动作直到所有接合件由移动固接点释放。

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