公开(公告)号：WO0002090A3

公开(公告)日：2002-02-28

申请号：PCT/US9915068

申请日：1999-07-02

Applicant: MASSACHUSETTS INST TECHNOLOGY ,  CHAN VANESSA Z H ,  THOMAS EDWIN L ,  LEE VICTOR Y ,  MILLER ROBERT D ,  AVGEROPOULOS APOSTOLOS ,  HADJICHRISTIDIS NIKOS

Inventor： CHAN VANESSA Z H ,  THOMAS EDWIN L ,  LEE VICTOR Y ,  MILLER ROBERT D ,  AVGEROPOULOS APOSTOLOS ,  HADJICHRISTIDIS NIKOS

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/075 ,  B81B1/00 ,  C08F297/04 ,  C08J9/26

CPC classification number: B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y30/00 ,  C08F283/00 ,  C08F297/00 ,  C08F297/02 ,  C08L51/003 ,  C08L53/00 ,  G03F7/0015 ,  G03F7/0758 ,  Y10T428/249953 ,  Y10T428/249967 ,  Y10T428/249969 ,  C08L2666/02

Abstract: The current invention involves periodically ordered nanostructured materials and methods of using and modifying the materials. In some embodiments, the invention provides periodically structured microphase separated polymeric articles that include periodically occurring separate domains. The polymeric species comprising one or more of the domains, for some embodiments, contains an inorganic species capable of forming an inorganic oxide ceramic. In another aspect, the invention provides methods for modifying the polymeric articles by oxidation and/or radiation to form periodically structured porous and relief articles that, in some embodiments, include a ceramic oxide in their structure. The invention also provides methods of use for the novel articles and novel structures constructed utilizing the articles.

Abstract translation: 本发明涉及周期性订购的纳米结构材料以及使用和修饰材料的方法。 在一些实施方案中，本发明提供周期性结构的微相分离的聚合物制品，其包括周期性发生的分离的结构域。 在一些实施方案中，包含一个或多个结构域的聚合物种包含能够形成无机氧化物陶瓷的无机物质。 在另一方面，本发明提供了通过氧化和/或辐射来改性聚合物制品以形成周期性结构化的多孔和浮雕制品的方法，其在一些实施方案中包括其结构中的陶瓷氧化物。 本发明还提供了利用该制品构造的新型制品和新颖结构的使用方法。

公开(公告)号：WO2017147185A1

公开(公告)日：2017-08-31

申请号：PCT/US2017/018944

申请日：2017-02-22

Applicant: BOARD OF REGENTS THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM

Inventor： WILLSON, Carlton, Grant ,  BLACHUT, Gregory ,  MAHER, Michael ,  ASANO, Yusuke ,  ELLISON, Christopher, John

IPC: C08F299/02 ,  C08F224/00 ,  C08F230/08 ,  B32B27/28

CPC classification number: C08F297/00 ,  B05D3/108 ,  B05D7/26 ,  B05D7/542 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y40/00 ,  C09D153/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/0271

Abstract: The present invention relates to a method for the synthesis and utilization of block copolymer can that form sub-10 nm lamella nanostructures. Such methods have many uses including multiple applications in the semiconductor industry including production of templates for nanoimprint lithography.

Abstract translation: 本发明涉及用于合成和利用形成小于10nm的层状纳米结构的嵌段共聚物的方法。 这种方法有许多用途，包括半导体工业中的多种应用，包括用于纳米压印光刻的模板的生产。

公开(公告)号：WO2017015444A1

公开(公告)日：2017-01-26

申请号：PCT/US2016/043303

申请日：2016-07-21

Applicant: DNP123 COMPANY

Inventor： SANTOS, Aaron, T. ,  LYONS, Derek, M.

IPC: B82B1/00 ,  B82Y5/00 ,  B82Y40/00 ,  C12P19/34 ,  C25B9/16

CPC classification number: B81C1/00126 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y5/00 ,  B82Y40/00 ,  C25B9/16

Abstract: The present invention generally relates to nanofabrication and, in some embodiments, to methods of synthesizing selectively binding patched nanoparticles and the devices that can be made from them. In some embodiments, the invention relates to methods of assembling arbitrarily shaped structures from patched nanocubes and the devices and uses that follow. For example, nanocube building blocks may be patched by stamping their faces with a selectively binding chemical species (e.g. DNA, antibody-antigen pairs, etc.), or by using self-assembly to attach to the nanocubes multiple selectively binding patch species whose immiscibility can be preprogrammed. Arbitrarily shaped structures can then be designed and assembled by deciding which faces will be bonded to each other in some target structure and combining nanocubes that have selectively binding patches on those faces. Other aspects of the invention are also directed to methods of making such nanocubes or other nanoparticles, methods of forming such nanocubes.

Abstract translation: 本发明通常涉及纳米制造，并且在一些实施方案中涉及合成选择性结合的修补纳米颗粒的方法以及可由它们制备的装置。 在一些实施例中，本发明涉及从修补的纳米管和装置以及随后的使用来组装任意形状的结构的方法。 例如，可以通过用选择性结合的化学物质（例如DNA，抗体 - 抗原对等）冲压它们的面，或者通过使用自组装来附着到纳米管多个选择性结合的不相容性的斑块物种来修补纳米管结构单元 可以进行预编程。 然后可以通过决定哪些面将在某些目标结构中彼此结合并组合在那些面上具有选择性结合贴片的纳米管，从而可以设计和组装任意形状的结构。 本发明的其它方面还涉及制备这种纳米管或其它纳米颗粒的方法，形成这种纳米管的方法。

公开(公告)号：WO2016080972A1

公开(公告)日：2016-05-26

申请号：PCT/US2014/066228

申请日：2014-11-18

Applicant: SEAGATE TECHNOLOGY LLC

Inventor： YANG, XiaoMin ,  XIAO, Shuaigang ,  LEE, Kim Y. ,  KUO, David S.

IPC: B82B3/00 ,  H01L21/32 ,  G03F7/26

CPC classification number: G03F7/11 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/094 ,  G03F7/70 ,  H01L21/32

Abstract: Provided herein is a method, including creating a first layer over a substrate, wherein the first layer is configured for directed self-assembly of a block copolymer thereover; creating a continuous second layer over the first layer by directed self-assembly of a block copolymer, wherein the second layer is also configured for directed self-assembly of a block copolymer thereover; and creating a third layer over the continuous second layer by directed self-assembly of a block copolymer. Also provided is an apparatus, comprising a continuous first layer comprising a thin film of a first, phase-separated block copolymer, wherein the first layer comprises a first chemoepitaxial template configured for directed self-assembly of a block copolymer thereon; and a second layer on the first layer, wherein the second layer comprises a thin film of a second, phase-separated block copolymer.

Abstract translation: 本文提供了一种方法，包括在衬底上形成第一层，其中第一层构造成用于其上的嵌段共聚物的定向自组装; 通过嵌段共聚物的定向自组装在所述第一层上形成连续的第二层，其中所述第二层还构造成用于其间的嵌段共聚物的定向自组装; 以及通过嵌段共聚物的定向自组装在连续的第二层上形成第三层。 还提供了一种装置，其包括连续的第一层，其包含第一相分离嵌段共聚物的薄膜，其中第一层包括构造成在其上引导嵌段共聚物的第一化学外延模板; 以及第一层上的第二层，其中第二层包括第二相分离嵌段共聚物的薄膜。

公开(公告)号：WO2016077318A1

公开(公告)日：2016-05-19

申请号：PCT/US2015/059912

申请日：2015-11-10

Applicant: THE CLARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC. ,  CARTER, David, J.

Inventor： CARTER, David, J.

IPC: B81C1/00

CPC classification number: C09J7/00 ,  B81C1/00206 ,  B81C2201/0149

Abstract: A method of assembly of micro-scale objects includes forming a pattern of a first functional moiety on a surface of a substrate, contacting the surface of the substrate with a first liquid suspension including first micro-scale feedstock elements functionalized with a second functional moiety, complimentary to the first functional moiety, on first portions of the first micro-scale feedstock elements and functionalized with a third functional moiety on second portions of the first micro-scale feedstock elements, aligning the first portions of the first micro-scale feedstock elements with the surface of the substrate, and facilitating bonding the second functional moieties to the first functional moieties to form a first microstructure pattern of the first micro-scale feedstock elements on the surface of the substrate.

Abstract translation: 一种组装微尺度物体的方法包括在基底表面上形成第一功能部分的图案，使基底的表面与第一液体悬浮液接触，所述第一液体悬浮液包括用第二官能部分官能化的第一微量原料元素， 在第一微量原料元素的第一部分上与第一微量原料元素的第一部分互补并在第一微量原料元素的第二部分上用第三功能部分官能化，将第一微量原料元件的第一部分与 衬底的表面，并且促进将第二功能部分结合到第一功能部分，以在衬底的表面上形成第一微量原料元件的第一微结构图案。

公开(公告)号：WO2015100126A2

公开(公告)日：2015-07-02

申请号：PCT/US2014/071140

申请日：2014-12-18

Applicant: WASHINGTON STATE UNIVERSITY

Inventor： WANG, Yu ,  ZHONG, Wei-hong

IPC: B32B27/30

CPC classification number: B81C1/00007 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y40/00 ,  C08F299/0492 ,  C08G81/00

Abstract: Block copolymer nanostructures such as nanosheets, nanoribbons, and nanotubes, are provided. The nanotructures are formed by the self-assembly of block copolymers during evaporation of solvent from a sol that has been "disturbed", either i) internally by the introduction of relief (e.g. curvature) and/or the inclusion of nanoparticles in the sol; or ii) externally, e.g. by physical deformation of a semi-solid form of the sol, or a combination of internal and external disturbance. The nanostructures have uses in, for example, energy devices, electronics, sensors and drug delivery applications.

Abstract translation: 提供了嵌段共聚物纳米结构，例如纳米片，纳米带和纳米管。 通过嵌段共聚物的自组装在溶剂从已被“扰动”的溶胶蒸发过程中形成纳米颗粒，i）内部通过引入浮雕（例如曲率）和/或纳米颗粒包含在溶胶中 ; 或ii）在外部，例如 通过半固体形式的溶胶的物理变形，或内部和外部干扰的组合。 纳米结构可用于例如能量装置，电子，传感器和药物输送应用。

公开(公告)号：WO2015086991A1

公开(公告)日：2015-06-18

申请号：PCT/FR2014/053254

申请日：2014-12-10

Applicant: ARKEMA FRANCE ,  UNIVERSITE DE BORDEAUX ,  INSTITUT POLYTECHNIQUE DE BORDEAUX ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE

Inventor： FLEURY, Guillaume ,  NAVARRO, Christophe ,  HADZIIOANNOU, Georges ,  NICOLET, Celia ,  CHEVALIER, Xavier ,  REBOUL, Chrystilla ,  CASTILLO, Véronica ,  PECASTAINGS, Gilles

IPC: C08J9/26 ,  B05D3/02 ,  B81C1/00 ,  B82Y30/00 ,  C09D153/00 ,  C08L53/00

CPC classification number: C09D187/005 ,  B01J31/06 ,  B05D3/06 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  C08F293/005 ,  C08F2438/02 ,  C08J9/26 ,  C09D153/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/0271

Abstract: L'invention concerne un procédé de réalisation d'un film de copolymères à blocs auto assemblés sur un substrat, ledit procédé consistant à effectuer un dépôt simultané de copolymère à blocs et de copolymère statistique au moyen d'une solution contenant un mélange, de copolymère à blocs et de copolymère statistique de nature chimique différente et non miscibles, puis à effectuer un traitement de recuit permettant la promotion de la ségrégation de phases inhérente à l'auto-assemblage des copolymères à blocs.

Abstract translation: 本发明涉及一种在基材上制备自组装嵌段共聚物膜的方法，所述方法包括通过含有嵌段共聚物和具有不同化学性质的统计共聚物的混合物并且不混溶的溶液同时沉积嵌段共聚物和统计共聚物的方法 然后进行退火处理，以促进嵌段共聚物的自组装固有的相分离。

公开(公告)号：WO2015012516A1

公开(公告)日：2015-01-29

申请号：PCT/KR2014/006294

申请日：2014-07-14

Applicant: 광주과학기술원

Inventor： 윤명한 ,  이세영

IPC: B82B3/00

CPC classification number: H01L29/0676 ,  B81B2203/0361 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0133 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/022 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/3086 ,  H01L21/32051 ,  H01L29/16

Abstract: 실리콘 기판 상에 플라스틱 입자들을 균일한 무작위 패턴으로 서로 이격하여 위치시키는 단계; 상기 플라스틱 입자들 사이에 촉매층을 형성하는 단계; 상기 플라스틱 입자들을 제거하는 단계; 상기 촉매층과 접촉하는 실리콘 기판 부위를 수직적으로 식각하는 단계; 및 상기 촉매층을 제거하는 단계를 포함하는, 실리콘 나노 와이어 어레이의 제조방법이 제공된다. 본 발명에 따르면, 공정이 단순하고 비용효과적이며 대면적 공정으로 대량생산이 가능하고 자원제한적인 장소에서도 나노 와이어의 제조가 가능하며, 나노 와이어의 구조를 독립적으로 제어할 수 있다.

Abstract translation: 提供一种制造硅纳米线阵列的方法，包括以下步骤：在硅衬底上以均匀和随机的图案将彼此分离的塑料颗粒定位; 在塑料颗粒之间形成催化剂层; 去除塑料颗粒; 垂直蚀刻接触催化剂层的硅衬底的部分; 并除去催化剂层。 本发明提供了一种简单且具有成本效益的方法，能够通过大的表面积处理进行批量生产，甚至能够在具有有限资源的位置制造纳米线，并且能够单独控制纳米线的结构。

公开(公告)号：WO2014209327A1

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：PCT/US2013/048307

申请日：2013-06-27

Applicant: INTEL CORPORATION ,  BRISTOL, Robert L. ,  HOURANI, Rami ,  HAN, Eungnak ,  BLACKWELL, James M.

Inventor： BRISTOL, Robert L. ,  HOURANI, Rami ,  HAN, Eungnak ,  BLACKWELL, James M.

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/28

CPC classification number: H01L21/76897 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/31051 ,  H01L21/31127 ,  H01L21/76822 ,  H01L21/76834 ,  H01L23/528 ,  H01L23/5328 ,  H01L23/5329 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: A method of an aspect includes forming a directed self assembly alignment promotion layer over a surface of a substrate having a first patterned region and a second patterned region. A first directed self assembly alignment promotion material is formed selectively over the first patterned region without using lithographic patterning. The method also includes forming an assembled layer over the directed self assembly alignment promotion layer by directed self assembly. A plurality of assembled structures are formed that each include predominantly a first type of polymer over the first directed self assembly alignment promotion material. The assembled structures are each adjacently surrounded by predominantly a second different type of polymer over the second patterned region. The first directed self assembly alignment promotion material has a greater chemical affinity for the first type of polymer than for the second different type of polymer.

Abstract translation: 一个方面的方法包括在具有第一图案化区域和第二图案化区域的基板的表面上形成定向自组装对准促进层。 选择性地在第一图案化区域上形成第一定向自组装对准促进材料，而不使用平版印刷图案。 该方法还包括通过定向自组装在定向自组装对准促进层上形成组装层。 形成多个组装结构，每个组合结构主要包括第一类型的自组装排列促进材料上的第一类聚合物。 组装的结构在第二图案化区域上主要围绕第二种不同类型的聚合物。 第一定向自组装校准促进材料对于第一类聚合物具有比对于第二种不同类型的聚合物更大的化学亲和力。

公开(公告)号：WO2014208311A1

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：PCT/JP2014/065087

申请日：2014-06-06

Applicant: 東京エレクトロン株式会社

Inventor： 村松　誠 ,  北野　高広 ,  冨田　忠利 ,  西　孝典 ,  川上　真一路 ,  山内　剛

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/40

CPC classification number: G03F7/20 ,  B81C2201/0149 ,  C08L53/00 ,  C09D153/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/16 ,  G03F7/32 ,  G03F7/40 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/3086 ,  H01L21/31133 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6708

Abstract: 　基板処理方法は、ブロック共重合体を親水性ポリマーと疎水性ポリマーに相分離させるポリマー分離工程と、相分離したブロック共重合体から、親水性ポリマーを選択的に除去するポリマー除去工程とを有し、ポリマー除去工程では、相分離したブロック共重合体にエネルギー線を照射し、次いで親水性ポリマーに対して第１の溶解度を有し、水より沸点が低く、水に対して可溶で且つ疎水性ポリマーを溶解しない第１の極性有機溶剤をブロック共重合体に供給し、次いで、第１の溶解度より低い第２の溶解度を有し、水よりも沸点が高く且つ疎水性ポリマーを溶解しない第２の極性有機溶剤を、ブロック共重合体に供給して親水性ポリマーを除去する。

Abstract translation: 该基板处理方法包括：聚合物分离步骤，其中嵌段共聚物被相分离为亲水性聚合物和疏水性聚合物; 和聚合物去除步骤，其中从相分离的嵌段共聚物中选择性地除去亲水性聚合物。 在聚合物去除步骤中，通过用能量射线照射相分离的嵌段共聚物，然后向嵌段共聚物中提供第一极性有机溶剂，然后向嵌段共聚物中提供第二极性有机溶剂，除去亲水性聚合物。 第一极性有机溶剂对亲水性聚合物具有第一溶解性，沸点低于水，易溶于水，不溶解疏水性聚合物。 第二极性有机溶剂的第二溶解度低于第一溶解度，沸点高于水，并且不溶解疏水性聚合物。