公开(公告)号：CN101427185B

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN200780013834.4

申请日：2007-04-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 末平信人 ,  关淳一 ,  稻秀树 ,  千德孝一

IPC: G03F9/00

Abstract: 在用于进行两个板状物之间的对准的对准方法中，将配置有第一对准标记的第一板状物和配置有第二对准标记的第二板状物相互相对放置。将第一区域和第二区域布置在通过图像拾取装置所观察的图像拾取区域中相互不重叠的位置处。从基本上与第一和第二板状物的平面内方向垂直的方向，通过图像拾取装置，拾取第一和第二对准标记的图像。通过使用第一对准标记相对于第一区域中的预定位置的偏移的第一信息和第二对准标记相对于第二区域中的预定位置的偏移的第二信息，来进行对准控制。

公开(公告)号：CN102200687A

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN201110071162.0

申请日：2011-03-24

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 佐藤浩司 ,  稻秀树

IPC: G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B29C59/02 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明涉及压印设备和制造物品的方法。一种在涂布在基板上的树脂与模子的图案表面彼此接触的同时使所述树脂固化的压印设备包括：供应部分，被配置为向所述模子的图案表面面向的空间供应气体，所述气体用于加速用所述树脂填充所述模子的图案表面的凹陷部分；以及控制器，被配置为控制所述供应部分以便在使所述树脂与所述模子的图案表面彼此接触之前向所述空间供应气体，其中所述供应部分被配置为经由在所述模子的至少一部分中形成的多孔部分来向所述空间供应气体。

公开(公告)号：CN102053490A

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN201010539354.5

申请日：2007-04-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 末平信人 ,  关淳一 ,  稻秀树 ,  千德孝一

IPC: G03F7/00 ,  G03F9/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F9/00 ,  G03F9/703 ,  G03F9/7049 ,  G03F9/7088

Abstract: 本发明涉及一种压印设备，其执行印模和基片之间的对准并将印模的图案压印到基片的层上，该压印设备包括：支撑部，被配置为支撑印模；工作台，被配置为与支撑部支撑的印模相对地支撑基片；和显微镜，包含图像拾取装置，显微镜被配置为经由图像拾取装置的第一图像拾取区域检测具有第一周期性结构并且形成在印模中的第一对准标记，以及经由图像拾取装置的第二图像拾取区域检测具有第二周期性结构并且形成在印模中的第二对准标记，第一和第二图像拾取区域彼此不重叠，其中，压印设备被配置为使得通过将经由第一图像拾取区域检测到的第一对准标记的基频分量与经由第二图像拾取区域检测到的第二对准标记的基频分量数值相乘而获得莫尔条纹的相位。

公开(公告)号：CN1928711A

公开(公告)日：2007-03-14

申请号：CN200610128187.9

申请日：2006-09-06

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 寺崎敦则 ,  关淳一 ,  末平信人 ,  稻秀树 ,  奥岛真吾

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明涉及一种模具，它既使在可光固化的树脂材料设置于模具与待处理的部件之间的状态下也能够高精度地实现模具和待处理的部件的校准，该模具通过一个由第一材料形成的基板(2010)和一个由不同于第一材料的第二材料形成的校准标记(2102)构成。第一材料和第二材料具有对于在一部分紫外线波长范围内的光线的透射性。第二材料具有不小于1.7的折射率。