公开(公告)号：KR100591862B1

公开(公告)日：2006-06-26

申请号：KR1020040044804

申请日：2004-06-17

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 김용권 ,  백창욱 ,  박재형 ,  김종만

IPC: B81C1/00 ,  B81B7/02

Abstract: 초소형 구동기는 하부 전극이 형성된 유리 기판과 가동 구조물이 형성된 단결정 실리콘 기판의 접합으로 구성된다. 가동 구조물은 평판 형태의 상부 전극과 굴곡 구조를 갖는 탄성 부재로 구성되며, 상부 및 하부 전극 사이에 전압을 인가하였을 때 발생하는 정전력과 탄성 부재의 복원력을 구동력으로 사용하여 기판과 수직 면외 방향으로 구동하게 된다. 이러한 초소형 구동기는 유리 기판과 단결정 실리콘 기판을 양극 접합 기술을 이용하여 접합함으로써 구성된다. 또한 화학기계연마(CMP)공정을 사용하여 가동 구조물의 두께를 원하는 대로 조절할 수 있으며, 감광제를 마스크로 하여 가동 구조물 패턴을 형성하고 단결정 실리콘 기판을 수직 식각하여 최종 가동 구조물을 형성한다.
Micro-Electro-Mechanical System(MEMS), RF switch, 단결정실리콘

公开(公告)号：KR100558647B1

公开(公告)日：2006-03-14

申请号：KR1020030067869

申请日：2003-09-30

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권영우 ,  김용권 ,  박재형 ,  조제원

IPC: G01R1/073

Abstract: 본 발명에 따른 프로브는 기판, 기판 위에 형성되어 있는 제1 도전막, 제1 도전막 위에 형성되어 있는 절연막, 절연막의 내부에 형성되어 있으며 마이크로파가 전송되는 전송선, 전송선의 좌측 또는 우측에 형성되어 있으며, 복수개의 제1 연결 부재를 통해 제1 도전막과 연결되어 있는 접지선, 절연막 위에 형성되어 있는 제2 도전막, 전송선의 좌측 및 우측에 각각 형성되어 있으며 절연막을 관통하여 제1 도전막 및 제2 도전막을 서로 연결하고 있는 제2 연결 부재 및 제3 연결 부재를 포함한다. 이러한 프로브는 MEMS 기술과 마이크로머시닝 기법을 이용하여 직경 1 mm 이하로 제작함으로써 매우 정밀하고, 정확하게 유전율을 측정할 수 있다.
MEMS, 마이크로머시닝, 프로브, Probe

公开(公告)号：KR1020050031649A

公开(公告)日：2005-04-06

申请号：KR1020030067869

申请日：2003-09-30

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권영우 ,  김용권 ,  박재형 ,  조제원

IPC: G01R1/073

Abstract: An open ended probe using MEMS is provided to measure dielectric constant accurately by fabricating a probe whose diameter is below 1 mm. The first conductive film(20) is formed on a substrate(10). An insulation film is formed on the first conductive film. A transmission line(40) is formed in the insulation film and transmits a microwave. A ground line is formed on the left or right of the transmission line, and is connected to the first conductive film through a plurality of first connection members. The second conductive film(70) is formed on the insulation film. And the second connection member(62) and the third connection member(63) are formed on the left and right of the transmission line respectively, and connect the first conductive film and the second conductive film by penetrating the insulation film.

Abstract translation: 提供使用MEMS的开放式探头，通过制造直径小于1毫米的探头来精确测量介电常数。 第一导电膜（20）形成在基板（10）上。 在第一导电膜上形成绝缘膜。 传输线（40）形成在绝缘膜中并传输微波。 接地线形成在传输线的左侧或右侧，并且通过多个第一连接构件连接到第一导电膜。 第二导电膜（70）形成在绝缘膜上。 并且第二连接构件（62）和第三连接构件（63）分别形成在传输线的左侧和右侧，并且通过穿透绝缘膜来连接第一导电膜和第二导电膜。

公开(公告)号：KR1020020014319A

公开(公告)日：2002-02-25

申请号：KR1020000047534

申请日：2000-08-17

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권영우 ,  천창율 ,  김용권 ,  송승현 ,  백창욱 ,  이양수

IPC: H01Q3/26

CPC classification number: H01Q3/26 ,  H01Q3/08 ,  H01Q3/44 ,  Y10T29/49016

Abstract: PURPOSE: A mechanical beam steering antenna and a fabricating method thereof are provided to obtain constant maximum efficiency in all of beam directions, accomplish fast mechanical movement and fine control of a driving angle, and enable system integration for mass production. CONSTITUTION: A mechanical beam steering antenna comprises a silicon substrate on a glass substrate, a ground plane on the silicon substrate, a dielectric polymer layer on the ground plane, a micro-strip line coupled to the antenna element on the dielectric polymer layer, and a magnetic bar under the silicon substrate. The dielectric polymer layer includes a platform at its center, an inner frame and an outer frame surrounding the platform, a pair of inner hinges for connecting the platform to the inner frame, and a pair of outer hinges for connecting the inner frame to the outer frame. On the platform, many antenna elements are arranged. On the inner hinges and the outer hinges, a micro-strip line is coupled to the antenna elements.

Abstract translation: 目的：提供一种机械射束导向天线及其制造方法，以在所有波束方向上获得恒定的最大效率，实现快速的机械运动和精细的驱动角度控制，并实现批量生产的系统集成。 构成：机械波束操纵天线包括玻璃基板上的硅衬底，硅衬底上的接地平面，接地平面上的介电聚合物层，耦合到电介质聚合物层上的天线元件的微带线，以及 在硅衬底下的磁棒。 介电聚合物层包括在其中心的平台，围绕平台的内框架和外框架，用于将平台连接到内框架的一对内铰链和用于将内框架连接到外框架的一对外铰链 帧。 在平台上，安排了许多天线元件。 在内铰链和外铰链上，微带线耦合到天线元件。

公开(公告)号：KR100550929B1

公开(公告)日：2006-02-13

申请号：KR1020030067868

申请日：2003-09-30

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권영우 ,  김용권 ,  박재형 ,  이상효

IPC: H01H59/00

Abstract: 본 발명은 마이크로 기계구조를 이용한 코플래너 웨이브가이드 가변 인덕터에 관한 것으로서, 이 시스템은 마이크로 기계구조로 제작된 접촉식 스위치와 코플래너 웨이브가이드 및 코플래너 스트립라인으로 구성된다.
코플래너 웨이브가이드의 구조적 특징을 이용하여 같은 평면 위에서 코플래너 스트립라인을 코플래너 웨이브가이드의 그라운드 평면에 배치하여 소형화된 코플래너 직렬 인덕턴스를 얻을 수 있다. 이에 나아가 코플래너 스트립라인의 전기적 길이를 접촉식 스위치를 이용하여 바꿈으로써 가변 인덕터로 사용할 수 있다.
마이크로 기계구조의 접촉 스위치는 전기적 스위치에 비하여 손실면이나 사용 주파수 대역면, 그리고 전력 소모면에서 장점을 가지기 때문에 높은 Q값과 넓은 대역폭을 가지는 가변 인덕터를 제작할 수 있게 한다.
저손실, 큰 인덕턴스 가변량, 넓은 사용 주파수 대역폭 등의 장점을 가지는 본 발명의 가변 인덕터를 사용하여 마이크로파 대역에서 향상된 특성을 갖는 주파수 가변 필터를 제작할 수 있을 것이다.
가변 인덕터, 코플래너 웨이브가이드, 코플래너 스트립 라인, 마이크로 기계구조, 접촉식 스위치

公开(公告)号：KR1020050031648A

公开(公告)日：2005-04-06

申请号：KR1020030067868

申请日：2003-09-30

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권영우 ,  김용권 ,  박재형 ,  이상효

IPC: H01H59/00

Abstract: A switch using an MEMS(Micro Electro-Mechanical System) and a variable inductor using the switch are provided to simply design a bias circuit with small parasite components as well as low contact resistance, thereby fabricating a miniaturized variable inductor having a big operational frequency range with a high Q value. A support(17) is made of a conductive material on a substrate(14). Metal supporting substances(18) are formed on the support(17), bent in a spot rising up to a predetermined height from the substrate(14), and are formed in parallel with a surface of the substrate(14). Supporting beams promote structural stability by connecting both metal supporting substances(18). An insulated supporting substance(19) is attached to the metal supporting substances(18). A connection metal(20) is supported by being attached to the insulated supporting substance(19), and floats up into the air.

Abstract translation: 提供使用MEMS（微机电系统）和使用该开关的可变电感器的开关，以简单地设计具有较小寄生电子元件以及低接触电阻的偏置电路，从而制造具有大的工作频率范围的小型化可变电感器 具有高Q值。 支撑体（17）由衬底（14）上的导电材料制成。 金属支撑物质（18）形成在支撑体（17）上，从与基板（14）上升到预定高度的点弯曲，并且与基板（14）的表面平行地形成。 支撑梁通过连接金属支撑物质（18）来促进结构稳定性。 绝缘支撑物质（19）附着在金属支撑物质（18）上。 连接金属（20）通过附接到绝缘支撑物质（19）而被支撑，并浮起到空气中。

公开(公告)号：KR1020020014318A

公开(公告)日：2002-02-25

申请号：KR1020000047533

申请日：2000-08-17

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권영우 ,  김용권 ,  김홍득 ,  박재형

IPC: H01P3/123

Abstract: PURPOSE: An inverted overlay coplanar wave guide using micro-machining is provided to cover wide range of impedance required in semiconductor integrated circuit design, reduce power loss, improve yield and uniformity of devices, and reduce reflection loss and radiation loss. CONSTITUTION: An inverted overlay coplanar wave guide using micro-machining comprises a substrate(20), a center transmission line(22) of a Au stripe on the substrate(20), and ground transmission lines(21) of Au stripes at both sides of the center transmission line(22) and separated from the center transmission line(22). The side of each of the ground transmission lines(21) near the center transmission line(22) is lifted from the substrate(20) by a height H and has a part(O) overlapped with or separated from some part of the center transmission line(22). The Impedance of the inverted overlay coplanar wave guide is adjusted by an overlapped or separated width between the center transmission line(22) and the ground transmission line(21).

Abstract translation: 目的：提供使用微加工的倒置叠层共面波导，以覆盖半导体集成电路设计所需的宽范围阻抗，降低功耗，提高器件的产量和均匀性，并减少反射损耗和辐射损耗。 构成：使用微加工的反向覆盖共面波导包括基板（20），基板（20）上的Au条的中心传输线（22）和两侧的Au条纹的接地传输线（21） 的中心传输线（22），并与中心传输线（22）分离。 靠近中心传输线（22）的每个接地传输线（21）的一侧从基板（20）提升高度H，并且具有与中心传动件的一些部分重叠或分离的部分（O） 线（22）。 反向叠层共面波导的阻抗通过中心传输线（22）和地面传输线（21）之间的重叠或分开的宽度来调节。