복굴절 측정장치 및 복굴절 측정방법
    281.
    发明公开
    복굴절 측정장치 및 복굴절 측정방법 审中-实审
    双折射测量装置和双折射测量方法

    公开(公告)号:KR1020170039232A

    公开(公告)日:2017-04-10

    申请号:KR1020177005346

    申请日:2015-08-11

    CPC classification number: G01N21/23 G01N2201/0683

    Abstract: 본발명은회전기구가없는심플한구성이고, 측정대상물의복굴절이차원분포를실시간으로, 또상세하게측정할수 있는복굴절측정장치를제공하는것을과제로한다. 본발명에따른복굴절측정장치(1A)는광속(L1)을생성하는광속생성수단(2)과, 광속(L1)을미리정해진편광상태로해서측정대상물(20)에조사하는광속조사수단(3, 4, 5)과, 측정대상물(20)을투과한광속(L4)을결상시키는결상광학계(10)과, 결상광학계(10)의도중에배치된편광회절격자(8)과, 결상광학계(10)에의해결상된상의명암에관한명암신호를생성하는촬상수단(12)과, 명암신호에의거해서산출한, 측정대상물(20)을투과한것에의해발생한, 광속(L4)에있어서의위상차에관한정보를출력하는출력수단을구비하고, 촬상수단(12)은편광회절격자(8)가발생시킨복수의회절광가운데적어도하나의회절광(L7)의상의명암신호를생성하는것을특징으로한다.

    Abstract translation: 本发明是一种旋转机构具有简单的结构,这将是零,并提供一种双折射测定装置,它可以,具体而言,实时测量所述测量物体的三维分布的双折射。 根据本发明的双折射测定装置(1A),该光束照射装置,用于照射所述对象由所述光束产生来测量20装置,用于产生光束(L1)(2)和一个光束(L1)与预定的偏振状态(3 成像光学系统10用于对透过测量对象20的光束L4成像,配置在成像光学系统10的图像中的偏振衍射光栅8, )在通过基于明暗信号计算出的测量对象20而生成的光束L4中, 并且图像拾取装置12在由偏振衍射光栅8产生的多个衍射光之中的至少一个衍射光L7上产生亮/暗信号 。

    표시 장치의 검사 장치 및 표시 장치의 검사 방법
    283.
    发明公开
    표시 장치의 검사 장치 및 표시 장치의 검사 방법 审中-实审
    检测显示装置的装置和检测显示装置的方法

    公开(公告)号:KR1020160082787A

    公开(公告)日:2016-07-11

    申请号:KR1020140192097

    申请日:2014-12-29

    Abstract: 표시장치의검사장치는제1 조명유닛, 제2 조명유닛, 제3 조명유닛및 결함검출부를포함한다. 상기제1 조명유닛은표시패널및 상기표시패널상에배치되는보호필름을포함하는표시장치에제1 입사각을갖도록, 제1 입사광을제공한다. 상기제2 조명유닛은상기표시장치에상기제1 입사각보다큰 제2 입사각을갖도록, 제2 입사광을제공한다. 상기제3 조명유닛은상기표시장치에상기제2 입사각보다큰 제3 입사각을갖도록, 제3 입사광을제공한다. 상기결함검출부는상기제1 입사광이상기표시장치에서제1 반사각으로반사되어제공되는제1 반사광, 상기제2 입사광이상기표시장치에서제2 반사각으로반사되어제공되는제2 반사광및 상기제3 입사광이상기표시장치에서제3 반사각으로반사되어제공되는제3 반사광중 적어도하나의광을제공받아, 상기표시장치의결함을검출한다.

    Abstract translation: 本发明提供一种能够分类附着在保护膜上的异物,附着在显示面板上的异物,保护膜的缺陷以及显示面板的检测的显示装置的检查装置。 以及显示装置的检查方法。 该显示装置的检查装置包括:第一照明单元,第二照明单元,第三照明单元和缺陷检测单元。 第一照明单元提供第一入射光以对显示装置具有第一入射角; 包括显示面板和布置在显示面板上的保护膜。 第二照明单元提供第二入射光以具有比显示装置的第一入射角更高的第二入射角。 第三照明单元提供第三入射光以具有比显示装置的第二入射角高的第三入射角。 缺陷检测单元通过接收第一入射光所提供的第一反射光中的至少一个,并以第一反射角从显示装置反射来检测显示装置的缺陷; 设置为第二入射光的第二反射光以第二反射角从显示装置反射; 并且作为第三入射光提供的第三反射光以第三反射角从显示装置反射。

    표면 검사용 광학 모듈 및 이를 포함하는 표면 검사 장치
    284.
    发明公开
    표면 검사용 광학 모듈 및 이를 포함하는 표면 검사 장치 审中-实审
    表面检查用光学元件及其表面检查装置

    公开(公告)号:KR1020160020619A

    公开(公告)日:2016-02-24

    申请号:KR1020140105121

    申请日:2014-08-13

    Abstract: 1/4 파장판및 거울을이용하여, 피검사기판에조사되는광의효율을증가시킬수 있는표면검사용광학모듈을제공하는것이다. 상기표면검사용광학모듈은제1 광을피검사기판에조사하는제1 광원부로서, 상기제1 광을생성하는제1 광원과상기제1 광의경로를바꿔주는제1 광속분리기(beam splitter)를포함하는제1 광원부, 제1 방향으로편광된제2 광을상기피검사기판에조사하는제2 광원부, 상기제1 방향과수직인제2 방향으로편광된제3 광을상기피검사기판에제공하는편광방향변환부로서, 상기제3 광은상기피검사기판에반사되어나온상기제2 광의편광방향을변환시킨편광방향변환부, 및상기제1 광이상기피검사기판에반사되어나온제4 광과, 상기제2 광이상기피검사기판에서산란되어나온제5 광과, 상기제3 광이상기피검사기판에서산란되어나온제6 광을검출하는검출부를포함한다.

    Abstract translation: 本发明提供一种用于表面检查的光学模块,其能够通过使用四分之一波片和反射镜来提高照射到检查对象基板的光的效率。 用于表面检查的光学模块包括:第一光源单元,其用第一光照射检查对象基板,并且包括产生第一光的第一光源和改变第一光的路径的第一光束分离器; 第二光源单元,其以第一方向偏振的第二光照射所述检查对象基板; 偏振方向转换单元,其将与向第一方向垂直的第二方向偏振的第三光提供给检查对象基板,并且通过反射来自检查对象基板的第三光而得到的第二光的偏振方向转换; 以及检测单元,其检测通过反射来自检查对象基板的第一光获得的第四光,通过分散来自检查对象基板的第二光获得的第五光,以及通过从检查对象基板分散第三光而获得的第六光。

    패턴화된 샘플의 광학 특성을 위한 시스템 및 방법
    285.
    发明公开
    패턴화된 샘플의 광학 특성을 위한 시스템 및 방법 审中-实审
    用于模式样本的光学表征的方法和系统

    公开(公告)号:KR1020150125510A

    公开(公告)日:2015-11-09

    申请号:KR1020140077198

    申请日:2014-06-24

    Abstract: 패턴에서의비대칭을결정하는것을목표로한, 패턴화된샘플에대한측정사용을위한방법및 시스템이제시된다. 샘플의패턴화된영역에대한적어도제1 및제2의측정세트가수행되는데, 여기서, 각각의측정은, 조명채널을따라상기패턴화된영역으로광을안내하고, 감지될수집채널을따라전파하는상기영역으로부터반사된광을수집하여감지된광은조명광의편광과다른편광상태를가지도록하는단계및 측정에서감지된광을표시하는측정된데이터조각을생성한다. 따라서, 동일한패턴화된영역에대한적어도제1 및제2 측정에대한적어도제1 및제2 데이터조각이생성된다. 적어도제1 및제2 측정된데이터조각이분석되고, 패턴화된영역의비대칭의조건을표시하는출력데이터가생성된다.

    Abstract translation: 提出了一种用于测量图案样品的方法和系统,旨在确定图案的不对称性。 执行在样本的图案化区域上的至少第一和第二测量的集合,其中每个测量包括:沿着照明通道将照明光引导到图案化区域上,并收集从沿着收集通道传播的照明区域反射的光 以使得来自相同图案化区域的检测光具有不同于照明光的偏振的不同偏振态,并且产生指示在测量中检测到的光的测量数据。 因此,至少在相同图案区域上的至少第一和第二测量产生第一测量数据和第二测量数据。 分析至少第一和第二测量数据片段,并且产生显示图案化区域中不对称条件的输出数据。

    분자접합특성 및 완충용액 굴절률 동시 측정장치 및 측정방법
    287.
    发明授权
    분자접합특성 및 완충용액 굴절률 동시 측정장치 및 측정방법 有权
    用于同时量化分子动力学和分子相互作用的折射指数的装置和方法

    公开(公告)号:KR101383652B1

    公开(公告)日:2014-04-09

    申请号:KR1020120114097

    申请日:2012-10-15

    Abstract: The present invention relates to a device and a method for simultaneously measuring the molecular binding characteristics of low molecular bio substances and the refractive index of a buffer solution using an ellipsometry under an immersed microchannel environment and, more specifically, to a device and a method for simultaneously measuring the refractive index of a buffer solution and the dynamic binding characteristics of bio substances at high sensitiveness by introducing polarized incident beams to an adsorption layer formed of the bio substances on substrate substances for semiconductors using a prism structure and a microchannel under p-wave non-reflective conditions. The device comprises: a microchannel structure; a sample injection part for forming the adsorption layer of a sample on a substrate by injecting the buffer solution containing the sample of the bio substances to the microchannel; a polarized beam generation part for radiating the incident beams polarized through the incident surface of a prism to the adsorption layer at an incident angle satisfying the p-wave non-reflective conditions; and a polarized beam detection part for detecting the polarized beam variation of reflected beams after the reflected beams of the adsorption layer are introduced through the reflection surface of the prism. The microchannel structure comprises: the substrate composed of a support, and semiconductors or dielectric substances formed on the support; a cover part formed as the prism structure and installed in the support; and the microchannel formed on one among the upper part of the support and the bottom of the cover part.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于在浸没的微通道环境下同时测量低分子量生物物质的分子结合特性和使用椭偏仪的缓冲溶液的折射率的装置和方法,更具体地,涉及一种装置和方法, 同时测量缓冲溶液的折射率和高灵敏度生物物质的动态粘合特性,将偏振光入射到由半导体衬底物质形成的吸附层上,使用棱镜结构和微波通道在p波 非反光条件。 该装置包括:微通道结构; 用于通过将含有生物物质样品的缓冲溶液注入微通道而在基片上形成样品吸附层的样品注入部分; 偏振光束产生部件,其以满足p波非反射条件的入射角度将通过棱镜的入射面偏振的入射光束照射到吸附层; 并且用于检测吸收层的反射光束之后的反射光束的偏振光束变化的偏振光束检测部分被引入棱镜的反射表面。 微通道结构包括:由支撑体构成的基板和形成在支撑体上的半导体或介电物质; 形成为棱镜结构并安装在支撑体中的盖部; 并且形成在支撑件的上部和盖部的底部中的一个的微通道。

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