レーザーマイクロダイセクションシステムのレーザー偏向装置を較正するための方法およびレーザーマイクロダイセクションシステム
    28.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2016534404A

    公开(公告)日:2016-11-04

    申请号:JP2016537243

    申请日:2014-08-22

    Abstract: レーザーマイクロダイセクションシステムの顕微鏡の落射装置内のレーザー偏向装置を較正する方法を提案する。このレーザー偏向装置によって、レーザーマイクロダイセクションシステムのレーザーユニットによって生成され、落射装置によって、顕微鏡の顕微鏡対物レンズを通るように案内されたレーザービームが、レーザー偏向装置への駆動制御信号によって規定された、顕微鏡対物レンズの対象物面内の所定の位置へ偏向される。レーザーマイクロダイセクションシステムは、さらに、画像評価モジュールを備えたデジタル画像検出ユニットを有している。この方法は、較正対象物(52)を、顕微鏡対物レンズの対象物面内に位置付けすることと、位置設定値に基づいて、かつ、第1の較正値を用いて計算された第1の駆動制御信号によってレーザー偏向装置を駆動制御することと、レーザービームを用いて、少なくとも1つの較正マーク(53)を較正対象物(52)上に作成することを含んでいる。次に、較正対象物(52)を、デジタル画像検出ユニットによって検出し、画像評価モジュールによって、少なくとも1つの較正マークの位置実際値を求め、位置設定値と位置実際値との関係に基づいて、第2の較正値を決定する。相応のレーザーマイクロダイセクションシステムも本発明の対象である。

    Abstract translation: 我们建议在激光显微切割系统的显微镜落射装置校准的激光偏转装置的方法。 该激光束偏转装置,通过激光显微切割系统中,epi装置的激光单元,引导激光束通过显微镜的显微镜物镜中产生的,由驱动控制信号发送到激光束偏转装置限定 ,它偏转到所述显微镜物镜的物平面内的预定位置。 激光显微切割系统还包括数字图像检测部与图像评估模块。 该方法中,校准物体(52),所述方法包括:定位所述显微镜物镜的物平面中,位置的设定值的基础上,并且其通过使用所述第一校准值而计算出的第一驱动 和控制由控制信号驱动激光偏转装置中,通过使用激光束,包括创建所述校准物体(52)的至少一个校准标记(53)上。 接下来,校准物体(52),由数字图像检测单元检测到时,图像评价模块基于实际位置值和位置设定值之间的关系的至少一个校准标记的实际位置值, 确定第二校准值。 相应的激光显微切割系统也是本发明的目的。

    走査顕微鏡及び該走査顕微鏡のための音響光学メインビームスプリッタ
    29.
    发明专利
    走査顕微鏡及び該走査顕微鏡のための音響光学メインビームスプリッタ 审中-公开
    用于扫描显微镜和扫描显微镜声光主要分束器

    公开(公告)号:JP2016532905A

    公开(公告)日:2016-10-20

    申请号:JP2016539528

    申请日:2014-09-03

    Abstract: 本発明は、走査顕微鏡のための音響光学メインビームスプリッタに関するものであり、この音響光学メインビームスプリッタは、事前に選択された又は事前に選択可能な照明光波長の照明光を、試料を照明するための照明光ビームパスに向け、且つ、試料から到来する検出光を検出光ビームパスに向けるように構成されており、またそのように動作する。この音響光学メインビームスプリッタは以下の特徴を備えている。つまり、音響光学メインビームスプリッタにおいて、照明光波長に対応付けられている音響周波数の1つの力学的な波が伝播されるか、又は、照明光波長に対応付けられており、且つ、同一の音響周波数を有している複数の力学的な波が伝播され、試料から到来する検出光束から、1つの力学的な波との相互作用によって、又は、複数の力学的な波との相互作用によって、検出光束の、第1の直線偏光方向及び照明光波長を有している成分も、検出光束の、第1の直線偏光方向に対して垂直な第2の直線偏光方向及び照明光波長を有している成分も偏向されて、前記検出光束から除去される、及び/又は、1つの力学的な波との相互作用によって、又は、複数の力学的な波との相互作用によって、第1の直線偏光方向及び事前に選択された照明光波長を有している照明光の成分も、第1の直線偏光方向とは異なる、特に第1の直線偏光方向に対して垂直な第2の直線偏光方向及び事前に選択された照明光波長を有している照明光の成分も、試料を照明するための照明光ビームパスへと向けられる。

    Abstract translation: 本发明涉及一种声光主光束分离器,用于扫描显微镜,声光主光束分离器,照明光预先选定的可选择的或预先的照明光波长照射所述样品 向被配置为引导来自样品到检测光束路径的检测光的照明光束的路径,并且,还作为这样。 声光主光束分离器具有以下特征。 换句话说,在声光主要分束器,与照明光的波长相关联的声波频率的机械波的一个传播,或与该照明光的波长,相同的声音相关联的 多个具有频率机械波被交互传播从检测光束来自样品,通过相互作用与一种机械波,或,多个机械波, 检测光束的,具有第一线性偏振方向与照明光的波长,组分具有第二线性偏振方向与照明光的波长在垂直于第一线偏振方向的检测光束 和部件被偏转从所述检测光束去除,和/或通过相互作用机械波的一个,或通过交互与多个机械波,所述第一直线 选择的极化方向和预照明光波长 部件,其照明光也是第一线偏振方向不同,特别是照明光的波长选择的第二线性极化方向和前进垂直于第一线偏振方向 照明光的成分还涉及照明光束路径用于照射样品。

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