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公开(公告)号：CN1123917A
公开(公告)日：1996-06-05
申请号：CN95104788.4
申请日：1995-05-04
Applicant: 大宇电子株式会社
Inventor： 闵庸基
CPC classification number: G02B26/0858
Abstract: 制造薄膜可驱动反射镜阵列的方法，包括：(a)提供一底板；(b)在底板顶部淀积一分离层；(c)在分离层顶部相继形成一第一层、一电致位移层、一第二层、一弹性层和一待除层；(d)形成M×N支持单元阵列，各支持单元含有一导体；(e)进行图案形成以形成多层可驱动反射镜结构阵列；(f)把含有一晶体管阵列的有源矩阵粘接在该阵列上；(g)把基板分离开以形成上述薄膜可驱动反射镜阵列。对电致位移层的热处理在粘接上有源矩阵前进行，可避免晶体管因被加热而降低性能。
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