公开(公告)号：KR1020120107844A

公开(公告)日：2012-10-04

申请号：KR1020117031584

申请日：2010-06-09

Applicant: 램 리써치 코포레이션

Inventor： 최브라이언 ,  윤건수 ,  베누고팔비자야쿠마르씨 ,  윌리엄스노먼

IPC: H01L21/66 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32935 ,  H01L22/12

Abstract: 플라즈마 프로세싱 시스템 (플라즈마 프로세싱 챔버를 포함함) 이 웨이퍼들을 처리할 준비가 되어 있는지 여부의 판정을 용이하게 하기 위한 테스트 시스템. 테스트 시스템은 적어도 테스트 프로그램을 저장하는 컴퓨터 판독가능 매체를 포함할 수도 있다. 테스트 프로그램은, 플라즈마 프로세싱 챔버 내에 플라즈마가 존재하지 않는 경우 적어도 하나의 센서에 의해 검출된 신호들로부터 도출된 전기적 파라미터 값들을 수신하기 위한 코드를 포함할 수도 있다. 테스트 프로그램은 또한, 전기적 파라미터 값들 및 수학적 모델을 이용하여 전기적 모델 파라미터 값들을 생성하기 위한 코드를 포함할 수도 있다. 테스트 프로그램은 또한, 전기적 모델 파라미터 값들을 베이스라인 모델 파라미터 값 정보와 비교하기 위한 코드를 포함할 수도 있다. 테스트 프로그램은 또한, 이 비교에 기초하여 플라즈마 프로세싱 시스템의 레디니스를 판정하기 위한 코드를 포함할 수도 있다. 테스트 시스템은 또한, 테스트 프로그램과 연관된 하나 이상의 태스크들을 수행하기 위한 회로 하드웨어를 포함할 수도 있다.

公开(公告)号：KR1020100135764A

公开(公告)日：2010-12-27

申请号：KR1020107021829

申请日：2009-04-03

Applicant: 램 리써치 코포레이션

Inventor： 베누고팔비자야쿠마르씨 ,  페이프에릭 ,  부스진-폴

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/3065

CPC classification number: G01N21/274 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0294 ,  G01J3/443 ,  G01N21/68

Abstract: 플라즈마 챔버 내의 정규화된 광방출 스펙트럼을 정량적으로 측정하도록 플라즈마 방출의 인시츄 광학적 조사를 위한 장치가 제공된다. 상기 장치는 플래시 램프 및 일 세트의 석영창들을 포함한다. 또한, 상기 장치는 상기 세트의 석영창들에 광학적으로 결합된 복수의 시준 (視準) 된 광학 조립체들을 포함한다. 또한, 상기 장치는 적어도 조명 광섬유 번들, 수집 광섬유 번들, 및 기준 광섬유 번들을 포함하는 복수의 광섬유 번들들을 포함한다. 게다가, 상기 장치는 적어도 신호 채널과 기준 채널에 의해 구성되는 다중 채널 분광계를 포함한다. 상기 신호 채널은 적어도 상기 플래시 램프, 상기 세트의 석영창들, 상기 세트의 시준된 광학 조립체들, 상기 조명 광섬유 번들, 및 상기 수집 광섬유 번들에 광학적으로 결합되어 제 1 신호를 측정한다.

公开(公告)号：KR1020100084151A

公开(公告)日：2010-07-23

申请号：KR1020107002040

申请日：2008-06-12

Applicant: 램 리써치 코포레이션

Inventor： 베누고팔비자야쿠마르씨 ,  파프에릭에이

IPC: H01L21/3065 ,  H01J37/32

CPC classification number: H05H1/0025 ,  G02B27/30

Abstract: A method for optical interrogation of plasma during plasma processing in a plasma processing chamber is provided. The method includes providing an optical viewport. The method also includes providing a collimator arrangement. The collimator arrangement is configured with a plurality of collimators, wherein a first collimator of the plurality of collimators is separated by a connecting region from a second collimator in the plurality of collimators. The method further includes collecting optical signals, through the collimator arrangement, from the plasma within the plasma processing chamber while a substrate is being processed, resulting in highly collimated optical signals.

Abstract translation: 提供了一种在等离子体处理室中的等离子体处理期间对等离子体进行光询问的方法。 该方法包括提供光学视口。 该方法还包括提供准直器装置。 准直器装置配置有多个准直器，其中多个准直器中的第一准直仪由多个准直器中的第二准直器的连接区域分开。 该方法还包括在正在处理衬底的同时通过准直器装置从等离子体处理室内的等离子体收集光信号，导致高度准直的光信号。