垂直沟道单元阵列晶体管结构和包括其的DRAM器件

    公开(公告)号:CN115802744A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202210517382.X

    申请日:2022-05-12

    Abstract: 提供了一种垂直沟道单元阵列晶体管结构和包括其的动态随机存取存储器(DRAM)器件。该垂直沟道单元阵列晶体管结构包括:半导体基板;多个沟道,在半导体基板上布置成阵列并且每个从半导体基板垂直地延伸;在所述多个沟道上的栅极绝缘层;多条字线,在半导体基板上并在第一方向上延伸;以及二维(2D)材料层,在所述多条字线中的每条的至少一个表面上。

    垂直沟道晶体管
    27.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115799297A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202210498032.3

    申请日:2022-05-09

    Abstract: 一种垂直沟道晶体管包括:第一源/漏电极;第二源/漏电极,在第一方向上与第一源/漏电极间隔开;第一沟道图案,在第一源/漏电极和第二源/漏电极之间;第一栅电极,在第一沟道图案的侧表面上;第一栅绝缘层,在第一沟道图案和第一栅电极之间;以及第一石墨烯插入层,在第一源/漏电极和第一沟道图案之间。

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