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公开(公告)号：CN107121084A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201710085875.X
申请日：2017-02-17
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B2210/52
Abstract: 本发明公开了从测量头对目标物体的表面照射光并基于反射光测量形状的方法，特征在于，包括以下步骤：设定为适合于测量目标物体的第1区域的测量条件，并对表面以第1扫描范围和第1扫描间距进行测量，得到第1测量结果的步骤；从第1测量结果求表面之中第1区域以外的第2区域的步骤；以及设定为适合于测量第2区域的测量条件，对表面以比第1扫描范围窄的第2扫描范围和比第1扫描间距细的第2扫描间距进行测量，得到第2测量结果的步骤。
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