公开(公告)号：WO2013186260A1

公开(公告)日：2013-12-19

申请号：PCT/EP2013/062154

申请日：2013-06-12

Applicant: PYREOS LTD. ,  SIEMENS AG

Inventor： GIEBELER, Carsten ,  SCHREITER, Matthias ,  STEINKOPFF, Thorsten ,  WERSING, Wolfram

IPC: C23C14/00 ,  C23C14/08 ,  C23C14/02 ,  G01J5/34 ,  H01L37/02

CPC classification number: H01L31/09 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/025 ,  C23C14/088 ,  G01J5/34 ,  H01L31/032 ,  H01L31/18 ,  H01L37/04 ,  H01L41/316

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Mikrosystems, mit den Schritten: Bereitstellen eines Substrats (2) aus Aluminiumoxid; Herstellen einer Dünnschicht (6) auf dem Substrat (2) durch Abscheiden von Bleizirkonattitanat auf das Substrat (2) mit einem thermischen Abscheideverfahren derart, dass das Bleizirkonattitanat in der Dünnschicht (6) selbstpolarisiert ist und vorwiegend in der rhomboedrischen Phase vorliegt; Abkühlen des Substrats (2) mit der Dünnschicht (6).

Abstract translation: 本发明涉及一种制造微，其包括以下步骤的方法：提供衬底（2）由氧化铝构成; 由（2），其具有热沉积过程，使得在薄膜（6）的锆钛酸铅是自极化，主要是在菱形晶相在基片上沉积的锆钛酸铅的衬底（2）上形成的薄膜（6）; 冷却基板（2）与薄膜（6）。

公开(公告)号：WO2010046213A1

公开(公告)日：2010-04-29

申请号：PCT/EP2009/062632

申请日：2009-09-29

Applicant: Pyreos Ltd. ,  GIEBELER, Carsten

Inventor： GIEBELER, Carsten

IPC: G01J5/00 ,  G01J5/04 ,  G01J5/08 ,  G01J5/10

CPC classification number: G01J5/0014 ,  G01J5/04 ,  G01J5/045 ,  G01J5/08 ,  G01J5/0803 ,  G01J5/0846 ,  G01J5/0862 ,  G01J5/10

Abstract: Ein Infrarotlichtdetektor weist ein erstes Substrat (2), das einen Sensorchip (8) mit einer Bestrahlungsfläche (9) aufweist, die mit Infrarotlicht bestrahlbar ist, das von dem Sensorchip in ein elektrisches Signal umwandelbar ist, und ein zweites Substrat (3) auf, das ein Fenster (10) aufweist, das unmittelbar benachbart zu der Bestrahlungsfläche angeordnet ist und eingerichtet ist, Infrarotlicht von einer vorbestimmten Wellenlänge auszublenden, wobei die Abmaße des Fensters und dessen Abstand (12) zur Bestrahlungsfläche derart dimensioniert sind, dass das von dem Fenster durchgelassene Infrarotlicht vollständig auf den Sensorchip trifft.

Abstract translation: 红外光检测器包括具有（8），其具有照射面（9），其被照射的红外光，这是从传感器芯片可转换成电信号的传感器芯片的第一基板（2），和第二衬底（3）， 其被用于照射表面，使得光通过该窗口发射直接布置邻近于所述照射区域并且被布置成隐藏预定波长，其中所述窗口和它的距离的尺寸的尺寸（12）的红外光的窗口（10） 红外光完全撞击传感器芯片。

公开(公告)号：WO2009077016A1

公开(公告)日：2009-06-25

申请号：PCT/EP2008/006289

申请日：2008-07-30

Applicant: PYREOS LTD. ,  WRIGHT, Jeffrey

Inventor： WRIGHT, Jeffrey

IPC: H01L31/0203 ,  G01J5/04

CPC classification number: G01J5/04 ,  G01J5/0285 ,  G01J5/045 ,  H01L27/14618 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Detektion von Wärmestrahlung, aufweisend ein Substrat, ein auf dem Substrat angebrachtes und ein elektrisch leitendes Material aufweisendes Schutzgehäuse mit einer dem Substrat abgewandten Oberseite, in der eine Öffnung vorgesehen ist, und einen auf dem Substrat innerhalb des Schutzgehäuses angebrachten Stapel mit mindestens einem Detektorträger mit mindestens einem thermischen Detektorelement zur Umwandlung der Wärmestrahlung in ein elektrisches Signal, mindestens einem Schaltungsträger mit mindestens einer Ausleseschaltung zum Auslesen des elektrischen Signals, und mindestens einer Abdeckung zum Abdecken des Detektorelements, wobei der Detektorträger zwischen dem Schaltungsträger und der Abdeckung angeordnet ist, der Detektorträger und die Abdeckung derart aneinander angeordnet sind, dass zwischen dem Detektorelement des Detektorträgers und der Abdeckung mindestens ein, vom Detektorträger und von der Abdeckung begrenzter, erster Stapelhohlraum des Stapels vorhanden ist, der Schaltungsträger und der Detektorträger derart aneinander angeordnet sind, dass zwischen dem Detektorträger und dem Schaltungsträger mindestens ein, vom Schaltungsträger und vom Detektorträger begrenzter, zweiter Stapelhohlraum des Stapels vorhanden ist und der erste Stapelhohlraum und/oder der zweite Stapelhohlraum evakuiert oder evakuierbar sind, und wobei der Stapel eine dem Substrat angewandte Stapeloberseite aufweist, mit der der Stapel mit der Öffnung in Eingriff steht, so dass die Stapeloberseite von außerhalb des Schutzgehäuses zugänglich ist. Verwendung findet die Vorrichtung in Bewegungsmeldern, Präsenzmeldern und Wärmebildkameras.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于检测热辐射的装置，包括一基板，一安装在所述基板上，并安装在基板上的保护壳体堆叠内的导电材料表现出壳体与从衬底顶表面上，在其上设置的开口远端的一侧上，和一个 与至少一个检测器支撑件与至少一种热式光检测元件，用于热辐射，所述至少一个电路载波转换为电信号的至少一个读出电路，用于读出对应的电信号，和用于覆盖检测元件的至少一个盖，其中所述电路载体和盖子之间的检测器支撑件布置 中，检测器支撑件和盖被布置成彼此，使得检测器基板的检测器元件和所述盖中，至少一个，从所述检测器支撑件和盖有限的，第一间 被堆叠，在电路载体和检测器支撑件的本堆叠腔被布置为彼此，使得抽真空的检测器基板和电路基板，至少一个之间，可从电路载体和检测器支撑所述堆叠的限制，第二堆叠腔和所述第一堆叠腔和/或第二堆叠腔 或可被排空，并且所述堆叠具有所施加的衬底叠层顶部，其与在接合所述开口的堆叠，以使栈顶是从保护壳外部接近。 使用发现于运动检测器，占用检测器和热成像装置。

公开(公告)号：WO2009043571A1

公开(公告)日：2009-04-09

申请号：PCT/EP2008/008280

申请日：2008-09-29

Applicant: PYREOS LTD. ,  GIEBELER, Carsten ,  RETTIG, Uwe ,  SCHREITER, Matthias

Inventor： GIEBELER, Carsten ,  RETTIG, Uwe ,  SCHREITER, Matthias

IPC: G01J5/10 ,  G01J5/12 ,  G01J5/34 ,  H01L27/16 ,  H01L31/101 ,  H01L37/00

CPC classification number: H01L31/101 ,  G01J5/02 ,  G01J5/024 ,  G01J5/0245 ,  G01J5/04 ,  G01J5/046 ,  G01J5/06 ,  G01J5/34 ,  H01L37/02 ,  Y10T29/49007

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur Detektion von Wärmestrahlung, mit einer Membran (101) und mindestens zwei Detektorelementen (11), die jeweils zum Umwandeln von Wärmestrahlung in ein elektrisches Signal eingerichtet und auf der Membran nebeneinander liegend angebracht sind, wobei auf der den Detektorelementen zugewandten Seite der Membran und/oder auf der den Detektorelementen abgewandten Seite der Membran mindestens eine Wärmeableitbahn (104) vorgesehen ist, die eine höhere Wärmeleitfähigkeit als die Membran hat und mit den Detektorelementen via die Membran wärmeleitend verbunden ist, so dass Wärme von den Detektorelementen mit der Wärmeableitbahn abführbar ist, wodurch die Ansprechzeit der Detektorelemente hoch ist, und wobei in der Membran integriert mindestens eine Wärmebarriere (105) vorgesehen ist, die eine niedrigere Wärmeleitfähigkeit als die Membran hat und zwischen den Detektorelementen sich erstreckt, so dass von der Wärmebarriere eine Wärmeleitung in der Membran von dem einen Detektorelement zu dem anderen Detektorelement behindert ist, wodurch das Übersprechen der Detektorelemente gering ist.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于检测热辐射的装置（1），与膜（101）和至少两个检测器组件（11），每个适于热辐射转换成电信号，并且安装成邻近彼此在膜上，在 面向膜的侧面和/或上设置有至少一个Wärmeableitbahn（104）的膜，其具有比所述薄膜高的热导率和热传导地连接到通过所述膜的探测器元件的探测器元件侧的相反侧的检测器元件，使得来自该热 与Wärmeableitbahn检测器元件被排出，由此，检测器元件的响应是高的，并且其中，在所述膜的至少集成的热障（105）被提供，其具有比所述薄膜的热导率和检测器元件之间延伸，使得热阻挡 热传导率 UNG从一个检测器元件是在膜中的其他检测器元件，由此所述检测器元件之间的串扰很小访问。

公开(公告)号：US20220018716A1

公开(公告)日：2022-01-20

申请号：US17310743

申请日：2020-02-17

Applicant: PYREOS LTD.

Inventor： John PHAIR ,  Lutz ECKART

IPC: G01J5/34 ,  G01J5/02 ,  G01J5/04 ,  H01L37/02

Abstract: The invention relates to a microsystem (1) comprising a substrate (12), a bottom electrode (3) arranged on the substrate (12), a ferroelectric layer (4) arranged on the bottom electrode (3), a top electrode (5) arranged on the ferroelectric layer (4) and an isolation layer (6) that is electrically isolating, that is arranged on the top electrode (5), that extends from the top electrode (5) to the substrate (12) so that the isolation layer (6) covers the bottom electrode (3), the ferroelectric layer (4) and the substrate (12) in a region around the complete circumference of the bottom electrode (3), and the isolation layer (6) has the shape of a ring that confines in its centre a through hole (11) that is arranged in the region of the top electrode (5).

公开(公告)号：US20170215796A1

公开(公告)日：2017-08-03

申请号：US15494266

申请日：2017-04-21

Applicant: PYREOS LTD.

Inventor： Carsten Giebeler ,  Hugo Vargas Llanas

IPC: A61B5/00

CPC classification number: A61B5/681 ,  A61B5/0015 ,  A61B5/0075 ,  A61B5/443 ,  A61B5/4875 ,  A61B5/6824 ,  A61B5/6831 ,  G01N21/552

Abstract: A skin measuring device for spectroscopic measurement of the skin of a body part is provided. The skin measuring device has a press-on frame with a window and a flat face. The skin measuring device has an ATR infrared spectrometer which includes an ATR crystal that is secured to the press-on frame and that has a sample stage which is arranged in the window and faces in the same direction as the flat face of the press-on frame. An encircling means surrounds the body part and thereby supports the skin measuring device on the body part. The surface of the flat face of the press-on frame is pressed against the skin of the body pan by the encircling means in a comfortably wearable manner when the skin measuring device is worn such that the sample stage is in contact with the skin for spectroscopic measurement by the ATR spectrometer.

公开(公告)号：US09568365B2

公开(公告)日：2017-02-14

申请号：US15186172

申请日：2016-06-17

Applicant: PYREOS LTD. ,  SPECTROLYTIC GMBH

Inventor： Carsten Giebeler ,  Benjamin Wiesent

IPC: G01J3/42 ,  G01J3/10 ,  G01N21/552 ,  G01N21/35

CPC classification number: G01J3/42 ,  G01J3/108 ,  G01N21/35 ,  G01N21/552 ,  G01N2201/068 ,  G01N2201/12

Abstract: An ATR infrared spectrometer for analyzing a chemical composition of a sample is provided including an elongated ATR crystal and having an entrance face, a longitudinal axis, a width, first and second longitudinal ends and an infrared light detector line with infrared-light-detecting regions. A first overall extent of all of the infrared-light-detecting regions corresponds to the width of ATR crystal. An infrared light emitter line has infrared-light-emitting regions and is arranged directly adjacent to the entrance face of the elongated ATR crystal. A sample is arranged adjacent to the ATR crystal between the infrared light emitter line and the infrared light detector line. Infrared light is emitted by the infrared light emitter line to directly enter said ATR crystal via said entrance face. The light is guided in the ATR crystal to said infrared light detector line thereby undergoing total internal reflection and thereby interacting with said sample.

Abstract translation: 提供了一种用于分析样品的化学成分的ATR红外光谱仪，其包括细长ATR晶体，并具有入射面，纵轴，宽度，第一和第二纵向端以及具有红外光检测区域的红外光检测器线 。 所有红外光检测区域的第一整体范围对应于ATR晶体的宽度。 红外光发射线具有红外发光区域，并且直接配置在细长ATR晶体的入射面附近。 在红外光发射器线和红外光检测器线之间的样品被布置成与ATR晶体相邻。 红外光由红外光发射线发射，直接通过入射面进入ATR晶体。 光在ATR晶体中被引导到所述红外光检测器线，从而经历全内反射，从而与所述样品相互作用。

公开(公告)号：US20150091007A1

公开(公告)日：2015-04-02

申请号：US14567060

申请日：2014-12-11

Applicant: Pyreos Ltd.

Inventor： Carsten Giebeler ,  Matthias Schreiter ,  Thorsten Steinkopff ,  Wolfram Wersing

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/18 ,  H01L31/032

CPC classification number: H01L31/09 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/025 ,  C23C14/088 ,  G01J5/34 ,  H01L31/032 ,  H01L31/18 ,  H01L37/04 ,  H01L41/316

Abstract: A method for producing a micro system, said method comprising: providing a substrate (2) made of aluminum oxide; producing a thin film (6) on the substrate (2) by depositing lead zirconate titanate onto the substrate (2) with a thermal deposition method such that the lead zirconate titanate in the thin film (6) is self-polarized and is present predominantly in the rhombohedral phase; and cooling down the substrate (2) together with the thin film (6).

Abstract translation: 一种微系统的制造方法，所述方法包括：提供由氧化铝制成的基板（2）; 通过以热沉积方法将锆钛酸铅沉积到衬底（2）上，使得薄膜（6）中的锆钛酸铅是自偏振的并主要存在的方式在衬底（2）上产生薄膜（6） 在菱形相中; 并与薄膜（6）一起冷却基板（2）。

公开(公告)号：WO2020169543A1

公开(公告)日：2020-08-27

申请号：PCT/EP2020/054128

申请日：2020-02-17

Applicant: PYREOS LTD.

Inventor： PHAIR, John ,  ECKART, Lutz

IPC: G01J1/42 ,  G01J5/04 ,  G01J5/34

Abstract: The invention relates to a microsystem (1) comprising a substrate (12), a bottom electrode (3) arranged on the substrate (12), a ferroelectric layer (4) arranged on the bottom electrode (3), a top electrode (5) arranged on the ferroelectric layer (4) and an isolation layer (6) that is electrically isolating, that is arranged on the top electrode (5), that extends from the top electrode (5) to the substrate (12) so that the isolation layer (6) covers the bottom electrode (3), the ferroelectric layer (4) and the substrate (12) in a region around the complete circumference of the bottom electrode (3), and the isolation layer (6) has the shape of a ring that confines in its centre a through hole (11) that is arranged in the region of the top electrode (5).

公开(公告)号：WO2012110458A1

公开(公告)日：2012-08-23

申请号：PCT/EP2012/052419

申请日：2012-02-13

Applicant: PYREOS LTD. ,  GIEBELER, Carsten ,  CONWAY, Neil

Inventor： GIEBELER, Carsten ,  CONWAY, Neil

IPC: C23C14/08 ,  H01L21/02 ,  H01L37/02

CPC classification number: H01L41/1876 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/088 ,  C23C14/3464 ,  H01L21/02197 ,  H01L21/02266 ,  H01L37/025 ,  H01L41/316

Abstract: Ein Verfahren zum Herstellen des Dünnfilms aus Blei-Zirkonat- Titanat in 111-orientierter Perovskit-Struktur weist die Schritte auf: Bereitstellen eines Substrats mit einer Substrattemperatur von über 450°C und eines Blei-Targets, eines Zirkon-Targets und eines Titan-Targets; Aufbringen des Dünnfilms durch Sputtern von Blei, Zirkon und Titan von den jeweiligen Targets auf das Substrat, wobei die gesamte Abscheiderate von Blei, Zirkon und Titan größer als 10 nm/min ist, die Abscheiderate von Zirkon derart gewählt wird, dass die atomare Konzentration von Zirkon bezogen auf die atomare Konzentration von Zirkon zusammen mit Titan im Dünnfilm zwischen 0,2 und 0,3 liegt, und die Abscheiderate von Blei in Abhängigkeit der Substrattemperatur und der gesamten Abscheiderate von Blei, Zirkon und Titan so niedrig gewählt wird, dass ein Röntgendiffraktometerdiagramm des 111- orientierten Blei-Zirkonat-Titanats im Bereich des Beugungswinkels von 33 bis 35,5° einen signifikanten Spitzenwert (19) hat; und Fertigstelle des Dünnfilms.

Abstract translation: 一种用于在111导向钙钛矿结构的锆钛酸铅的薄膜的制造方法包括以下步骤：提供一基板具有约450℃的基板温度和引线靶，锆靶和钛靶 ; 通过在衬底上溅射铅，从各靶锆和钛沉积薄膜，其中铅，锆和钛的总沉积速率大于10nm /分钟时，选择锆的沉积，使得原子浓度的 基于锆的原子浓度锆是在0.2和0.3，和铅在基体温度和整个铅，锆和钛的沉积速率的依赖性的沉积之间的薄膜钛一起被选择如此低，以致一个Röntgendiffraktometerdiagramm 的111-面向锆钛酸铅中的33的衍射角的范围内，以35.5°具有显著峰值（19）; 并在完成薄膜的点。