公开(公告)号：KR1020070023611A

公开(公告)日：2007-02-28

申请号：KR1020060080754

申请日：2006-08-24

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 ,  가부시끼가이샤 오크테크 ,  이비덴 가부시키가이샤

Inventor： 야마니시요시키 ,  하라다무네오 ,  기타노다카히로 ,  가와구치다츠조 ,  히로타요시히로 ,  마츠다겐지 ,  야마다긴지 ,  시노다도모타카 ,  왕다오하이 ,  오쿠무라가츠야

IPC: H01G5/00

Abstract: 본 발명은 짧은 소성 시간으로 형성할 수 있으며, 또한, 고품질 유전체층을 구비하는 콘덴서와 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
처리 장치(100) 내의 분위기를 가스 공급원(112) 등에 의해, 예컨대 산소 분위기 등으로 조절한다. 열처리 장치(101) 내의 분위기를 산소 분위기로 하고, 소정정도까지 온도를 상승시킨다. 다음에 열처리 장치(101) 내에 웨이퍼(W)에 불량이 생기지 않는 속도로, 유전체 전구체층이 형성된 웨이퍼 보우트(161)를 로드한다. 로드 후, 열처리 장치(101)의 반응관 안을 소성 온도까지 상승시키고, 소정 시간 소성시킨다. 열처리 장치(101) 내에서 소정 정도까지 냉각시킨 후, 처리 장치(100) 내에서 실온 정도까지 냉각하여 처리 장치(100) 밖으로 반출한다. 또한, 웨이퍼(W) 상에 형성된 유전체 전구체층을 소성하기 전에, 유전체 전구체층 용제의 휘발 온도보다 높고, 또한, 유전체 전구체의 결정화 개시 온도보다 낮은 온도에서 소정 시간 유지하여 잔류 용제를 증발시킨다.
콘덴서, 인터포저, 전극 패드, 유전체, 배리어

公开(公告)号：KR1019970077627A

公开(公告)日：1997-12-12

申请号：KR1019970022293

申请日：1997-05-30

Applicant: 가부시키가이샤 요잔 ,  도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 히로타요시히로 ,  마쯔모토토시유키 ,  쥬코쿠료오 ,  모토하시카주노리

IPC: H01L27/06

Abstract: 용량소자 배선의 기생용량을 억제한다.
단위전극용 인출선과 대국전극용 인출선을 다른 방향으로 인출하고, 접속용 배선의 간격을 충분하게 취한다.