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    大型薄膜之框體及該框體之取持方法
    2.
    发明专利
    大型薄膜之框體及該框體之取持方法 审中-公开
    大型薄膜之框体及该框体之取持方法

    公开(公告)号：TW201523125A

    公开(公告)日：2015-06-16

    申请号：TW104105935

    申请日：2008-07-04

    Applicant: 旭化成電子材料元件股份有限公司 ,  ASAHI KASEI EMD CORPORATION

    Inventor： 谷村彰浩 ,  TANIMURA, AKIHIRO ,  前田拓郎 ,  MAEDA, TAKURO

    IPC: G03F1/00

    CPC classification number: G03F1/64 ,  G03F7/70783 ,  G03F7/70791 ,  G03F7/70983

    Abstract: 本發明之大型薄膜組係包含：具有由複數個邊所構成之多角形形狀之框體、接著於該框體之上緣面上之薄膜、以及塗附於該框體之下緣面上之黏著材，且上述框體之最長邊之長度為1m以上，該大型薄膜之上述框體在其所有邊部上，分別具有對上述框體進行取持之取持搬運用的凸部或凹部，於上述框體之各邊部上，分別同時取持至少1處以上之取持搬運用的凸部或凹部，藉此能夠可靠地取持框體，而且，在欲將薄膜貼附於光罩等上時，可自收納容器中簡單地取出薄膜，而不會產生翹曲或彎曲。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明之大型薄膜组系包含：具有由复数个边所构成之多角形形状之框体、接着于该框体之上缘面上之薄膜、以及涂附于该框体之下缘面上之黏着材，且上述框体之最长边之长度为1m以上，该大型薄膜之上述框体在其所有边部上，分别具有对上述框体进行取持之取持搬运用的凸部或凹部，于上述框体之各边部上，分别同时取持至少1处以上之取持搬运用的凸部或凹部，借此能够可靠地取持框体，而且，在欲将薄膜贴附于光罩等上时，可自收纳容器中简单地取出薄膜，而不会产生翘曲或弯曲。

    感光性樹脂組成物及積層體
    4.
    发明专利
    感光性樹脂組成物及積層體 审中-公开
    感光性树脂组成物及积层体

    公开(公告)号：TW200903159A

    公开(公告)日：2009-01-16

    申请号：TW097108447

    申请日：2008-03-11

    Applicant: 旭化成電子材料元件股份有限公司 ASAHI KASEI EMD CORPORATION

    Inventor： 秦洋介 HATA, YOSUKE

    IPC: G03F ,  H01L ,  H05K

    CPC classification number: G03F7/033 ,  G03F7/031 ,  G03F7/161

    Abstract: 本發明為了提供一種感光性樹脂組成物、使用該感光性樹脂組成物之感光性樹脂積層體、於使用該感光性樹脂積層體之基板上形成光阻圖案之方法、及該光阻圖案之用途,係使用含有(a)以含���,���-不飽和羧基之單體作為共聚合成分之酸當量為100-600、重量平均分子量為5,000-500,000的熱塑性共聚物:20-90質量%,(b)具有至少一個末端乙烯性不飽和基之加成聚合性單體:5-75質量%,(c)含有三芳基咪唑二聚物之光聚合起始劑:0.01-30質量%,及(d)特定通式所示之唑化合物:0.001-10質量%之感光性樹脂組成物。其中上述感光性樹脂組成物之乾膜製成時的相溶性良好,對i線、h線兩者之光源皆具有同等的靈敏度,且解析度、及密合性優異,可藉由鹼性水溶液進行顯影。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明为了提供一种感光性树脂组成物、使用该感光性树脂组成物之感光性树脂积层体、于使用该感光性树脂积层体之基板上形成光阻图案之方法、及该光阻图案之用途,系使用含有(a)以含���,���-不饱和羧基之单体作为共聚合成分之酸当量为100-600、重量平均分子量为5,000-500,000的热塑性共聚物:20-90质量%,(b)具有至少一个末端乙烯性不饱和基之加成聚合性单体:5-75质量%,(c)含有三芳基咪唑二聚物之光聚合起始剂:0.01-30质量%,及(d)特定通式所示之唑化合物:0.001-10质量%之感光性树脂组成物。其中上述感光性树脂组成物之干膜制成时的相溶性良好,对i线、h线两者之光源皆具有同等的灵敏度,且分辨率、及密合性优异,可借由碱性水溶液进行显影。

    感光性樹脂積層體 PHOTOSENSITIVE RESIN LAMINATE
    5.
    发明专利
    感光性樹脂積層體 PHOTOSENSITIVE RESIN LAMINATE 审中-公开
    感光性树脂积层体 PHOTOSENSITIVE RESIN LAMINATE

    公开(公告)号：TW200809415A

    公开(公告)日：2008-02-16

    申请号：TW096115207

    申请日：2007-04-27

    Applicant: 旭化成電子材料元件股份有限公司 ASAHI KASEI EMD CORPORATION

    Inventor： 五十嵐勉 IGARASHI, TSUTOMU

    IPC: G03F ,  H01L

    CPC classification number: G03F7/027 ,  G03F7/11

    Abstract: 本發明提供一種感光性樹脂積層體,其表現出高解析性及高密著性,具有光阻圖案之側壁無翹起、光阻圖案表面無凹陷且顯影後之暈光極小之特性,且於支持膜之剝離性上無問題。本發明係使用一種感光性樹脂積層體,其特徵在於,其係於支持膜上依序積層有層厚為0.1���m以上、10���m以下之中間層及感光性樹脂層而成之感光性樹脂積層體,該中間層係含有聚乙烯醇及特定之化合物而成。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种感光性树脂积层体,其表现出高解析性及高密着性,具有光阻图案之侧壁无翘起、光阻图案表面无凹陷且显影后之晕光极小之特性,且于支持膜之剥离性上无问题。本发明系使用一种感光性树脂积层体,其特征在于,其系于支持膜上依序积层有层厚为0.1���m以上、10���m以下之中间层及感光性树脂层而成之感光性树脂积层体,该中间层系含有聚乙烯醇及特定之化合物而成。

    大型防塵膜的收納方法 METHOD OF INSTALLING A LARGE PELLICLE
    7.
    发明专利
    大型防塵膜的收納方法 METHOD OF INSTALLING A LARGE PELLICLE 审中-公开
    大型防尘膜的收纳方法 METHOD OF INSTALLING A LARGE PELLICLE

    公开(公告)号：TW200619831A

    公开(公告)日：2006-06-16

    申请号：TW093137548

    申请日：2004-12-03

    Applicant: 旭化成電子材料元件股份有限公司 ASAHI KASEI EMD CORPORATION

    Inventor： 栗山芳真 KURIYAMA, HOZUMA ,  元一郎 WAKIMOTO, ICHIRO

    IPC: G03F ,  B65D

    Abstract: 一種大型防塵膜的收納方法，由：框體、及接合於該框體的上緣面的防塵膜、及塗抹於該框體的下緣面的黏接材：及為了保護該黏接材而黏接在框體的下面的保護薄膜所組成，的包含將面積是1000cm^2以上的大型防塵膜收納於由托盤及蓋所組成的殼，的大型防塵膜的收納方法，其特徵為：將前述大型防塵膜的保護薄膜的外周緣的一部分或是全部朝外側突出形成按壓部，且藉由黏接帶使該托盤固定於該按壓部並將大型防塵膜收納於殼內。

    Abstract in simplified Chinese: 一种大型防尘膜的收纳方法，由：框体、及接合于该框体的上缘面的防尘膜、及涂抹于该框体的下缘面的黏接材：及为了保护该黏接材而黏接在框体的下面的保护薄膜所组成，的包含将面积是1000cm^2以上的大型防尘膜收纳于由托盘及盖所组成的壳，的大型防尘膜的收纳方法，其特征为：将前述大型防尘膜的保护薄膜的外周缘的一部分或是全部朝外侧突出形成按压部，且借由黏接带使该托盘固定于该按压部并将大型防尘膜收纳于壳内。

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