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公开(公告)号：CN102398209A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110265297.0
申请日：2011-09-08
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: B24B37/04 , B24B37/26 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/042 , B24B7/228 , B24B13/00 , B24B37/00 , B24B37/0056 , B24B37/26 , B24B57/02
Abstract: 本发明提供一种被研磨物的研磨方法及研磨垫，其用来通过研磨被研磨物的表面而使表面形成为精度较高的凹面或者凸面。研磨垫(10)在表面上的径向的中心区域和外周区域形成有不同的槽状态，中心侧或外侧的任一区域为形成有槽(15)的第一研磨区域(11)、另一区域为做成与第一研磨区域(11)不同槽状态的第二研磨区域(12)，在该研磨垫(10)上以横跨研磨区域(11)与第二研磨区域(12)的交界的状态配设被研磨物(20)，使研磨垫(10)及被研磨物(20)旋转，对被研磨物(20)进行研磨。
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公开(公告)号：CN101391327A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200810149170.0
申请日：2008-09-19
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: B23H9/00 , B23H1/04 , B23H2200/30
Abstract: 本发明涉及成形模加工电极、成形模的制造方法以及成形模。课题是能更加容易地制作成形模加工电极或成形模且在用制作的成形模对成形体进行成形时进一步抑制成形体的成形弯曲。成形模加工电极利用通过六边形的立壁部相连而使外周形成为大致圆形的狭槽形成部加工成形模的狭槽，另一方面，利用内周形成为大致圆形且与狭槽形成部的外周立壁部重合的同时其外周形成为大致圆形的狭槽形成部加工外周侧的狭槽部。同样，利用第三电极的狭槽形成部加工更外周侧的狭槽。这样，由于多个狭槽形成部在圆周方向被分割，所以多个狭槽形成部的重复部分形成为与成形体相同的大致同心圆形。另外，将狭槽形成部的面积设计为更加接近的值，难以产生电极消耗程度的差异。
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公开(公告)号：CN109562502A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201780046183.2
申请日：2017-07-21
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 利用以下的工序(a)、(b)，对磨削对象物10的侧面进行磨削，从而制造直径小于磨削对象物10的直径的磨削加工物。在工序(a)中，将杯型磨石30按中心轴30a相对于中心轴30a与磨削对象物10的中心轴10a正交的状态平行地偏移的方式进行配置。在工序(b)中，使磨削对象物10轴旋转且沿着轴向移动，同时按杯型磨石30对磨削对象物10的侧面进行磨削的方式使杯型磨石30轴旋转。由此，一边以杯型磨石30的侧面磨石部36对磨削对象物10进行粗磨，一边以底面磨石部38对磨削对象物10的外周面进行精磨，从而得到磨削加工物。
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公开(公告)号：CN108028312A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680002597.0
申请日：2016-09-14
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L41/337 , B24B37/10 , H01L41/18 , H01L41/312 , H01L41/335 , H03H3/08
CPC classification number: H01L41/337 , B24B37/10 , B81C1/00611 , H01L21/30625 , H01L21/7684 , H01L41/0805 , H01L41/18 , H01L41/312 , H01L41/338 , H03H3/02
Abstract: 本发明的复合基板的制造方法包括以下工序：(a)对直径2英寸以上的贴合基板的压电基板侧进行镜面研磨直至所述压电基板的厚度为20μm以下，该贴合基板是将压电基板和支撑基板接合而得到的；(b)进行离子束加工，加工成：所述压电基板的外周部的厚度比内周部厚且所述压电基板的内周部的厚度的最大值与最小值的差值在整个平面中为100nm以下；(c)使用直径5mm～30mm的研磨垫，使所述研磨垫带来的按压力保持恒定，并且，使所述研磨垫边旋转边移动，从而进行CMP研磨，除去通过所述离子束加工而产生的变质层的至少一部分，使所述压电基板的整个表面变得平坦。
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公开(公告)号：CN104379310B
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201380029389.6
申请日：2013-06-03
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: B28B3/26
CPC classification number: B32B3/266 , B28B3/269 , B29C47/0028 , B29C47/085 , B29C47/0852 , B29C47/0859 , B29C47/30 , B32B2037/1246
Abstract: 一种蜂窝结构体成形用模头(1)，包含第2板状部(3)和碳化钨基硬质合金制的第1板状部(7)，第2板状部(3)由铁等形成的同时形成有内孔(5)，第1板状部(7)形成有与内孔(5)连通的孔部(11)的同时形成有与孔部(11)连通的狭缝(9)；第1板状部(7)由配设在第2板状部(3)一侧的第1层(7a)、和配设在第1层(7a)上的第2层(7b)构成，孔部(11)在第1层(7a)的两面开孔，狭缝(9)在第2层(7b)的两面开孔。提供寿命长的蜂窝结构体成形用模头。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102398209B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201110265297.0
申请日：2011-09-08
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: B24B37/04 , B24B37/26 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/042 , B24B7/228 , B24B13/00 , B24B37/00 , B24B37/0056 , B24B37/26 , B24B57/02
Abstract: 本发明提供一种被研磨物的研磨方法及研磨垫，其用来通过研磨被研磨物的表面而使表面形成为精度较高的凹面或者凸面。研磨垫(10)在表面上的径向的中心区域和外周区域形成有不同的槽状态，中心侧或外侧的任一区域为形成有槽(15)的第一研磨区域(11)、另一区域为做成与第一研磨区域(11)不同槽状态的第二研磨区域(12)，在该研磨垫(10)上以横跨研磨区域(11)与第二研磨区域(12)的交界的状态配设被研磨物(20)，使研磨垫(10)及被研磨物(20)旋转，对被研磨物(20)进行研磨。
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公开(公告)号：CN104822491A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201480003235.4
申请日：2014-10-02
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: B24B1/00 , H01L21/304
CPC classification number: B24B9/065 , B24B7/228 , B24B37/044 , B24B37/08 , B24B37/105 , C30B33/00 , H01L21/02013
Abstract: 磨削装置(10)具备可控制装置整体的控制器(11)，磨削电动机(14)，通过磨削电动机(14)旋转的砂轮座(15)以及固定在砂轮座(15)上的磨削用砂轮(16)。磨削工序中，使用该磨削装置(10)，利用以10m/s以下的圆周速度旋转的磨削用砂轮(16)磨削被研磨(18)的表面(19)。该磨削工序中，优选利用以0.5m/s以上的圆周速度旋转的磨削用砂轮(16)磨削被研磨物(18)的表面(19)。该磨削工序中，磨削作为上述被研磨物的氧化铝、蓝宝石、碳化硅以及氮化镓的表面。另外，该方法也包含使用磨粒研磨上述磨削后的被研磨物的研磨工序。
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公开(公告)号：CN101745975A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200910246596.2
申请日：2009-11-25
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: B28B3/26
CPC classification number: B28B3/269 , B23P15/243 , Y10T156/1056 , Y10T156/1082
Abstract: 本发明提供一种耐磨耗性高的蜂窝构造体成形用接头(1)，具有导入成形原料的内孔(4)、和将成形原料挤压成形为格子状的狭缝(5)。其包括由含有碳化钨和结合材料的超硬合金构成的，并形成有在厚度方向贯通的内孔(4)的第一板状构件(2)；和所述第一板状构件(2)接合的，由含有碳化钨和结合材料的超硬合金构成的，并形成有和内孔(4)连通的狭缝(5)的第二板状部件(3)；所述结合材料在所述第一板状构件(2)和所述第二板状构件(3)的接合部中分布得比第一板状构件(2)和第二板状构件(3)的其他部分中的少。
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公开(公告)号：CN100448668C
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN02140022.9
申请日：2002-11-20
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: B32B38/04 , B26F1/02 , B26F2210/08 , B32B2038/042 , B32B2038/047 , B32B2457/08 , H05K3/005 , H05K3/4611 , H05K2201/096 , Y10T29/49897 , Y10T29/49901 , Y10T29/49904 , Y10T29/5317 , Y10T29/53191 , Y10T29/53261 , Y10T156/1054 , Y10T156/1075 , Y10T156/1304 , Y10T156/1313 , Y10T156/1326 , Y10T156/1378
Abstract: 一种用于同时冲孔和层压多个材料薄片的冲模。该冲模10包括：设置在上模上的冲头10；用于冲出要加工的材料并且设置在下模上的模具12；用于在冲孔操作过程中引导冲头的脱模机；用于利用冲头10作为层压轴的层压冲孔的材料的装置；用于当上模和下模处于分开状态时调整冲头10和脱模机11的相对位置的装置；以及用于在冲孔操作过程中调整冲头和脱模机之间的间隙的装置。冲模可以精确的开出大致是直的非常微小的通孔，其直径为100μm或以下，即使片是薄的、软的而且易变形的材料时也能如此。
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公开(公告)号：CN100410011C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200510114309.4
申请日：2005-10-20
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: B24B7/162 , Y10S269/90 , Y10S451/914
Abstract: 本发明提供一种研磨加工用夹具组及多个被研磨体的研磨方法，其不会损伤被研磨体、不会改变开始到结束期间的多个被研磨体的配置图案。研磨加工用夹具组用在将多个被研磨体配置在研磨夹具上，在被研磨体的研磨加工结束之后直到使被研磨体从研磨夹具脱离的一系列工序中，且由多个夹具单元组成，包括：配置用小型托架；分割托架，其可在收容配置用小型托架的状态下将被研磨体从起始托架上移送到配置用小型托架上；分割板，其可将载放在配置用小型托架上的被研磨体以转印状态配置到研磨夹具的表面上；脱离用小型托架，其可在被研磨体的研磨加工结束后，将通过规定的剥离处理从研磨夹具的表面上脱离的被研磨体以转印状态和分割成局部图案的状态移送。
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