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公开(公告)号:CN104567773B
公开(公告)日:2019-10-11
申请号:CN201410592145.5
申请日:2014-10-29
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: 后藤智德
IPC: G01B21/04
Abstract: 本发明涉及臂型三维测量机和支撑该测量机的基部的倾斜校正方法。该臂型三维测量机,包括:多关节臂机构,其前端包括探测器;处理部,用于计算所述探测器的位置;以及倾斜计,用于在用以支撑所述多关节臂机构的基部中,检测所述基部相对于垂直方向的倾斜量,其中,所述处理部计算使用所述基部作为基准的所述探测器的位置,并且基于来自所述倾斜计的输出,来以时间序列方式校正使用所述基部作为基准的所述探测器的位置。
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公开(公告)号:CN107121084B
公开(公告)日:2023-12-29
申请号:CN201710085875.X
申请日:2017-02-17
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了从测量头对目标物体的表面照射光并基于反射光测量形状的方法,特征在于,包括以下步骤:设定为适合于测量目标物体的第1区域的测量条件,并对表面以第1扫描范围和第1扫描间距进行测量,得到第1测量结果的步骤;从第1测量结果求表面之中第1区域以外的第2区域的步骤;以及设定为适合于测量第2区域的测量条件,对表面以比第1扫描范围窄的第2扫描范围和比第1扫描间距细的第2扫描间距进行测量,得到第2测量结果的步骤。
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公开(公告)号:CN1645360A
公开(公告)日:2005-07-27
申请号:CN200510001773.2
申请日:2005-01-19
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01D1/00 , G01B21/045 , G01D3/022 , G06T5/002
Abstract: 本发明提供一种信号处理方法,其特征在于:在输入了测定数据后,选择加权样条式,求出样条滤波的初始,调整权重,计算样条滤波输出,之后进行收敛判断,在判断出该权重非收敛时,更新该权重,反复进行上述权重调整和样条滤波输出的计算,从而对测定数据实施鲁棒样条滤波处理。
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公开(公告)号:CN110686624B
公开(公告)日:2023-04-11
申请号:CN201910600227.2
申请日:2019-07-04
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社三丰
IPC: G01B15/00 , G01N23/046
Abstract: 本发明提供一种利用由X射线CT装置获得的投影像的尺寸测定方法。在测定单一材质的测定对象物W的尺寸时,在使用X射线CT装置(1)获取测定对象物(W)的多个透射像之后,分别生成投影像,将该投影像与在测定对象物(W)的设计中使用的CAD数据的位置对准,使用完成位置对准的CAD数据与投影像之间的关系来计算测定对象物(W)的尺寸。由此,使用设计信息和几十张左右的投影像,以不进行CT重建的方式实现高精度的尺寸测定。
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公开(公告)号:CN110689591A
公开(公告)日:2020-01-14
申请号:CN201910601553.5
申请日:2019-07-04
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社三丰
IPC: G06T11/00 , G06T7/136 , G01N23/046 , G01B15/00 , G01B15/02
Abstract: 本发明提供一种CT重建处理方法。其中,对使用X射线CT装置获取到的测定对象物W的透射像应用用于滤波反投影处理的滤波来生成滤波投影像,对滤波投影像进行图像的低分辨率化、张数的间隔剔除来生成低分辨率的投影像,使用低分辨率的投影像进行CT重建来生成低分辨率的体数据,对低分辨率的体数据的各体素进行临时分割,关于临时分割后的体素,将临时分割前后的体素值进行比较,如果临时分割前后的体素值的差比阈值大,则将该临时分割设为有效,在体数据的体素中反映该临时分割的体素后再继续进行分割,如果临时分割前后的体素值的差比阈值小,则将该临时分割设为无效,结束体素的分割。由此,使CT重建处理显著地高速化。
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公开(公告)号:CN104567773A
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN201410592145.5
申请日:2014-10-29
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: 后藤智德
IPC: G01B21/04
Abstract: 本发明涉及臂型三维测量机和支撑该测量机的基部的倾斜校正方法。该臂型三维测量机,包括:多关节臂机构,其前端包括探测器;处理部,用于计算所述探测器的位置;以及倾斜计,用于在用以支撑所述多关节臂机构的基部中,检测所述基部相对于垂直方向的倾斜量,其中,所述处理部计算使用所述基部作为基准的所述探测器的位置,并且基于来自所述倾斜计的输出,来以时间序列方式校正使用所述基部作为基准的所述探测器的位置。
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公开(公告)号:CN101893433A
公开(公告)日:2010-11-24
申请号:CN201010179654.7
申请日:2010-05-19
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B21/04 , G01B5/008 , G05B19/401 , G05B2219/37194 , G05B2219/37197
Abstract: 本发明提供一种能够安全地执行高精确度的定心的形状测量装置、形状测量方法以及程序。形状测量装置具有将作为旋转体的被测量物配置在第一位置处的控制部。控制部在第一位置处使触头跟踪被测量物的表面与X轴平行地移动,来获取第一测量曲线。控制部使被测量物以Z轴为中心旋转90度,来将被测量物配置到第二位置处。控制部在第二位置处使触头跟踪被测量物的表面与X轴平行地移动,来获取第二测量曲线。控制部分别对第一、第二测量曲线进行圆拟合,算出各圆的最大值在X轴方向的位置。控制部使被测量物沿X轴、Y轴方向移动使得最大值在X轴方向上的位置成为0。
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公开(公告)号:CN110689591B
公开(公告)日:2024-06-21
申请号:CN201910601553.5
申请日:2019-07-04
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社三丰
IPC: G06T11/00 , G06T7/136 , G01N23/046 , G01B15/00 , G01B15/02
Abstract: 本发明提供一种CT重建处理方法。其中,对使用X射线CT装置获取到的测定对象物W的透射像应用用于滤波反投影处理的滤波来生成滤波投影像,对滤波投影像进行图像的低分辨率化、张数的间隔剔除来生成低分辨率的投影像,使用低分辨率的投影像进行CT重建来生成低分辨率的体数据,对低分辨率的体数据的各体素进行临时分割,关于临时分割后的体素,将临时分割前后的体素值进行比较,如果临时分割前后的体素值的差比阈值大,则将该临时分割设为有效,在体数据的体素中反映该临时分割的体素后再继续进行分割,如果临时分割前后的体素值的差比阈值小,则将该临时分割设为无效,结束体素的分割。由此,使CT重建处理显著地高速化。
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公开(公告)号:CN110686624A
公开(公告)日:2020-01-14
申请号:CN201910600227.2
申请日:2019-07-04
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社三丰
IPC: G01B15/00 , G01N23/046
Abstract: 本发明提供一种利用由X射线CT装置获得的投影像的尺寸测定方法。在测定单一材质的测定对象物W的尺寸时,在使用X射线CT装置(1)获取测定对象物(W)的多个透射像之后,分别生成投影像,将该投影像与在测定对象物(W)的设计中使用的CAD数据的位置对准,使用完成位置对准的CAD数据与投影像之间的关系来计算测定对象物(W)的尺寸。由此,使用设计信息和几十张左右的投影像,以不进行CT重建的方式实现高精度的尺寸测定。
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公开(公告)号:CN107121084A
公开(公告)日:2017-09-01
申请号:CN201710085875.X
申请日:2017-02-17
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B2210/52
Abstract: 本发明公开了从测量头对目标物体的表面照射光并基于反射光测量形状的方法,特征在于,包括以下步骤:设定为适合于测量目标物体的第1区域的测量条件,并对表面以第1扫描范围和第1扫描间距进行测量,得到第1测量结果的步骤;从第1测量结果求表面之中第1区域以外的第2区域的步骤;以及设定为适合于测量第2区域的测量条件,对表面以比第1扫描范围窄的第2扫描范围和比第1扫描间距细的第2扫描间距进行测量,得到第2测量结果的步骤。
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