公开(公告)号：JP2009236791A

公开(公告)日：2009-10-15

申请号：JP2008085167

申请日：2008-03-28

Applicant: Hitachi High-Technologies Corp ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： URANO YUTA ,  NAKAO TOSHIYUKI ,  OSHIMA YOSHIMASA ,  HAMAMATSU REI

IPC: G01N21/956

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/9505 ,  G01N2021/8854 ,  G01N2021/8874 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/1045

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To accurately determine a defect dimension and defect coordinates by inspecting a micro defect at high speed without damaging a sample and accurately detecting the amount of scattered light of a large defect.
SOLUTION: A plurality of signals with different effective sensitivities are obtained by illumination by a plurality of different illuminance or detection of a plurality of different sensitivities by a pixel, and they are selected and utilized, thereby achieving highly sensitive and wide dynamic range inspection. Further, the plurality of signals are output simultaneously in parallel, and processed, thereby achieving high speed inspection.
COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：通过高速检查微缺陷而不损伤样品并精确地检测大缺陷的散射光的量，来准确地确定缺陷尺寸和缺陷坐标。 解决方案：通过多个不同照度的照明或通过像素检测多个不同灵敏度来获得具有不同有效灵敏度的多个信号，并且它们被选择和利用，从而实现高灵敏度和宽动态范围 检查。 此外，多个信号并行输出并进行处理，从而实现高速检查。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：WO2016100701A1

公开(公告)日：2016-06-23

申请号：PCT/US2015/066440

申请日：2015-12-17

Applicant: SINGULEX, INC.

Inventor： LIVINGSTON, Richard ,  GILBERT, Michelle ,  FELBERG, Jacqueline ,  BISHOP, Jeffrey

IPC: G01N33/58 ,  G01N33/53 ,  G01N21/62

CPC classification number: G01N21/6428 ,  G01J3/4406 ,  G01N21/645 ,  G01N21/6452 ,  G01N33/5302 ,  G01N33/536 ,  G01N33/58 ,  G01N33/6845 ,  G01N2021/6419 ,  G01N2021/6421 ,  G01N2021/6441 ,  G01N2201/0612 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/104 ,  G01N2201/105

Abstract: Analyzers and analyzer systems that include an analyzer for determining multiple label species, methods of using the analyzer and analyzer systems to analyze samples, are disclosed herein. The analyzer includes one or more sources of electromagnetic radiation to provide electromagnetic radiation at wavelengths within the excitation bands of one or more fluorophore species to an interrogation space that is translated through the sample to detect the presence or absence of molecules of different target analytes. The analyzer may also include one or more detectors configured to detect electromagnetic radiation emitted from the one or more fluorophore species. The analyzer for determining multiple target molecule species provided herein is useful for diagnostics because the concentration of multiple species of target molecules may be determined in a single sample and with a single system.

Abstract translation: 本文公开了包括用于确定多个标签种类的分析器，使用分析仪和分析仪系统分析样品的方法的分析仪和分析仪系统。 分析仪包括一个或多个电磁辐射源，以将一个或多个荧光团物质的激发带内的波长处的电磁辐射提供给通过样品翻译的询问空间，以检测不同目标分析物的分子的存在或不存在。 分析器还可以包括被配置为检测从一个或多个荧光团物种发射的电磁辐射的一个或多个检测器。 用于确定本文提供的多种靶分子物质的分析仪可用于诊断，因为可以在单个样品中和单个系统中确定多种目标分子的浓度。

公开(公告)号：WO2016054570A1

公开(公告)日：2016-04-07

申请号：PCT/US2015/053824

申请日：2015-10-02

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： VAZHAEPARAMBIL, Jijen ,  ZHAO, Guoheng ,  KAVALDJIEV, Daniel Ivanov ,  ROMANOVSKY, Anatoly ,  MALEEV, Ivan ,  WOLTERS, Christian ,  KREN, George ,  BIELLAK, Stephen ,  WHITESIDE, Bret ,  PETTIBONE, Donald

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2021/8896 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/12 ,  G06T7/0004 ,  G06T2207/10004 ,  G06T2207/30148

Abstract: A wafer scanning system includes imaging collection optics to reduce the effective spot size. Smaller spot size decreases the number of photons scattered by the surface proportionally to the area of the spot. Air scatter is also reduced. TDI is used to produce a wafer image based on a plurality of image signals integrated over the direction of linear motion of the wafer. An illumination system floods the wafer with light, and the task of creating the spot is allocated to the imaging collection optics.

Abstract translation: 晶片扫描系统包括成像采集光学器件以减少有效光斑尺寸。 较小的斑点尺寸使得表面散射的光子数量与斑点的面积成比例地减小。 空气散射也减少。 TDI用于基于在晶片的线性运动方向上积分的多个图像信号产生晶片图像。 照明系统用光淹没晶片，创建光斑的任务被分配给成像采集光学元件。

公开(公告)号：WO2015161914A2

公开(公告)日：2015-10-29

申请号：PCT/EP2015000679

申请日：2015-03-30

Applicant: MERCK PATENT GMBH

Inventor： FELDEN LUC ,  BOUTHILLON MARINE ,  OLIVIER STÉPHANE ,  WHOEHL PIERRE ,  GUEDON PIERRE ,  ALLARD FLORIAN

IPC: G01N9/00

CPC classification number: C12Q1/04 ,  C12Q1/22 ,  G01N21/47 ,  G01N21/55 ,  G01N2021/1765 ,  G01N2021/4704 ,  G01N2021/4709 ,  G01N2021/4711 ,  G01N2201/103 ,  G06K9/00134 ,  G06T7/0012 ,  G06T2207/10012 ,  G06T2207/10056 ,  G06T2207/30024

Abstract: The present invention is directed to a method and an apparatus for detecting micro-colonies growing on a membrane (1) or an agarose medium of a sample (5) in a closed device (3). According to the invention the sample (5) is irradiated with a light incident at an angle (β) with respect to the normal to the membrane (1) or the surface of the agarose medium from outside the device (3). An incident area (7) of the light on the membrane (1) or the surface of the agarose medium is imaged by means of a light receiving element (9) using an imaging angle (α) different from angle (β) with respect to the normal to the membrane (1) or the surface of the agarose medium from outside the device (3). The light reflected, scattered and/ or diffused from the membrane or the surface of the agarose medium and/or the micro-colonies on the membrane and/or the micro-colonies on the agarose medium is detected.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于检测在封闭装置（3）中在膜（1）或样品（5）的琼脂糖培养基上生长的微菌落的方法和装置。 根据本发明，从装置（3）外部以相对于膜（1）的法线或琼脂糖介质的表面以角度（β）入射的光照射样品（5）。 使用与角度（β）不同的成像角度（α），通过光接收元件（9）对膜（1）上的光或琼脂糖介质的表面的入射区域（7）成像， （1）的法线或琼脂糖介质的表面（3）。 检测从膜或琼脂糖介质的表面和/或膜上的微生物群和/或琼脂糖培养基上的微菌落反射，散射和/或扩散的光。

公开(公告)号：WO2014040486A1

公开(公告)日：2014-03-20

申请号：PCT/CN2013/082168

申请日：2013-08-23

Applicant: LUOYANG LANDGLASS TECHNOLOGY CO., LTD.

Inventor： LI, Yanbing ,  LIU, Bin

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/958 ,  G01B11/00

CPC classification number: G01N21/958 ,  C03B35/00 ,  G01B11/0691 ,  G01B11/167 ,  G01B11/2518 ,  G01B11/2522 ,  G01N21/49 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/896 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/103 ,  H04N7/00

Abstract: A detection system based on modulation of line structured laser image of glass comprises processing section (2), control system, and roller conveying mechanisms (5). Detection mechanism (6) provided over entrance of the processing section (201) comprises shell and camera (602) with laser (601) which emits beam on the surface of the glass in the gap between sliding rollers. Focal plane of the camera (602) corresponds to the beam irradiation surface, and signal output terminal of the camera (602) is connected with the control system in such a way that when glass passes the detection area, laser irradiates the glass surface and the line structured laser is modulated based on the glass to form laser modulation image with distribution of light and shade, staggered movement direction, or distorted laser lines. The camera (602) will transmit the captured glass information and parameters to the control system. In the system, the detection mechanism (6), with integral design and compact structure, can be easily fitted over the entrance of the processing section (201), has strong adaptation to other processing means, has no special requirements on incident angle of light and angle of detection surface during detection, and obtains highly accurate data through measurement.

Abstract translation: 基于玻璃线结构激光图像调制的检测系统包括处理部分（2），控制系统和辊子输送机构（5）。 设置在处理部分201的入口处的检测机构（6）包括具有激光器（601）的外壳和照相机（602），其在滑动辊之间的间隙中在玻璃表面上发射光束。 照相机（602）的焦平面对应于光束照射面，照相机（602）的信号输出端子与控制系统连接，使得当玻璃通过检测区域时，激光照射玻璃表面和 基于玻璃调制线结构化激光，形成具有光阴分布，移动方向错位或激光线失真的激光调制图像。 相机（602）将捕获的玻璃信息和参数传送到控制系统。 在系统中，具有一体化设计，结构紧凑的检测机构（6）可以很容易地安装在加工部分（201）的入口处，具有很强的适应其他加工手段，对光入射角没有特殊要求 检测时的检测面角度，通过测量获得高精度的数据。

公开(公告)号：WO2013105025A1

公开(公告)日：2013-07-18

申请号：PCT/IB2013/050168

申请日：2013-01-09

Applicant: KONINKLIJKE PHILIPS N.V.

Inventor： WIMBERGER-FRIEDL, Reinhold ,  LUB, Johan ,  VAN DER ZAAG, Pieter Jan

IPC: B01J19/00 ,  C12Q1/68 ,  G01N21/64

CPC classification number: G01N21/6486 ,  B01J2219/00576 ,  B01J2219/00605 ,  B01J2219/00711 ,  B01J2219/00722 ,  C12Q1/6874 ,  C12Q2523/319 ,  C12Q2525/186 ,  C12Q2565/601 ,  G01N21/6428 ,  G01N21/6458 ,  G01N21/648 ,  G01N2021/6439 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/103

Abstract: The present invention relates to DNA sequencing with reagent cycling on the wiregrid. The sequencing approach suggested with which allows to use a single fluid with no washing steps. Based on strong optical confinement and of excitation light and of cleavage light, the sequencing reaction can be read-out without washing the surface. Stepwise sequencing is achieved by using nucleotides with optically cleavable blocking moietys. After read-out the built in nucleotide is deblocked by cleavage light through the same substrate. This ensures that only bound nucleotides will be unblocked.

Abstract translation: 本发明涉及在丝网上循环试剂的DNA测序。 提出的测序方法允许使用不含洗涤步骤的单一流体。 基于强的光学限制和激发光和裂解光，可以读出测序反应而不洗涤表面。 通过使用具有可光学切割阻断剂的核苷酸来实现逐步测序。 读出后，内置的核苷酸通过裂解光通过相同的底物解封。 这确保仅结合的核苷酸将被解除封闭。

公开(公告)号：WO2013025376A1

公开(公告)日：2013-02-21

申请号：PCT/US2012/049541

申请日：2012-08-03

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION ,  REICH, Juergen ,  AMSDEN, Charles ,  ZHANG, Jiayao ,  WOLTERS, Christian

Inventor： REICH, Juergen ,  AMSDEN, Charles ,  ZHANG, Jiayao ,  WOLTERS, Christian

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/94 ,  G01N2021/555 ,  G01N2021/8835 ,  G01N2021/8845 ,  G01N2201/103 ,  H01L22/12

Abstract: The illumination power density of a multi-spot inspection system is adjusted in response to detecting a large particle in the inspection path of an array of primary illumination spots. At least one low power, secondary illumination spot is located in the inspection path of an array of relatively high power primary illumination spots. Light scattered from the secondary illumination spot is collected and imaged onto one or more detectors without overheating the particle and damaging the wafer. Various embodiments and methods are presented to distinguish light scattered from secondary illumination spots. In response to determining the presence of a large particle in the inspection path of a primary illumination spot, a command is transmitted to an illumination power density attenuator to reduce the illumination power density of the primary illumination spot to a safe level before the primary illumination spot reaches the large particle.

Abstract translation: 响应于检测主照明点阵列的检查路径中的大颗粒，调整多点检查系统的照明功率密度。 至少一个低功率次级照明点位于相对较高功率的初级照明点的阵列的检查路径中。 从二次照明点散射的光被收集并成像到一个或多个检测器上，而不会使颗粒过热并损坏晶片。 呈现各种实施例和方法以区分从二次照明点散射的光。 响应于确定主照明点的检查路径中的大颗粒的存在，将命令发送到照明功率密度衰减器，以将主照明点的照明功率密度降低到初级照明点之前的安全水平 到达大颗粒。

公开(公告)号：WO2005121724A2

公开(公告)日：2005-12-22

申请号：PCT/US2005/001585

申请日：2005-01-20

Applicant: OPTICAL INSIGHTS, LLC

Inventor： HOPKINS, Mark, F. ,  SABHARWAL, Yashvinder ,  VERNOLD, Cynthia

IPC: G01J3/28

CPC classification number: G01N21/6458 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0235 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/024 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/04 ,  G01J3/10 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/2889 ,  G01J3/36 ,  G01N2021/6423 ,  G01N2021/6463 ,  G01N2021/6471 ,  G01N2201/024 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/103 ,  G02B21/26

Abstract: A method and apparatus is disclosed for multi-mode spectral imaging. In one embodiment, the present invention comprises the steps of illuminating an object with a modified illumination profile, producing a reflected, transmitted or fluorescence image of the illuminated object, scanning the object, and re-imaging the reflected, transmitted or fluorescence light after modifying the light's optical state. The present invention preferably works in conjunction with other imaging systems to provide both high-spectral resolution images with lower temporal resolution and multiple image acquisition with high temporal resolution.

Abstract translation: 公开了用于多模式光谱成像的方法和装置。 在一个实施例中，本发明包括以下步骤：用修改的照明轮廓照亮物体，产生被照射物体的反射，透射或荧光图像，扫描物体，以及在修改之后对反射的，透射的或荧光进行重新成像 光的光学状态。 本发明优选与其他成像系统结合使用，以提供具有较低时间分辨率的高光谱分辨率图像和具有高时间分辨率的多个图像采集。

公开(公告)号：WO2004068087A2

公开(公告)日：2004-08-12

申请号：PCT/US2004/002409

申请日：2004-01-27

Applicant: SAN DIEGO STATE UNIVERSITY FOUNDATION ,  TONG, William, G.

Inventor： TONG, William, G.

IPC: G01J

CPC classification number: G01N21/636 ,  G01J3/42 ,  G01N21/253 ,  G01N30/74 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/12746

Abstract: Techniques and systems for using nonlinear four wave mixing to optically measure microarrays with sample cells of biological or chemical materials. Examples of suitable microarrays include but are not limited to DNA microchips and capillary electrophoresis microarrays.

Abstract translation: 使用非线性四波混合的光学测量微阵列与生物或化学材料样品池的技术和系统。 合适的微阵列的实例包括但不限于DNA微芯片和毛细管电泳微阵列。

公开(公告)号：WO2004063683A1

公开(公告)日：2004-07-29

申请号：PCT/JP2003/016891

申请日：2003-12-26

Applicant: 学校法人 早稲田大学 ,  川鉄テクノリサーチ株式会社 ,  宗田 孝之 ,  會沢 勝夫 ,  林 仲信 ,  大坪 真也 ,  市川 文彦

Inventor： 宗田 孝之 ,  會沢 勝夫 ,  林 仲信 ,  大坪 真也 ,  市川 文彦

IPC: G01J3/14

CPC classification number: G01N21/6428 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/2889 ,  G01N21/6456 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/11

Abstract: 　サンプルの２次元の位置情報と波長情報を同時にかつリアルタイムに分光画像として測定することのできるリアルタイム分光画像分析装置及び分析方法を提供する。サンプルＳを載置する可動ステージ１と、サンプルＳの表面に白色光を照射する光源２と、白色光がサンプルＳの表面に反射して生じた反射光の１ライン上の領域を１度に分光する分光器４と、分光器４によって反射光から分光された分光スペクトルを１次元位置情報と波長情報として１フレームに取り込む白黒ＣＣＤカメラ５と、白黒ＣＣＤカメラ５で取り込まれた１次元位置情報と波長情報を記憶，解析，画像処理するとともに白黒ＣＣＤカメラ５のフレーム単位で前記可動ステージ１を１軸動作させるコンピュータ６とを備えた。

Abstract translation: 提供了一种实时光谱图像分析装置和能够同时且实时地将样品上的二维位置信息和波长信息作为光谱图像进行测量的分析方法。 该装置包括可放置样品S的可移动台（1），用于将白光发射到样品S的表面上的光源（2），用于一次光谱分析的区域的光谱仪（4） 通过从样品S的表面反射白光产生的反射光的一行，用于将由分光器（4）获得的反射光的光谱作为一维位置的白黑CCD CCD照相机（5） 信息和波长信息转换为一帧;以及计算机（6），用于存储，分析和图像处理由白黑CCD相机（5）获取的一维位置信息和波长信息，并使可移动台（ 1）在白黑CCD相机（5）的基础上进行单轴操作。