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公开(公告)号:CN104094088A
公开(公告)日:2014-10-08
申请号:CN201380008004.8
申请日:2013-01-21
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
CPC classification number: G01F1/692 , F02D41/182 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , H01L2224/48137 , H01L2224/48247 , H01L2924/1815
Abstract: 为了提供热响应性好的流量测定装置,包括温度检测用的温度检测元件(2)和对上述温度检测元件进行支承固定的导电性的金属引线框架(3),在上述金属引线框架中用于安装上述温度检测元件的金属引线框架的一部分,具有比其它的金属引线框架的板厚薄或者比其它的金属引线框架的宽度细的部分。
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公开(公告)号:CN103994795A
公开(公告)日:2014-08-20
申请号:CN201410244763.0
申请日:2011-09-13
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/383 , G01F1/34 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F1/698 , G01F5/00 , H01L2224/48227 , H01L2224/73265 , H01L2924/10157 , H01L2924/15151 , H01L2924/15153
Abstract: 本发明提供能够抑制每个流量传感器的性能偏差的技术。在本发明的流量传感器(FS1)中,形成为在使形成在半导体芯片(CHP1)上的流量检测部(FDU)露出的状态下利用树脂(MR)覆盖半导体芯片(CHP1)的一部分的结构。在与空气的流动方向平行的方向,树脂(MR)密封半导体芯片(CHP1)的上表面(SUR(CHP))的一部分,从而树脂(MR)的上表面(SUR(MR))的高度比半导体芯片(CHP1)的上表面(SUR(CHP))高,因此能够在流量检测部(FDU)使空气的流动稳定。而且,通过半导体芯片(CHP1)和树脂(MR)的接触面积增加,能够防止半导体芯片(CHP1)和树脂(MR)的界面剥离。
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公开(公告)号:CN110672171B
公开(公告)日:2021-07-13
申请号:CN201910910727.6
申请日:2013-01-21
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 为了提供热响应性好的流量测定装置,包括温度检测用的温度检测元件(2)和对上述温度检测元件进行支承固定的导电性的金属引线框架(3),在上述金属引线框架中用于安装上述温度检测元件的金属引线框架的一部分,具有比其它的金属引线框架的板厚薄或者比其它的金属引线框架的宽度细的部分。
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公开(公告)号:CN107003165B
公开(公告)日:2021-03-09
申请号:CN201580064579.0
申请日:2015-11-18
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
Abstract: 在现有的空气流量计中,对于粒径较大的异物利用惯性力来应对接触检测元件,但是对于粒径在10μm以下的质量非常小的异物,存在在旁通结构内部惯性力几乎不起作用而附着在检测元件上的可能性。另外,上述粒径在10μm以下的质量非常小的异物主要可列举美国SAE标准J726C中规定的AC粉尘等,是对美国亚利桑那的沙漠的沙进行精炼而制造的,已知该沙(沙尘)易于带电,存在带有静电的粒径较小的粉尘附着在检测元件上时,因其库仑力而难以脱离的课题。上述课题能够用以下特征的热式流量传感器解决,其包括检测流量的半导体元件,该半导体元件在硅等半导体基片上形成绝缘层和电阻配线层,存在除去上述基片的一部分而薄膜化的区域(薄膜),在该薄膜区域内设置至少一个以上的加热电阻体(加热部),在其上游和下游配置有检测温度差的测温电阻体,在半导体元件上形成导电性膜,以使上述薄膜内的配线电阻周边区域中的向空气流暴露的表面一侧的电位成为任意的固定电位。
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公开(公告)号:CN109196312B
公开(公告)日:2020-12-18
申请号:CN201780024039.9
申请日:2017-04-20
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够比以往减少流体脉动时的计测误差的热式流量计。热式流量计具备使流通于主通路内的被计测气体(30)的一部分流入的副通路(307)、以及配置在该副通路(307)内的流量计测部(451)。副通路(307)具有设置在流量计测部(451)的计测面(451a)侧的第1通路(351)、设置在流量计测部(451)的背面侧(451b)的第2通路(352)、以及设置在比第1通路(351)的入口更靠第1通路(351)中的被计测气体(30)的顺流方向(F)的上游侧的位置的倾斜通路(361)。倾斜通路(361)在比流量计测部(451)更靠第2通路(352)侧的位置具有相对于顺流方向(F)从第2通路(352)侧朝向第1通路(351)侧倾斜的第1倾斜面(371)。
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公开(公告)号:CN110672170A
公开(公告)日:2020-01-10
申请号:CN201910910710.0
申请日:2013-01-21
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 提供热响应性好的传感器芯片封装,包括:温度检测元件;第一导电性引线框架,支承固定温度检测元件并且与温度检测元件电连接;和第二导电性引线框架,第一导电性引线框架由导电上独立的多个部分构成,温度检测元件以跨越多个部分的方式配置,具有导电性部件,将第一导电性引线框架的多个部分和第二导电性引线框架分别电连接,其截面积比第一导电性引线框架和第二导电性引线框架小;和树脂封装,其以通过树脂将第一导电性引线框架、第二导电性引线框架、导电性部件和温度检测元件包在内部的方式进行覆盖,树脂封装的外周的第一导电性引线框架或第二导电性引线框架的截断面被封闭。
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公开(公告)号:CN107076590B
公开(公告)日:2019-12-24
申请号:CN201580048333.4
申请日:2015-07-10
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
Abstract: 本发明通过降低在副通路流动的被测量气体的流速分布的偏离而提供测量精度良好的热式流量计。摄取在主通路(124)流动的被测量气体(IA)的一部分的副通路(330)具有朝向流量测量元件(602)弯曲的弯曲通路(32a)。在弯曲通路(32a)形成有以在弯曲通路(32a)的外周侧(CO)流动的被测量气体(IA)的压力损失相比弯曲通路(32a)的内周侧(CI)变高的方式来对在外周侧(CO)流动的被测量气体(IA)的流动施加阻力的阻力部(50)。
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公开(公告)号:CN107101685B
公开(公告)日:2019-08-30
申请号:CN201610991536.3
申请日:2012-11-19
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供高精度、高可靠性、且结构简单、更廉价的热式流量计,其包括流量检测元件,该热式流量计的特征在于:包括通过树脂密封驱动流量检测元件的驱动电路、保护驱动电路的保护元件、和用于安装驱动电路的引线框的芯片封装,保护元件通过导电性粘接材料直接安装在引线框上。
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公开(公告)号:CN105190255B
公开(公告)日:2019-03-15
申请号:CN201480016388.2
申请日:2014-01-29
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明用于获得防止污染物对流量检测部的附着的热式流量计,本发明的热式流量计(300)包括流量检测部(602),该流量检测部(602)通过在用于流动从主通路(124)取入的被计测气体(30)副通路与在该副通路流动的被计测气体(30)之间经由热传递面(437)进行热传递,计测上述被计测气体(30)的流量。流量检测部(602)设置成,在副通路内在沿被计测气体(30)的流动方向配置的露出面(402)中露出,在露出面(402),以包围流量检测部(602)的周围的方式形成有台阶部(407),被台阶部包围的内侧区域比台阶部的外侧区域突出。
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公开(公告)号:CN108139250A
公开(公告)日:2018-06-08
申请号:CN201680059781.9
申请日:2016-10-05
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
Abstract: 本发明能够得到能够简单地取得与在供被计量气体通过的场所露出的导体的电连接的流量计。该流量计具备引线和载置于上述引线的电路部件,且具有利用树脂对上述引线的一部分进行模制而成的封装体,该流量计中,上述封装体设有露出部,该露出部使上述引线的一部分从上述树脂材料露出,且与构成副通路的一部分的导体电连接。
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