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公开(公告)号：KR1019970002997B1
公开(公告)日：1997-03-13
申请号：KR1019930007671
申请日：1993-05-04
Applicant: 대우전자주식회사
IPC: H04N5/74
CPC classification number: G02B26/0858 , H01L41/0831 , H01L41/257 , H01L41/338 , Y10T29/42
Abstract: A manufacturing method of the light path adjuster for the projected image display apparatus where the top part of the ceramic layer having the actuator is polarized by the applied low voltage, and it is easy to re-polarize when the ceramic layers is depolarized.
Abstract translation: 用于投影图像显示装置的光路调节器的制造方法，其中具有致动器的陶瓷层的顶部被所施加的低电压极化，并且当陶瓷层被去极化时容易重新极化。
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公开(公告)号：KR1019960016283B1
公开(公告)日：1996-12-07
申请号：KR1019930004513
申请日：1993-03-23
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 전용배
IPC: H04N5/74
Abstract: an active matrix substrate(31) formed in a matrix; a wire pattern(36) applying a voltage to the top of the substrate(31); a signal electrode(32) delivering the voltage applied to the wire pattern; a common grounding electrode(33) grounding in common with the wire pattern; the first and the second transformation part(38,39) polarized by separating the signal electrode and the common grounding electrode; and a reflective surface(34) which sets the optical path by maintaining a certain slope by the expansion and contraction of the actuator, being attached on top of the first and the second transformation part.
Abstract translation: 形成在矩阵中的有源矩阵基板（31） 向所述基板（31）的顶部施加电压的布线图案（36）; 信号电极（32），传递施加到所述线图案上的电压; 公共接地电极（33）与导线图案共同接地; 第一和第二变换部分（38,39）通过分离信号电极和公共接地电极而被极化; 以及反射表面（34），其通过由致动器的膨胀和收缩保持一定的斜率来设置光路，该反射表面附接在第一和第二变换部分的顶部。
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公开(公告)号：KR1019950022928A
公开(公告)日：1995-07-28
申请号：KR1019930031718
申请日：1993-12-30
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 전용배
IPC: H04N5/74
Abstract: 본 발명은 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로서, 트랜지스터들이 매트릭스 형태로 내장되고 표면에 접촉단자들이 형성된 구동기판의 상부에 제1희생막을 도포하는 공정과, 상기 제1희생막을 패터링하여 접촉단자들과 거울지지부들이 형성될 부분에 제1 및 제2홈들을 형성하고 이 홈들에 제1 및 제2지지부들을 형성하는 공정과, 상기 제1희생막과 제1 및 제2지지부들의 상부에 탄성부를 형성하고 상기 접촉단자들을 노출시키는 제3홈들을 형성하는 공정과, 상기 제3홈들에 플러그를 형성하고 상기 탄성부와 플러그 상부에 신호전극을 형성하는 공정과, 상기 신호전극 상부에 변형부 및 바이어스전극을 형성하고 상기 제1홈들과 제2홈들사이에 일측 모서리가 제2홈들의 타측 모서리가 일치되어 제1희생막을 노출시키는 제4홈들을 형성하는 공정과, 상 바이어스전극 상부에 제4홈들을 통해 제1희생막과 접촉되는 제2희생막을 형성하는 공정과, 상기 제2희생막을 패터닝하여 제2홈들 및 이 제2홈들과 소정거리 이력된 부분의 상부에 제5홈들을 형성하고 이 제5홈들에 제3지지부들을 형성하는 공정과, 상기 제2희생막과 제3지지부들의 상부에 거울을 형성하는 공정과, 상기 제2홈들과 인접하는 액츄에이터의 제1홈들 사이를 제1희생막과 제3지지부들의 상부에 거울을 형성하는 공정과, 상기 제2홈들과 인접하는 액츄에이터의 제1홈들 사이를 제1희생막이 노출되도록 제거하는 공정과, 상기 제1 및 제2희생막들을 제거하는 공정을 구비한다. 따라서, 거울면의 경사각이 변형부들이 경사각 보다 크게되어 광로조절범위가 커지며, 또한 제2지지부들이 변형부들과 탄성부들 사이의 응력을 거울면에 전달되는 것을 방지하므로 거울면이 평탄하게 기울어지게 함으로써 광효율 및 콘트라스트비(contras ratio)를 크게함을 가능하게 된다.
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公开(公告)号：KR1019950022924A
公开(公告)日：1995-07-28
申请号：KR1019930031714
申请日：1993-12-30
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 전용배
IPC: H04N5/74
Abstract: 본 발명은 광로조절장치(500)의 관한 것으로서, 액츄에이터(400)의 응력이나 자중에 의해 거울의 처짐의 불균일성을 방지하기 위해 휨방지 지지부(140)를 형성하여 액츄에이터(400)의 상부에 부착되어 형성된 거울(110)이 균일하게 경사진다. 따라서, 본 발명은 거울(110)의 처짐을 균일하게 하여 동일한 전압으로 동일한 광량을 조절할 수 있어 화면의 균일성을 향상시킨다.
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公开(公告)号：KR1019940027539A
公开(公告)日：1994-12-10
申请号：KR1019930007673
申请日：1993-05-04
Applicant: 대우전자주식회사
IPC: H04N5/74
Abstract: 본 발명은 투사형 화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로 세라믹웨이퍼를 이루는 세라믹층이 상부에 제1금속막과 평행하게 열 방향으로 훔돌을 형성하고, 홈들 내부측면들과 세라믹웨이퍼의 외부측면들에 제2금속막들을 도포한 후 행방향으로 절단하여 최외부의 행을 이루는 것을은 구동되지 않게 되는 액츄에이터들을 한정하고, 상기 구동되지 않는 액츄에이터들의 측면에 도포된 제2금속막들을 제1 및 제2공통전극으로 이용하여 구동가능한 액츄에이터들의 측면에 도포된 제2금속막들을 한 열씩 교호하여 접속한 후 전압을 인가하여 세라믹층을 분극시킨다. 그리고, 액츄에이터들의 제1공통전극과 제2공통전극을 각각 도선으로 연결한 후 별도로 공통접지시킨다. 따라서, 세라믹층들 또는 액츄에이터들의 얇은 탑들 각각을 동시에 낮은 인가 전압으로 분극할 수 있으며, 또한, 제조공정 또는 사용시에 세라믹층들이 탈 분극되어도 액츄에이터들의 제1 및 제2전극들을 별도로 공통접지 시키므로 재분극을 쉽게 할 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019940027535A
公开(公告)日：1994-12-10
申请号：KR1019930007671
申请日：1993-05-04
Applicant: 대우전자주식회사
IPC: H04N5/74
Abstract: 본 발명은 투사형 화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로 세라믹웨이퍼를 이루는 세라믹층의 상부에 제1금속막과 평행하게 홈들을 형성하고, 홈들 내부측면에 제2금속막들로 이루어지고 서로 분리된 제1 및 제2외부전극들을 형성한 후, 또는, 액츄에이터들을 형성하고 제1외부전극들과 제2외부전극들을 별도로 공통접지시킨 후 이 제1 및 제2외부전극들 사이의 각각에 전압을 인가하여 세라믹층들 또는 액츄에이터들의 탑들을 분극시킨다. 그리고, 액츄에이터들의 제1외부전극들과 제2전극들을 각각 도선으로 연결한 후 별도로 공통접지시킨다. 따라서, 세라믹층들 또는 액츄에이터들의 얇은 탑들 각각을 동시에 낮은 인가 전압으로 분극할 수 있는 잇점이 있다. 또한, 제조공정 또는 사용시에 세라믹층들이 탈 분극되어도 액츄에이터들의 제1 및 제2외부전극들을 별도로 공통접지시키므로 재분극을 쉽게할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019940023214A
公开(公告)日：1994-10-22
申请号：KR1019930004502
申请日：1993-03-23
Applicant: 대우전자주식회사
IPC: H04N5/74
Abstract: 본 발명은 투사형화상표시장치의 광로조절수단에 관한 것으로서, 후막 또는 박막형성방법에 의해 순차적으로 적층된 신호전극, 변형부 및 공통전극을 기계적 절삭방법 또는 물리적 식각방법에 의해 가공하여 구조가 간단한 위 또는 아래방향으로 휘는 M×N개의 액츄에이터들을 한정한다. 따라서, 다층 세라믹을 사용하지 않고 후막 또는 박막을 적층한 후 기계적 절삭 또는 물리적 식각을 하여 액츄에이터 어레이를 한정할 수 있으므로 제조방법이 간단하며, 또한, 박막들을 형성하고 물리적 식각하므로 액츄에이터의 크기를 최소화하여 고밀도의 화소를 이룰수 있다.
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公开(公告)号：KR1019940010754A
公开(公告)日：1994-05-26
申请号：KR1019920020366
申请日：1992-10-31
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 전용배
IPC: H04N5/74
Abstract: 본 발명은 투사형 화상표시장치의 액츄에이터에 관한 것이다. 상기 액츄에이터는 구멍을 가지는 절연기판과, 상부보다 하부가 두꺼우며 전계에 의해 변형되는 제1 및 제2변형부들과, 상기 제1 및 제2변형부들의 사이에 개재되어 있는 내부전극과, 상기 내부전극과 평행한 제1및 제2변형부들의 외부표면들에 형성되어 있는 제1및 제2외부전극들과, 상기 절연기판상의 내부전극과 일치하는 부분에 형성되어 이 내부전극과 접촉되는 제1도전물질과, 상기 구멍을 채우며 상기 제1및 제2외부전극들과 접촉되는 제2도전물질을 포함한다. 따라서 상기 액츄에이터는 구조가 간단하고 제조가 쉬우며 내부응력을 작게하여 수명이 길다.
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公开(公告)号：KR1019940010753A
公开(公告)日：1994-05-26
申请号：KR1019920020365
申请日：1992-10-31
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 전용배
IPC: H04N5/74
Abstract: 본 발명은 액츄에이티드 미러 어레이를 구비한 투사형 화상표시장치의 거울의 제조방법에 관한 것으로, 유리기판상에 분리층, 제1, 제2및 제3금속층을 형성한 후 소정 부분을 통상의 방법으로 식각하여 간격을 형성하고, 이 간격의 내부 표면에 포토레지스트패턴을 형성한 후 상기 노출된 제3금속층의 표면에 제4금속층을 형성하고 이 제4금속층의 상부에 액츄에이터를 부착한 다음 유리기판을 제거함으로서 거울을 만든다. 따라서, 각각의 액츄에이터에 간단한 방법으로 동시에 거울을 형성할 수 있는 잇점이 있다.
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