公开(公告)号：US20010008201A1

公开(公告)日：2001-07-19

申请号：US09781060

申请日：2001-02-08

Applicant: Asyst Technologies, Inc.

Inventor： Anthony C. Bonora ,  Richard H. Gould

IPC: B65G037/00

CPC classification number: H01L21/67706 ,  B65G13/04 ,  B65G37/02 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6773 ,  Y10S414/14

Abstract: A system for transporting articles. The transport system includes a conveyor system which includes a transport device for carrying articles between workstations and a drive rail and a support rail for supporting the transport device. The drive rail includes a drive system for propelling the transport device between workstations. At least one shoe carried by the transport device rides on the support rail for movably supporting the transport device on the support rail. The transport system also includes a protective container including a housing having an interior compartment for supporting a plurality of articles. The bottom surface of the housing is configured to engage the drive system such that actuation of the drive system propels the housing along the drive and support rails. At least one shoe carried by the housing is configured to ride on the support rail of the conveyor system to movably support the housing on the support rail. The transport system also includes the method of transporting articles including the steps of providing a transport device for holding at least one article and having at least one shoe, positioning the transport device with the base of the device supported on a drive rail and the shoe supported on a support rail, and actuating a drive system carried by the drive rail to propel the transport device along the drive rail and support rail.

Abstract translation: 运输物品的系统 输送系统包括输送系统，该输送机系统包括用于在工作站和驱动轨道之间运送物品的运送装置和用于支撑输送装置的支撑轨道。 驱动轨道包括用于在工作站之间推动运输装置的驱动系统。 由运送装置承载的至少一个鞋子可以在支撑轨道上移动地支撑在支撑轨道上的运送装置。 运输系统还包括保护容器，其包括具有用于支撑多个物品的内部隔室的壳体。 壳体的底表面构造成接合驱动系统，使得驱动系统的致动沿驱动器和支撑轨道推动壳体。 由壳体承载的至少一个鞋被构造成骑在输送机系统的支撑轨道上以将壳体可移动地支撑在支撑轨道上。 运输系统还包括输送物品的方法，包括提供用于保持至少一个物品并具有至少一个鞋的运输装置的步骤，将运送装置定位在装置的底座支撑在驱动轨道上，鞋支撑 并且驱动由驱动轨道承载的驱动系统，以沿着驱动轨道和支撑轨道推进输送装置。

公开(公告)号：US20020108842A1

公开(公告)日：2002-08-15

申请号：US10123850

申请日：2002-04-16

Applicant: Asyst Technologies, Inc.

Inventor： Anthony C. Bonora ,  Richard H. Gould

IPC: B65G047/84

CPC classification number: H01L21/67706 ,  B65G13/04 ,  B65G37/02 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6773 ,  Y10S414/14

Abstract: A system for transporting articles. The transport system includes a conveyor system which includes a transport carrier for carrying one or more articles between workstations and a drive rail and a support rail for supporting the transport carrier. The drive rail includes a drive system for propelling the transport carrier between workstations. At least one shoe carried by the transport carrier rides on the support rail for movably supporting the transport carrier on the support rail. The transport system may also includes a protective container including a housing having an interior compartment for supporting one or more articles. The bottom surface of the housing is configured to engage the drive system such that actuation of the drive system propels the housing along the drive and support rails. At least one shoe carried by the housing is configured to ride on the support rail of the conveyor system to movably support the housing on the support rail. The transport system also includes the method of transporting articles including the steps of providing a transport carrier for holding at least one article and having at least one shoe, positioning the transport carrier with the base of the carrier supported on a drive rail and the shoe supported on a support rail, and actuating a drive system carried by the drive rail to propel the transport carrier along the drive rail and support rail.

Abstract translation: 运输物品的系统 运输系统包括输送系统，该输送系统包括用于在工作站和驱动轨道之间承载一个或多个物品的运输托架和用于支撑运输托运件的支撑轨道。 驱动轨道包括用于在工作站之间推动运输工具的驱动系统。 由运输托架承载的至少一个鞋子骑在支撑轨道上，用于可移动地支撑运输托架在支撑轨上。 运输系统还可以包括保护容器，其包括具有用于支撑一个或多个物品的内部隔室的壳体。 壳体的底表面构造成接合驱动系统，使得驱动系统的致动沿驱动器和支撑轨道推动壳体。 由壳体承载的至少一个鞋被构造成骑在输送机系统的支撑轨道上以将壳体可移动地支撑在支撑轨道上。 运输系统还包括输送物品的方法，包括提供用于保持至少一件物品并具有至少一个鞋子的运输托架的步骤，将运输托架定位在托架的底座上支撑在驱动轨道上， 在支撑轨道上，并且驱动由驱动轨道承载的驱动系统以沿着驱动轨道和支撑轨道推进运输托架。

公开(公告)号：US20020030113A1

公开(公告)日：2002-03-14

申请号：US09873691

申请日：2001-06-04

Applicant: Asyst Technologies, Inc.

Inventor： Salem Abuzeid ,  Xiaohua George He ,  George Tannous

IPC: A01K041/00

CPC classification number: G05D27/02 ,  F24F11/30 ,  F24F11/54 ,  F24F11/62

Abstract: An intelligent minienvironment control system designed to optimize the minienvironment performance, improve the protection for the multi-million dollar equipment within a fab, and to improve the safety conditions for fab personnel. The intelligent minienvironment control system is comprised of a plurality of minienvironment control and monitoring systems (MCMSs), one such system being associated with each minienvironment in the fab. The MCMSs continuously monitor the environmental conditions within the minienvironment. Each of the MCMSs are linked together in a local area network to form an integrated fab-wide minienvironment management system. The management system also includes workstations linked to the network for storing historical data for, and allowing remote access to, each of the MCMSs in the system.

Abstract translation: 一个智能的微型环境控制系统，旨在优化环境性能，改善对晶圆厂数百万美元设备的保护，并改善晶圆厂员工的安全条件。 智能微环境控制系统由多个微型环境控制和监测系统（MCMS）组成，其中一个这样的系统与晶圆厂的每个微型环境相关联。 MCMS将不断监测环境中的环境状况。 每个MCMS在局域网中链接在一起，形成一个集成的晶圆厂的微型环境管理系统。 管理系统还包括与网络相关联的工作站，用于存储系统中每个MCMS的历史数据并允许远程访问。

公开(公告)号：TW200929431A

公开(公告)日：2009-07-01

申请号：TW097139856

申请日：2008-10-17

Applicant: 亞西斯特技術股份有限公司 ASYST TECHNOLOGIES, INC.

Inventor： 包諾拉 安東尼C BONORA, ANTHONY C.

IPC: H01L ,  B65G

CPC classification number: H01L21/67766 ,  H01L21/68707

Abstract: 提供一種末端執行器,其具有自末端執行器(end effector)支撐體延伸出的第一臂與第二臂。此第一臂與第二臂每一臂具有支撐延伸部分,用以在基板之直徑的對立側上支撐基板的週圍區域。於直徑的對立側上的支撐接觸點之高度相對於水平基準面係不同的。在一實施例中,此末端執行器包括自末端執行器支撐體延伸出的額外臂。也提供用以支撐基板的系統。

Abstract in simplified Chinese: 提供一种末端运行器,其具有自末端运行器(end effector)支撑体延伸出的第一臂与第二臂。此第一臂与第二臂每一臂具有支撑延伸部分,用以在基板之直径的对立侧上支撑基板的周围区域。于直径的对立侧上的支撑接触点之高度相对于水平基准面系不同的。在一实施例中,此末端运行器包括自末端运行器支撑体延伸出的额外臂。也提供用以支撑基板的系统。

公开(公告)号：TW200824026A

公开(公告)日：2008-06-01

申请号：TW096125012

申请日：2007-07-10

Applicant: 亞西斯特技術股份有限公司 ASYST TECHNOLOGIES, INC.

Inventor： 安東尼C 包諾拉 BONORA, ANTHONY C. ,  麥克 寇拉克 KROLAK, MICHAEL ,  瑞哲G 海因 HINE, ROGER G. ,  第歐朶W 瑞哲斯 ROGERS, THEODORE W.

IPC: H01L

Abstract: 一種可變批量之載入口組件,其具有一工具介面、一載入口門扉、一閂鎖鍵、一前進平板、及一升降器。該工具介面大致上在垂直維度延伸並且具有一孔洞。該載入口門扉具有一關閉位置,其中該載入口門扉至少部分封閉該孔洞。該閂鎖鍵是從該載入口門扉延伸,並用來與前開式集中晶圓盒(FOUP)之門扉的閂鎖鍵插孔配對。該前進平板是用來支撐前開式集中晶圓盒(FOUP),並在收回位置及前進位置之間移動。該升降器抬高及降低該前進平板,以使FOUP門扉的閂鎖鍵插孔對準載入口門扉的閂鎖鍵。

Abstract in simplified Chinese: 一种可变批量之加载口组件,其具有一工具界面、一加载口门扉、一闩锁键、一前进平板、及一升降器。该工具界面大致上在垂直维度延伸并且具有一孔洞。该加载口门扉具有一关闭位置,其中该加载口门扉至少部分封闭该孔洞。该闩锁键是从该加载口门扉延伸,并用来与前开式集中晶圆盒(FOUP)之门扉的闩锁键插孔配对。该前进平板是用来支撑前开式集中晶圆盒(FOUP),并在收回位置及前进制置之间移动。该升降器抬高及降低该前进平板,以使FOUP门扉的闩锁键插孔对准加载口门扉的闩锁键。

公开(公告)号：TW200720172A

公开(公告)日：2007-06-01

申请号：TW095125275

申请日：2006-07-11

Applicant: 艾塞特工業公司 ASYST TECHNOLOGIES, INC.

Inventor： 安東尼C 波諾那 BONORA, ANTHONY C. ,  羅傑G 海因 HINE, ROGER G. ,  麥克 克拉克 KROLAK, MICHAEL

IPC: B65G ,  H01L

CPC classification number: H01L21/67763 ,  B65G15/12 ,  B65G43/10 ,  B65G47/268 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/6773

Abstract: 本發明包含一種移動一半導體容器穿過一製造設施之輸送機。在一實施例中,該輸送機包含複數個個別控制之輸送機區段。每一輸送機區段包括一第一皮帶、一第二皮帶、一使該第一皮帶及該第二皮帶以大體上相同速度旋轉之驅動總成。當該容器沿該輸送機移動時該第一皮帶及該第二皮帶以大體上相同速度而驅動且可移動地支撐該容器之底板。在另一實施例中,該輸送機包括感應器以確定該容器之位置。

Abstract in simplified Chinese: 本发明包含一种移动一半导体容器穿过一制造设施之输送机。在一实施例中,该输送机包含复数个个别控制之输送机区段。每一输送机区段包括一第一皮带、一第二皮带、一使该第一皮带及该第二皮带以大体上相同速度旋转之驱动总成。当该容器沿该输送机移动时该第一皮带及该第二皮带以大体上相同速度而驱动且可移动地支撑该容器之底板。在另一实施例中,该输送机包括感应器以确定该容器之位置。

公开(公告)号：TW589278B

公开(公告)日：2004-06-01

申请号：TW090108682

申请日：2001-04-11

Applicant: 艾塞特工業公司 ASYST TECHNOLOGIES, INC

Inventor： 丹尼爾 巴比斯 DANIEL BABBS ,  帝摩西 愛華德 TIMOTHY EWALD ,  馬修 可帝 MATTHEW COADY ,  威廉J 佛斯奈 WILLIAM J. FOSNIGHT

IPC: H01L ,  B65G

CPC classification number: H01L21/67271 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/67778 ,  Y10S414/139

Abstract: 發表一種模組化分類機，其中模組化部位可易於添加及拆除，俾隨特定晶圓製程需要而添加及拆除負荷出入口總成。在一實例中，根據本發明之模組化分類機，包含一界定一迷你環境供分類機使用之二元寬度模組化部位、一晶圓處理機器人，一付對準器以及一中央控制器。本實例之模組化部位，包含一付併置之負荷出入口總成，用以接收一容器或開啟之匣體，同時將匣體送至分類機之迷你環境，俾在其內加工晶圓。本發明另外包含一可拆除之端板。當期望添加額外模組化部位至分類機時，端板被拆除而以一連接器框架取代。連接器框架容許額外之模組化部位，包含單負荷出入口總成或雙負荷出入口總成而待連附至原始模組化部位。所有用於模組化部位之電力及控制元件，最好置於中央控制器內。一旦連接外加之模組化部位後，用於外加部位之電力及信號連接件，被插入控制器內。接著，控制器認知外加部位且改變整個操作體系而操作為一三元寬度分類機或是四元寬度分類機。

Abstract in simplified Chinese: 发表一种模块化分类机，其中模块化部位可易于添加及拆除，俾随特定晶圆制程需要而添加及拆除负荷出入口总成。在一实例中，根据本发明之模块化分类机，包含一界定一迷你环境供分类机使用之二元宽度模块化部位、一晶圆处理机器人，一付对准器以及一中央控制器。本实例之模块化部位，包含一付并置之负荷出入口总成，用以接收一容器或打开之匣体，同时将匣体送至分类机之迷你环境，俾在其内加工晶圆。本发明另外包含一可拆除之端板。当期望添加额外模块化部位至分类机时，端板被拆除而以一连接器框架取代。连接器框架容许额外之模块化部位，包含单负荷出入口总成或双负荷出入口总成而待连附至原始模块化部位。所有用于模块化部位之电力及控件，最好置于中央控制器内。一旦连接外加之模块化部位后，用于外加部位之电力及信号连接件，被插入控制器内。接着，控制器认知外加部位且改变整个操作体系而操作为一三元宽度分类机或是四元宽度分类机。

公开(公告)号：TWI463587B

公开(公告)日：2014-12-01

申请号：TW095124993

申请日：2006-07-07

Applicant: 艾塞特工業公司 ,  ASYST TECHNOLOGIES, INC.

Inventor： 安東尼C 波諾那 ,  BONORA, ANTHONY C.

IPC: H01L21/67

CPC classification number: B25J15/0028 ,  B65G65/00 ,  H01L21/67383 ,  H01L21/68707

公开(公告)号：TW200914338A

公开(公告)日：2009-04-01

申请号：TW097126610

申请日：2008-07-14

Applicant: 亞西斯特技術股份有限公司 ASYST TECHNOLOGIES, INC.

Inventor： 理查H 古德 GOULD, RICHARD H. ,  安東尼C 包諾拉 BONORA, ANTHONY C. ,  麥克 寇拉克 KROLAK, MICHAEL

IPC: B65D ,  B65G ,  H01L

CPC classification number: H01L21/67363 ,  H01L21/67369 ,  H01L21/67383 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67778

Abstract: 一種處理基板用之支承容器,該容器包含基座、頂部、及連接基座與頂部之側面板。將支持結構設置於容器內,該支持結構用以支撐容器內之基板,且該支持結構具有數列延伸跨越容器之寬度之多重拉伸構件,每一列多重拉伸構件用以支承基板,其中側面板其中一者包含能夠存取進入容器內之可動式彈性薄膜。用於該可動式彈性薄膜之支持結構包含使該彈性薄膜與處理工具之接收模組之門或處理工具之門的移動同步進行之同步化機構。

Abstract in simplified Chinese: 一种处理基板用之支承容器,该容器包含基座、顶部、及连接基座与顶部之侧皮肤。将支持结构设置于容器内,该支持结构用以支撑容器内之基板,且该支持结构具有数列延伸跨越容器之宽度之多重拉伸构件,每一列多重拉伸构件用以支承基板,其中侧皮肤其中一者包含能够存取进入容器内之可动式弹性薄膜。用于该可动式弹性薄膜之支持结构包含使该弹性薄膜与处理工具之接收模块之门或处理工具之门的移动同步进行之同步化机构。

公开(公告)号：TW200835639A

公开(公告)日：2008-09-01

申请号：TW096143954

申请日：2007-11-20

Applicant: 亞西斯特技術股份有限公司 ASYST TECHNOLOGIES, INC.

Inventor： 安東尼C 包諾拉 BONORA, ANTHONY C.

IPC: B65H

CPC classification number: B65G1/02

Abstract: 概括而言,本發明包含一容器儲存系統,此系統用以有效地儲存大容量及小容量容器或前開式集中晶圓盒(FOUPs,Front Opening Unified Pods)。在一實施例中,儲倉內的每一個儲存架包含一對隔開的支撐部。大容量容器或小容量容器可被安置在任何的這些支撐部上。在儲倉內對這些儲存位置進行排列,以使儲存位置與容器之間的未佔用空間的數量最小化。在一實施例中,鄰接儲存位置之支撐部之間的垂直間距係小於大容量FOUP容器外殼的高度。因此,當FOUR被安置在儲存位置內時,其容器外殼可伸出位於正上方之儲存位置的支撐部之間。

Abstract in simplified Chinese: 概括而言,本发明包含一容器存储系统,此系统用以有效地存储大容量及小容量容器或前开式集中晶圆盒(FOUPs,Front Opening Unified Pods)。在一实施例中,储仓内的每一个存储架包含一对隔开的支撑部。大容量容器或小容量容器可被安置在任何的这些支撑部上。在储仓内对这些存储位置进行排列,以使存储位置与容器之间的未占用空间的数量最小化。在一实施例中,邻接存储位置之支撑部之间的垂直间距系小于大容量FOUP容器外壳的高度。因此,当FOUR被安置在存储位置内时,其容器外壳可伸出位于正上方之存储位置的支撑部之间。