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    形成離子感測器之方法
    21.
    发明专利
    形成離子感測器之方法 审中-公开
    形成离子传感器之方法

    公开(公告)号：TW202014700A

    公开(公告)日：2020-04-16

    申请号：TW108129294

    申请日：2019-08-16

    Applicant: 美商生命技術公司 ,  LIFE TECHNOLOGIES CORPORATION

    Inventor： 瓦格納 菲爾 ,  WAGGONER, PHIL

    IPC: G01N27/414 ,  H01L21/363 ,  H01L21/324

    Abstract: 一種用於製造一感測器之方法，其包含：蝕刻安置在一基板上之一絕緣體層，以限定曝露安置在所述基板上的一感測器的一感測器表面的一開口，在所述感測器表面上形成一原生氧化物；用一惰性氣體濺射所述感測器表面，以至少部分地從所述感測器表面移除所述原生氧化物；及在一氫氣氛圍中對所述感測器表面進行退火。

    Abstract in simplified Chinese: 一种用于制造一传感器之方法，其包含：蚀刻安置在一基板上之一绝缘体层，以限定曝露安置在所述基板上的一传感器的一传感器表面的一开口，在所述传感器表面上形成一原生氧化物；用一惰性气体溅射所述传感器表面，以至少部分地从所述传感器表面移除所述原生氧化物；及在一氢气氛围中对所述传感器表面进行退火。

    離子感測電荷累積電路及方法
    23.
    发明专利
    離子感測電荷累積電路及方法 审中-公开
    离子传感电荷累积电路及方法

    公开(公告)号：TW201641934A

    公开(公告)日：2016-12-01

    申请号：TW105120243

    申请日：2011-06-30

    Applicant: 生命技術公司 ,  LIFE TECHNOLOGIES CORPORATION

    Inventor： 費佛 基斯 ,  FIFE, KEITH

    IPC: G01N27/403

    CPC classification number: G01N27/414 ,  G01N27/302 ,  G01N27/4145 ,  G01N27/4148

    Abstract: 一種離子感測電路，其包括一電荷累積裝置以及至少一控制與讀取電晶體，其中，電荷累積裝置係依據一流體之離子濃度而累積複數電荷封包，控制與讀取電晶體係依據累積之電荷封包而產生一輸出信號，其係表示溶液之離子濃度；電荷累積裝置可包括一第一電荷控制電極、一電性浮動閘極結構、一第二電荷控制電極、及一汲極擴散區域，其中，第一電荷控制電極係設置在第一電極半導體區域上，電性浮動閘極結構係設置在一閘極半導體區域上並位於一離子感測鈍化保護表面下方，第二電荷控制電極係設置在第二電極半導體區域上，第一控制電極可以控制依據一第一控制信號而進入一閘極半導體區域的電荷輸入，離子感測鈍化保護表面可以用來接收流體，第二電荷控制電極可以依據第二控制信號控制電荷封包的穿透率，以穿出閘極半導體區域並進入汲極擴散區域，汲極擴散區域可以經由第二電極半導體區域而從閘極半導體區域接收電荷封包。

    Abstract in simplified Chinese: 一种离子传感电路，其包括一电荷累积设备以及至少一控制与读取晶体管，其中，电荷累积设备系依据一流体之离子浓度而累积复数电荷封包，控制与读取晶体管系依据累积之电荷封包而产生一输出信号，其系表示溶液之离子浓度；电荷累积设备可包括一第一电荷控制电极、一电性浮动闸极结构、一第二电荷控制电极、及一汲极扩散区域，其中，第一电荷控制电极系设置在第一电极半导体区域上，电性浮动闸极结构系设置在一闸极半导体区域上并位于一离子传感钝化保护表面下方，第二电荷控制电极系设置在第二电极半导体区域上，第一控制电极可以控制依据一第一控制信号而进入一闸极半导体区域的电荷输入，离子传感钝化保护表面可以用来接收流体，第二电荷控制电极可以依据第二控制信号控制电荷封包的穿透率，以穿出闸极半导体区域并进入汲极扩散区域，汲极扩散区域可以经由第二电极半导体区域而从闸极半导体区域接收电荷封包。

    具薄導電元件之化學裝置
    25.
    发明专利
    具薄導電元件之化學裝置 审中-公开
    具薄导电组件之化学设备

    公开(公告)号：TW201513337A

    公开(公告)日：2015-04-01

    申请号：TW103129092

    申请日：2014-08-22

    Applicant: 生命技術公司 ,  LIFE TECHNOLOGIES CORPORATION

    Inventor： 費佛 基斯G ,  FIFE, KEITH G. ,  歐文斯 喬登 ,  OWENS, JORDAN ,  李世峰 ,  LI, SHIFENG ,  布司帝洛 詹母士 ,  BUSTILLO, JAMES

    IPC: H01L29/66 ,  H01L29/788 ,  G01N27/414

    Abstract: 本發明一實施例係揭露一種化學裝置，包含一化學敏感場效電晶體，其包含一浮動閘極結構，該浮動閘極結構包含複數個互相電性耦合之浮動閘極導體；一導電元件，其係覆蓋於並連通於該等複數個浮動閘極導體中最上層之該浮動閘極導體，該導電元件係比最上層之該浮動閘極導體更寬且更薄；以及一介電材料，其定義延伸至該導電元件之一上表面之一開口。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明一实施例系揭露一种化学设备，包含一化学敏感场效应管，其包含一浮动闸极结构，该浮动闸极结构包含复数个互相电性耦合之浮动闸极导体；一导电组件，其系覆盖于并连通于该等复数个浮动闸极导体中最上层之该浮动闸极导体，该导电组件系比最上层之该浮动闸极导体更宽且更薄；以及一介电材料，其定义延伸至该导电组件之一上表面之一开口。

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