静电致动器及其驱动方法
    25.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102190275B

    公开(公告)日:2014-10-15

    申请号:CN201110043026.0

    申请日:2011-02-21

    CPC classification number: B81C1/00698 B81B2201/0221 H01G5/18

    Abstract: 本发明涉及静电致动器及其驱动方法。静电致动器包括彼此相对的固定电极和可动电极,并且在所述固定电极和所述可动电极之间放置有电介质层,所述方法包括以下步骤:在固定电极和可动电极之间施加第一电压,使可动电极与电介质层进行接触,并且,在第一电压的施加停止后并且在可动电极从电介质层移开之前,在固定电极和可动电极之间施加第二电压。第二电压的极性与第一电压的极性相反,并且第二电压的绝对值小于第一电压的绝对值。

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