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公开(公告)号：CN101470352A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200810187921.8
申请日：2008-12-23
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/09
CPC classification number: G03F7/091
Abstract: 本发明提供了一种具有抗反射性能的硬掩模组合物。该硬掩模组合物适合用于平版印刷术，提供了优异的光学和机械性能，并表现出高的蚀刻选择性。另外，通过旋涂技术能够容易地施加该硬掩模组合物。使用硬掩模组合物形成的硬掩模层可与集成电路制造工艺相容。有利地，该硬掩模组合物用于短波长平版印刷术。具有抗反射性能的硬掩模组合物及采用该组合物图案化材料的方法。
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