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    大型薄膜之框體及該框體之握持方法 LARGE PELLICLE FRAME AND A METHOD FOR HOLDING SUCH A FRAME
    23.
    发明专利
    大型薄膜之框體及該框體之握持方法 LARGE PELLICLE FRAME AND A METHOD FOR HOLDING SUCH A FRAME 审中-公开
    大型薄膜之框体及该框体之握持方法 LARGE PELLICLE FRAME AND A METHOD FOR HOLDING SUCH A FRAME

    公开(公告)号：TW200919081A

    公开(公告)日：2009-05-01

    申请号：TW097125456

    申请日：2008-07-04

    Applicant: 旭化成電子材料元件股份有限公司 ASAHI KASEI EMD CORPORATION

    Inventor： 谷村彰浩 TANIMURA, AKIHIRO ,  前田拓郎 MAEDA, TAKURO

    IPC: G03F

    CPC classification number: G03F1/64 ,  G03F7/70783 ,  G03F7/70791 ,  G03F7/70983

    Abstract: 本發明之大型薄膜係包含:具有由複數個邊所構成之多角形形狀之框體、接著於該框體之上緣面上之薄膜、以及塗附於該框體之下緣面上之黏著材,且上述框體之最長邊之長度為1 m以上,該大型薄膜之上述框體在其所有邊部上,分別具有對上述框體進行取持之取持用的凸部或凹部,於上述框體之各邊部上,分別同時取持至少1處以上之取持用的凸部或凹部,藉此能夠可靠地取持框體,而且,在欲將薄膜貼附於光罩等上時,可自收納容器中簡單地取出薄膜,而不會產生翹曲或彎曲。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明之大型薄膜系包含:具有由复数个边所构成之多角形形状之框体、接着于该框体之上缘面上之薄膜、以及涂附于该框体之下缘面上之黏着材,且上述框体之最长边之长度为1 m以上,该大型薄膜之上述框体在其所有边部上,分别具有对上述框体进行取持之取持用的凸部或凹部,于上述框体之各边部上,分别同时取持至少1处以上之取持用的凸部或凹部,借此能够可靠地取持框体,而且,在欲将薄膜贴附于光罩等上时,可自收纳容器中简单地取出薄膜,而不会产生翘曲或弯曲。

    聚有機矽氧組合物
    25.
    发明专利
    聚有機矽氧組合物 审中-公开
    聚有机硅氧组合物

    公开(公告)号：TW200837087A

    公开(公告)日：2008-09-16

    申请号：TW096136664

    申请日：2007-09-29

    Applicant: 旭化成電子材料元件股份有限公司 ASAHI KASEI EMD CORPORATION

    Inventor： 木村正志 KIMURA, MASASHI ,  美河正人 MIKAWA, MASATO ,  藤山英之 FUJIYAMA, HIDEYUKI ,  小林隆昭 KOBAYASHI, TAKAAKI ,  賴末友裕 YORISUE, TOMOHIRO

    IPC: C08F ,  G02B ,  G03F

    CPC classification number: C08F290/148 ,  C08F283/12 ,  C08G77/20 ,  C08G77/58 ,  C08L51/085 ,  C09D151/085 ,  C09D183/14 ,  G03F7/0757 ,  C08L2666/02 ,  C08L83/00

    Abstract: 一種聚有機矽氧烷組合物,其包含下述(a)~(c)成分:(a)將下述通式(1)所示之至少一種矽烷醇化合物,下述通式(2)所示之至少一種烷氧基矽烷化合物,以及自下述通式(3)所表示之金屬醇鹽、下述通式(4)所表示之金屬醇鹽及Ba(OH)2所組成之群中所選擇之至少一種觸媒混合,以不積極添加水之方式使其等聚合的方法而獲得之聚有機矽氧烷100質量份;【【化1】】R2Si(OH)2(1)【【化2】】R'Si(OR")3(2)【【化3】】M(OR"')4(3)【【化4】】M'(OR"")3(4)(b)光聚合引發劑0.1~20質量份;(c)具有2個以上光聚合性不飽和鍵基團之除(a)成分以外的化合物1~100質量份。

    Abstract in simplified Chinese: 一种聚有机硅氧烷组合物,其包含下述(a)~(c)成分:(a)将下述通式(1)所示之至少一种硅烷醇化合物,下述通式(2)所示之至少一种烷氧基硅烷化合物,以及自下述通式(3)所表示之金属醇盐、下述通式(4)所表示之金属醇盐及Ba(OH)2所组成之群中所选择之至少一种触媒混合,以不积极添加水之方式使其等聚合的方法而获得之聚有机硅氧烷100质量份;【【化1】】R2Si(OH)2(1)【【化2】】R'Si(OR")3(2)【【化3】】M(OR"')4(3)【【化4】】M'(OR"")3(4)(b)光聚合引发剂0.1~20质量份;(c)具有2个以上光聚合性不饱和键基团之除(a)成分以外的化合物1~100质量份。

    正型感光性樹脂組合物
    26.
    发明专利
    正型感光性樹脂組合物 审中-公开
    正型感光性树脂组合物

    公开(公告)号：TW200834240A

    公开(公告)日：2008-08-16

    申请号：TW096130029

    申请日：2007-08-14

    Applicant: 旭化成電子材料元件股份有限公司 ASAHI KASEI EMD CORPORATION

    Inventor： 涉井智史 SHIBUI, SATOSHI

    IPC: G03F ,  H01L

    CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/022 ,  Y10T428/24802

    Abstract: 本發明提供一種靈敏度、析像度優良之正型感光性樹脂組合物。本發明之正型感光性樹脂組合物,其特徵在於,相對於100質量份(A)具有以下述通式(1)表示之重複單元之羥基聚醯胺,包含1~50質量份(B)光酸產生劑、5~20質量份(C)以下述通式(2)表示之碳原子數6~18之羧酸化合物、及0.01~70質量份(D)以下述通式(3)表示之碳數4~14之醇。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种灵敏度、析像度优良之正型感光性树脂组合物。本发明之正型感光性树脂组合物,其特征在于,相对于100质量份(A)具有以下述通式(1)表示之重复单元之羟基聚酰胺,包含1~50质量份(B)光酸产生剂、5~20质量份(C)以下述通式(2)表示之碳原子数6~18之羧酸化合物、及0.01~70质量份(D)以下述通式(3)表示之碳数4~14之醇。

    感光性樹脂積層體
    27.
    发明专利
    感光性樹脂積層體 审中-公开
    感光性树脂积层体

    公开(公告)号：TW200804979A

    公开(公告)日：2008-01-16

    申请号：TW096108819

    申请日：2007-03-14

    Applicant: 旭化成電子材料元件股份有限公司 ASAHI KASEI EMD CORPORATION

    Inventor： 小谷雄三 KOTANI, YUZO

    IPC: G03F ,  G02B

    CPC classification number: G03F7/032 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0388

    Abstract: 本發明之目的在於提供一種感光性樹脂積層體,其於形成樹脂黑矩陣時,光敏度、遮光性、細線密著性、過顯影時之線寬穩定性、轉印性、生產性優異,進而,提供一種形成彩色像素時光敏度較高的感光性樹脂積層體。一種感光性樹脂積層體,其係至少積層支撐層與感光性樹脂層而成,該感光性樹脂層包含感光性樹脂組合物,其含有:以下述式(I)所表示之鹼性可溶性高分子3-40質量%、特定之鹼性可溶性高分子1-40質量%、具有乙烯性不飽和雙鍵之光聚合性化合物3-25質量%、光聚合引發劑0.1-20質量%、著色顏料40-70質量%,並且,該以式(I)所表示之鹼性可溶性高分子:特定之鹼性可溶性高分子(質量比)=1:5-16:1。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明之目的在于提供一种感光性树脂积层体,其于形成树脂黑矩阵时,光敏度、遮光性、细线密着性、过显影时之线宽稳定性、转印性、生产性优异,进而,提供一种形成彩色像素时光敏度较高的感光性树脂积层体。一种感光性树脂积层体,其系至少积层支撑层与感光性树脂层而成,该感光性树脂层包含感光性树脂组合物,其含有:以下述式(I)所表示之碱性可溶性高分子3-40质量%、特定之碱性可溶性高分子1-40质量%、具有乙烯性不饱和双键之光聚合性化合物3-25质量%、光聚合引发剂0.1-20质量%、着色颜料40-70质量%,并且,该以式(I)所表示之碱性可溶性高分子:特定之碱性可溶性高分子(质量比)=1:5-16:1。

    感光性樹脂組合物
    28.
    发明专利
    感光性樹脂組合物 审中-公开
    感光性树脂组合物

    公开(公告)号：TW200801816A

    公开(公告)日：2008-01-01

    申请号：TW096102736

    申请日：2007-01-24

    Applicant: 旭化成電子材料元件股份有限公司 ASAHI KASEI EMD CORPORATION

    Inventor： 小林隆昭 KOBAYASHI, TAKAAKI ,  木村正志 KIMURA, MASASHI

    IPC: G03F ,  C08F ,  C08G

    CPC classification number: C08F290/14 ,  C08F299/00 ,  C08F299/08 ,  C08G77/20 ,  C08G77/70 ,  C08K5/5425 ,  C08K5/5435 ,  C08L83/04 ,  C09D183/04 ,  C09D183/06 ,  G03F7/0757

    Abstract: 本發明提供一種尤其可用作大型積體電路(LSI)晶片之緩衝塗層材料之感光性樹脂組合物,以及由該感光性樹脂獲得之樹脂膜。因此,本發明有關一種感光性樹脂組合物,其含有:以特定混合比將以特定化學式所表示之化合物聚縮合而獲得之縮聚物:100重量份;光聚合起始劑:0.01-5重量份;及特定有機矽烷:1-30重量份;以及有關一種樹脂膜,其係將上述感光性樹脂組合物塗佈於矽晶圓面上,進行曝光顯影硬化而獲得者。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种尤其可用作大型集成电路(LSI)芯片之缓冲涂层材料之感光性树脂组合物,以及由该感光性树脂获得之树脂膜。因此,本发明有关一种感光性树脂组合物,其含有:以特定混合比将以特定化学式所表示之化合物聚缩合而获得之缩聚物:100重量份;光聚合起始剂:0.01-5重量份;及特定有机硅烷:1-30重量份;以及有关一种树脂膜,其系将上述感光性树脂组合物涂布于硅晶圆面上,进行曝光显影硬化而获得者。

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