微机电加速度传感器
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119224372A

    公开(公告)日:2024-12-31

    申请号:CN202410852826.4

    申请日:2024-06-28

    Abstract: 本发明涉及一种微机电加速度传感器(1),具有衬底(2)、第一传感器芯(4)和第二传感器芯(5)。传感器芯(4、5)侧向彼此并排地布置在所述衬底(2)的上侧(3)上并且分别具有振动质量(6)、固定电极(7)和可运动电极(8)。固定电极(7)布置在所述衬底(2)的上侧(3)上。可运动电极(8)与振动质量(6)固定地连接。所述固定电极(7)和所述可运动电极(8)垂直于所述衬底(2)并且相互平行延伸地布置并且直接相邻的固定电极(7)和可运动电极(8)分别形成电容器(9)。振动质量(6)分别通过弹簧元件(10)和锚定部(11)悬挂在所述衬底(2)之上,使得所述振动质量(6)能够沿平行于所述衬底(2)和垂直于所述固定电极(7)的第一方向偏转。所述振动质量(6)分别沿偏转方向并且在至少一个固定元件(22)的相对侧上与所述固定元件(22)具有不同的距离。所述第一传感器芯(4)和所述第二传感器芯(5)相同地构造并且所述第二传感器芯(5)相对于所述第一传感器芯(4)具有180°的方位角偏移。

    运行器设备、电容式传感器和运行电容式传感器的方法

    公开(公告)号:CN118049981A

    公开(公告)日:2024-05-17

    申请号:CN202311529047.2

    申请日:2023-11-16

    Abstract: 本发明涉及一种用于电容式传感器的运行器设备,所述运行器设备具有电子装置,借助所述电子装置,在考虑至少第一恒定电压、在在所述振动质量与所述至少一个电极之间施加第一恒定电压的情况下所述振动质量的第一谐波振荡沿着与所述振动质量和所述至少一个电极在中心相交的空间方向的第一固有频率、第二恒定电压和在在所述振动质量与所述至少一个电极之间施加第二恒定电压的情况下所述振动质量的第二谐波振荡沿着与所述振动质量和所述至少一个电极在中心相交的空间方向的第二固有频率的情况下,能够决定所述振动质量与所述至少一个电极之间的实际间隙间距和/或关于所述电容式传感器的敏感度的实际参量。

    扫描系统以及用于扫描系统的发送与接收设备

    公开(公告)号:CN111095019B

    公开(公告)日:2024-02-06

    申请号:CN201880058041.2

    申请日:2018-08-03

    Abstract: 得在旋转的偏转单元(33)上的射束直径减小,旋本发明涉及一种扫描系统(1),该扫描系统 转的偏转单元(33)将所接收的辐射(7)偏转至接具有带有发送器(11)、接收器(13)以及旋转的扫 收器13。描设备2的发送和接收路径(10,12)。发送器(11)发送沿着光轴在发送路径(10)上传播的辐射标对象(4)接收的辐射(7)。此外,旋转的扫描设备(2)包括光学器件(30)和旋转的偏转单元(33),该旋转的偏转单元使发送和接收路径(10,12)的辐射偏转。光学器件(30)具有第一聚焦装置(31)和旋转的第二聚焦装置(32)。旋转的偏转单元(33)和旋转的第二聚焦装置(32)的运动同步地进行,以便确保经偏转的辐射对准第二聚焦装置(32)。此外,第一聚焦装置(31)将由发送器(11)发送的辐射(3)如此成像到旋转的偏转单元(33)上,使得在旋转的偏转单元(33)上的射束直径减小。此外,旋转的偏转单元(33)将辐射(3)偏转到旋转的第二聚焦装置(32)上,旋转的第二聚(3)。由接收器(13)在接收路径(12)上探测由目(56)对比文件CN 1689085 A,2005.10.26DE 102004057738 A1,2006.06.01DE 102005013949 A1,2006.09.28DE 202014101550 U1,2015.07.07JP 2009294036 A,2009.12.17JP H07191142 A,1995.07.28US 2005243394 A1,2005.11.03

    用于运行激光雷达装置的方法、激光雷达装置和激光雷达系统

    公开(公告)号:CN115685139A

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202210892414.4

    申请日:2022-07-27

    Inventor: M·哈塔斯

    Abstract: 本发明涉及用于运行激光雷达装置的方法、激光雷达装置和激光雷达系统。发射器装置(2)构造用于沿着一条线(6)发射电磁辐射(4)的彼此时间偏移的部段(5)。探测器(3)具有多个线形布置的探测通道(11,12,13)。如此发射部段的第一序列(16)和至少第二序列(18)。所述序列至少在两个彼此相继的部段的时间间隔方面不同。基于第一和第二序列的在对象上反射且入射到探测器上的部段来探测第一信号(10)和第二信号(17)。将第一和第二信号的信号强度(15)相加以便获得每个探测通道的和信号(22)。将和信号的信号强度与能预给定的阈值(21)比较,并且,如果信号强度大于能预给定的阈值,则将其辨识为真实的。

    用于运行转速传感器的方法

    公开(公告)号:CN106482722B

    公开(公告)日:2021-07-27

    申请号:CN201610891738.0

    申请日:2016-08-26

    Abstract: 本发明涉及用于运行转速传感器的方法,所述转速传感器具有衬底、相对于衬底可运动的至少一个结构、固定在所述结构上的至少一个第一电极、与衬底固定的至少一个第二电极、与衬底固定的至少一个第三电极、固定在所述结构上的至少一个第四电极、与衬底固定的至少一个第五电极和与衬底固定的至少一个第六电极,其中,所述第一电极至少部分地在第二电极和第三电极之间并且第四电极至少部分地在第五电极和第六电极之间分别在所述结构的静止位置中并且沿着基本上平行于第一轴线的方向布置,其中,在第一方法步骤中,激励所述结构由结构的静止位置振动,所述振动在该振动的至少一个振动周期内的至少一个第一时间区间期间具有基本上平行于一垂直于第一轴线延伸的第二轴线的运动分量。

    扫描系统以及用于扫描系统的发送与接收设备

    公开(公告)号:CN111095019A

    公开(公告)日:2020-05-01

    申请号:CN201880058041.2

    申请日:2018-08-03

    Abstract: 本发明涉及一种扫描系统(1),该扫描系统具有带有发送器(11)、接收器(13)以及旋转的扫描设备2的发送和接收路径(10,12)。发送器(11)发送沿着光轴在发送路径(10)上传播的辐射(3)。由接收器(13)在接收路径(12)上探测由目标对象(4)接收的辐射(7)。此外,旋转的扫描设备(2)包括光学器件(30)和旋转的偏转单元(33),该旋转的偏转单元使发送和接收路径(10,12)的辐射偏转。光学器件(30)具有第一聚焦装置(31)和旋转的第二聚焦装置(32)。旋转的偏转单元(33)和旋转的第二聚焦装置(32)的运动同步地进行,以便确保经偏转的辐射对准第二聚焦装置(32)。此外,第一聚焦装置(31)将由发送器(11)发送的辐射(3)如此成像到旋转的偏转单元(33)上,使得在旋转的偏转单元(33)上的射束直径减小。此外,旋转的偏转单元(33)将辐射(3)偏转到旋转的第二聚焦装置(32)上,旋转的第二聚焦装置(32)将辐射(3)朝着目标对象(4)准直。旋转的第二聚焦装置(32)将由目标对象(4)接收的辐射(7)如此成像到旋转的偏转单元(33)上,使得在旋转的偏转单元(33)上的射束直径减小,旋转的偏转单元(33)将所接收的辐射(7)偏转至接收器13。

    经稳定化的激光雷达系统和用于稳定化的方法

    公开(公告)号:CN110618417A

    公开(公告)日:2019-12-27

    申请号:CN201910536707.7

    申请日:2019-06-20

    Abstract: 本发明涉及一种经稳定化的激光雷达系统和一种用于稳定化的方法。本发明描述一种激光雷达系统,其包括激光器(10),其中,所述激光器(10)构造用于在波长工作范围内发射单色的激光雷达辐射;热元件(20),其设置用于调节所述激光器(10)的工作温度;用于分析处理的装置(22),其构造用于由由所述激光器(10)发射的辐射确定所述辐射的实际波长到所述激光器(10)的波长工作范围内的期望波长的偏差程度;和用于调节的装置(24),其构造用于根据由所述用于分析处理的装置(22)确定的偏差尺度如此控制所述热元件(20),使得将所述激光器(10)的工作温度调整到以下值上:在所述值的情况下,所发射的单色的激光雷达辐射相应于所述期望波长。

    具有带有主延伸平面的衬底的用于探测转速的转速传感器

    公开(公告)号:CN105324634B

    公开(公告)日:2019-06-07

    申请号:CN201480026951.4

    申请日:2014-05-14

    CPC classification number: G01C19/5705 G01C19/5719 G01C19/574 G01C19/5747

    Abstract: 提出具有衬底的用于探测转速的转速传感器,包括初级振动质量块对和次级振动质量块对,初级振动质量块对具有第一初级质量块和第二初级质量块,次级振动质量块对具有第一次级质量块和第二次级质量块,第一初级质量块和第二初级质量块朝向彼此沿着初级偏转方向相对于衬底运动,第一次级质量块和第二次级质量块沿着次级偏转方向相对于衬底运动,第一和第二初级质量块及第一和第二次级质量块反平行地或彼此平行地根据相应的偏转方向运动,其中,主偏转方向垂直于次级偏转方向延伸,初级振动质量块对和/或次级振动质量块对被驱动,使得转速传感器旋转时科里奥利力引起第一初级质量块和第二初级质量块和/或第一次级质量块和第二次级质量块的偏转。

    微机械的惯性传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN103424107A

    公开(公告)日:2013-12-04

    申请号:CN201310177524.3

    申请日:2013-05-14

    Abstract: 建议了用于提高微机械惯性传感器的测量灵敏度的措施,所述惯性传感器包括至少一个具有已处理的正面的ASIC构件(10)、一个具有微机械的传感器结构的MEMS构件(20)以及一个罩形晶片(31)。所述MEMS构件(20)的传感器结构包括至少一个振动质量(25)并且延伸在所述MEMS构件(20)的整个厚度上。所述MEMS构件(20)通过支座结构(15)装配在所述ASIC构件(10)的已处理的正面上,并且通过在所述MEMS衬底(20)中以及在所述支座结构的相邻支架(15)中的穿通接触件(22)与所述ASIC构件(10)电连接。所述罩形晶片(31)装配在所述MEMS构件(20)的微机械传感器结构上方。根据本发明,至少在所述振动质量(25)的区域中构造至少一个在所述MEMS衬底(20)中的盲孔(23),所述盲孔用与所述穿通接触件(22)相同的导电材料填充。这种导电的材料具有比所述MEMS衬底材料更高的密度。

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