气体供给装置
    281.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102326129A

    公开(公告)日:2012-01-18

    申请号:CN201080009025.8

    申请日:2010-02-26

    Inventor: 林达也

    Abstract: 本发明提供一种结构紧凑的气体供给装置,该气体供给装置可以通过必要且最小限度的加热装置来防止汽化后的气体再液化,并且可以大幅度减小设置面积,气体供给装置(100)包括:容器(1),储存液体材料(M);以及质量流量控制器(2),通过第一阀单元(31)与所述容器(1)的内部连接,并且控制所述液体材料(M)汽化后的气体的流量,在所述容器(1)的外壁内部形成有内部流道(13),所述内部流道(13)包括产生气体导出管道(Gout),所述产生气体导出管道(Gout)包括:第一阀流入流道(131),连接容器(1)的内部和第一流入口(31i);以及第一阀流出流道(132),连接第一流出口(13o)和所述质量流量控制器(2)的导入口(H)。

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