测试表面的光学检验
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101036045A

    公开(公告)日:2007-09-12

    申请号:CN200580034172.X

    申请日:2005-10-05

    Abstract: 一方面,根据确定的强度变化,通过改变分辨率减小了存储从比如Parousiameter的散射计(100)获得的图像强度数据所需的数据量,强度数据以此分辨率在网格的不同区域中使用。另一方面,散射计设置有非球面镜(170,900,1000),用于对测试样品(180)成像,以校正由于反射镜相对于测试样品的偏心放置所引入的失真。另一方面,光学表面检验装置在测试表面(1420)和照亮的图形网格(1410)间使用了辅助透镜(1440),以将图形网格(1610)投影在测试表面上。相机(1450)聚焦在作为实像的测试表面的网格上。

    表面缺陷检查装置、表面缺陷检查方法及表面缺陷检查程序

    公开(公告)号:CN101013093A

    公开(公告)日:2007-08-08

    申请号:CN200710006717.7

    申请日:2007-02-02

    Inventor: 鎌田照己

    Abstract: 由一维摄像装置检出一维摄像装置与检查对象物的相对距离的变动,从而高精度地检出检查对象物的缺陷。表面缺陷检查装置具有:线光源,其对旋转的检查对象物,在副扫描方向的斜向照射亮度不同的带有条纹的图形光;线传感器,其由被照射图形光的检查对象物反射的光,对检查对象物在主扫描方向进行一维摄像;相位检出部,其检出被摄像的线图像的亮度的相位变化;摄像位置控制部,其为了根据相位变化、使检查对象物与线传感器的相对距离保持一定,而控制线传感器的位置。

    一种空间偏移量可调的拉曼光谱系统及拉曼光谱探测方法

    公开(公告)号:CN106770153A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201611020973.7

    申请日:2016-11-15

    Inventor: 熊胜军 夏征

    CPC classification number: G01N21/65 G01N21/01 G01N2201/0635

    Abstract: 本发明公开了空间偏移量可调的拉曼光谱系统及拉曼光谱探测方法,系统包括:激光器(1)、二维光栅片(2)、激光扩束装置(3)、光路转换装置(4)、聚焦采集光学系统(5)、耦合光学系统(6)、光纤束(7)、至少一光谱仪(8)。光纤束(7)的输入端设置于耦合光学系统(6)的焦平面处,光纤呈预设光斑图样分布,中心处设置至少一根光纤,外环位置设置多根与中心处的光纤的距离相同并且构成预设光斑图样排列的光纤;光纤束(7)的输出端连接光谱仪(8)。本发明能够在不需要移动采样光纤或增加采样光纤的数量的情况下,方便地实现空间偏移量的可连续调节,可以适应包括圆形光斑的各种形状的不同光斑形状的需求。

    测试表面的光学检验
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101036045B

    公开(公告)日:2010-09-01

    申请号:CN200580034172.X

    申请日:2005-10-05

    Abstract: 一方面,根据确定的强度变化,通过改变分辨率减小了存储从比如Parousiameter的散射计(100)获得的图像强度数据所需的数据量,强度数据以此分辨率在网格的不同区域中使用。另一方面,散射计设置有非球面镜(170,900,1000),用于对测试样品(180)成像,以校正由于反射镜相对于测试样品的偏心放置所引入的失真。另一方面,光学表面检验装置在测试表面(1420)和照亮的图形网格(1410)间使用了辅助透镜(1440),以将图形网格(1610)投影在测试表面上。相机(1450)聚焦在作为实像的测试表面的网格上。

    表面缺陷检查装置及表面缺陷检查方法

    公开(公告)号:CN101013093B

    公开(公告)日:2010-04-14

    申请号:CN200710006717.7

    申请日:2007-02-02

    Inventor: 鎌田照己

    Abstract: 由一维摄像装置检出一维摄像装置与检查对象物的相对距离的变动,从而高精度地检出检查对象物的缺陷。表面缺陷检查装置具有:线光源,其对旋转的检查对象物,在副扫描方向的斜向照射亮度不同的带有条纹的图形光;线传感器,其由被照射图形光的检查对象物反射的光,对检查对象物在主扫描方向进行一维摄像;相位检出部,其检出被摄像的线图像的亮度的相位变化;摄像位置控制部,其为了根据相位变化、使检查对象物与线传感器的相对距离保持一定,而控制线传感器的位置。

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