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公开(公告)号:CN107275232A
公开(公告)日:2017-10-20
申请号:CN201710141418.8
申请日:2017-03-10
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/56 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供树脂成型装置及方法、运膜辊及树脂成型装置用供膜装置,用于降低膜中产生的褶皱或挠曲而进行树脂成型。树脂成型装置使用在彼此相对配置的第一模和第二模中的至少一个模上设置有型腔的成型模,并对成型模进行合模来进行树脂成型,其具备:送出机构,用于向第一模与第二模之间送出膜;卷取机构,用于从第一模与第二模之间卷取膜;第一辊,被设置在送出机构侧;第二辊,被设置在卷取机构侧;和主筒状部件,在第一辊的旋转轴和第二辊的旋转轴中的至少一个旋转轴的一端部和另一端部分别安装有多个所述主筒状部件,在多个主筒状部件中,外侧的主筒状部件的外径大于内侧的主筒状部件的外径,多个主筒状部件相对于各自所在的旋转轴能够装卸。
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