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公开(公告)号：KR1020020049155A
公开(公告)日：2002-06-26
申请号：KR1020000078254
申请日：2000-12-19
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B6/02
Abstract: PURPOSE: A multi channel optical communication uniform apparatus in module loss change using a mode mismatch is provided, which makes a uniform output power of each channel being output from a completed module. CONSTITUTION: According to an optical device comprising an input waveguide(30) and an output waveguide(38) and an arrayed waveguide grating(AWG) connecting the input and the output waveguide, an output light uniform unit causing a mode mismatch of a propagating output light because width of the output waveguide is different each other. And an optical fiber block(40) comprises a number of optical fibers having a constant distance between them, and its center coincides with a center of the output waveguide. And the above optical fiber is combined to an output port of each corresponding output waveguide respectively.
Abstract translation: 目的：提供一种使用模式不匹配的模块损耗变化的多通道光通信统一设备，这使得每个通道的均匀输出功率从完成的模块输出。 构成：根据包括输入波导（30）和输出波导（38）和连接输入和输出波导的阵列波导光栅（AWG）的光学装置，输出光均匀单元，其导致传播输出的模式失配 因为输出波导的宽度彼此不同。 并且光纤块（40）包括在它们之间具有恒定距离的多个光纤，并且其中心与输出波导的中心重合。 并且将上述光纤分别组合到每个对应的输出波导的输出端口。
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公开(公告)号：KR100263611B1
公开(公告)日：2000-09-01
申请号：KR1019980011069
申请日：1998-03-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/306
Abstract: PURPOSE: A method for forming a trench is provided to form a trench by using an inductively coupled plasma etching device. CONSTITUTION: A thin film is formed on a substrate(200). A pattern mask for exposing the thin film is formed on the thin film. The exposed thin film is patterned by using an inductively coupled plasma-etching device. The inductively coupled plasma-etching device is formed with a cathode, an inductively coupled plasma coil, and a chamber. A trench(204) is formed on the patterned thin film by increasing an RF power applied to the inductively coupled plasma-etching device.
Abstract translation: 目的：提供一种用于形成沟槽的方法，以通过使用电感耦合等离子体蚀刻装置形成沟槽。 构成：在基板（200）上形成薄膜。 在薄膜上形成用于曝光薄膜的图形掩模。 通过使用电感耦合等离子体蚀刻装置对暴露的薄膜进行构图。 电感耦合等离子体蚀刻装置由阴极，电感耦合等离子体线圈和腔室形成。 通过增加施加到电感耦合等离子体蚀刻装置的RF功率，在图案化的薄膜上形成沟槽（204）。
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公开(公告)号：KR1020000019589A
公开(公告)日：2000-04-15
申请号：KR1019980037766
申请日：1998-09-14
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B6/24
CPC classification number: G02B6/30
Abstract: PURPOSE: An apparatus for arranging an optical wave guide element and an optical fiber block and a method for combining the same are provided to arrange an optical wave guide element and an optical fiber block by using an inside and an outside bending optical wave guide. CONSTITUTION: An apparatus for arranging an optical wave guide element and an optical fiber block comprises a light source(200), an input optical fiber block(204), an output optical fiber block(208), and a measuring unit(210), and a controller(212). A method for combining the same comprises the steps of: transmitting an input light divided into a first array optical fiber; arranging the input array optical fiber and a bending optical wave guide of the optical element; arranging finely to maximize the light output from the output array optical fiber; and adhering the input signal light transmission optical fiber, both sides of the wave guide, and the output signal light transmission optical fiber.
Abstract translation: 目的：提供一种用于布置光波导元件和光纤块的装置及其组合方法，以通过使用内弯曲光波导和外弯曲光波导来布置光波导元件和光纤块。 构成：用于配置光波导元件和光纤块的装置包括光源（200），输入光纤块（204），输出光纤块（208）和测量单元（210）， 和控制器（212）。 其组合方法包括以下步骤：发射分为第一阵列光纤的输入光; 布置输入阵列光纤和光学元件的弯曲光波导; 精细地布置以最大化来自输出阵列光纤的光输出; 并附着输入信号光传输光纤，波导两侧和输出信号光传输光纤。
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公开(公告)号：KR1019990086172A
公开(公告)日：1999-12-15
申请号：KR1019980019033
申请日：1998-05-26
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/3065
Abstract: 본 발명은 플라즈마 챔버를 이용한 건식 식각시 기판을 냉각시켜주는 기판 냉각장치에 관한 것으로, 이러한 기판냉각장치는 기판을 식히기 위해 냉각가스를 주입하는 냉각가스 주입구, 냉각가스에 의해 기판을 식힌후 냉각가스을 배출하는 냉각가스 배출구 및 냉각가스 주입구를 통해 냉각가스을 주입시 기판이 밀려나는 것을 방지하기 위해 기판의 테두리를 눌러 고정하며, 식각과정에서 발생되는 불순물이 기판으로부터 빠져나가도록 기판의 테두리와 접촉되는 부위에 홈을 구비하는 클램프를 포함함을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 홈을 갖는 클램프를 구비한 기판 냉각장치를 사용함으로써, 기판 둘레 전체가 클램프와 접촉하지 않고 기판의 부분부분만 접촉하므로 불순물의 배출을 원활하게 하는 클램프의 구조로 인한 식각 성능의 저하 및 기판손상을 막을 수 있는 이점이 있다.-
公开(公告)号：KR1019990030656A
公开(公告)日：1999-05-06
申请号：KR1019970050967
申请日：1997-10-02
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B6/02
Abstract: 광도파로(optical waveguide) 제조 방법을 개시한다. 본 발명은, 기판 상에 하위 클래딩층(cladding layer) 및 코아층(core layer)을 형성한다. 이때, 코아층은 실리카층(silica layer), 광폴리머층(optical polymer layer) 또는 산화물 단결정층 등으로 형성된다. 다음에, 코아층 상에 마스크 패턴(mask pattern)형성한다. 다음에, 노출되는 코아층을, 제1RF 파워(first Radio Frequency power)가 인가되는 음극 전극, ICP 코일(Inductively Coupled Plasma coil) 및 챔버(chamber)를 포함하는 ICP 장치를 이용하는 식각 방법으로 패터닝(patterning)하여, 도파로를 형성한다. 이때, ICP 장치를 이용하는 식각 방법은 다음과 같은 방법으로 수행된다. 먼저, 마스크 패턴이 형성된 기판을 음극 전극 상에 도입한다. 다음에, 음극 전극에 제1RF 파워를 인가하고, ICP 코일에 제2RF 파워를 인가하며, 챔버에 반응 가스를 포함하는 반응 가스를 공급하여 플라즈마(plasma)를 발생시켜, 노출되는 코아층을 식각한다. 다음에, 도파로를 뒤덮는 상위 클래딩층을 형성한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019990030655A
公开(公告)日：1999-05-06
申请号：KR1019970050966
申请日：1997-10-02
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B6/02
Abstract: 광도파로(optical waveguide) 제조 방법을 개시한다. 본 발명은, 기판 상에 하위 클래딩층(cladding layer) 및 코아층(core layer)을 형성한다. 다음에, 코아층 상에 크롬(Cr)층 등과 같은 금속층으로 마스크 패턴(mask pattern)형성한다. 다음에, 노출되는 코아층을, 제1RF 파워(first Radio Frequency power)가 인가되는 음극 전극, ICP 코일(Inductively Coupled Plasma coil) 및 챔버(chamber)를 포함하는 ICP 장치를 이용하는 식각 방법으로 패터닝(patterning)하여, 도파로를 형성한다. 이때, ICP 장치를 이용하는 식각 방법은 다음과 같은 방법으로 수행된다. 먼저, 마스크 패턴이 형성된 기판을 음극 전극 상에 도입한다. 다음에, 음극 전극에 제1RF 파워를 인가하고, ICP 코일에 제2RF 파워를 인가하며, 챔버에 SF
6 가스를 포함하는 반응 가스를 공급하여 플라즈마(plasma)를 발생시켜, 노출되는 코아층을 식각한다. 다음에, 도파로를 뒤덮는 상위 클래딩층을 형성한다.-
公开(公告)号：KR100429850B1
公开(公告)日：2004-09-18
申请号：KR1019970050965
申请日：1997-10-02
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B6/02
Abstract: PURPOSE: A method for fabricating an optical waveguide is provided to improve resolution of the waveguide formed by realizing a thin mask pattern, and to increase productivity by performing a core layer etching process rapidly. CONSTITUTION: According to the method, a core layer is formed on a substrate. A metal mask pattern revealing the core layer is formed on the core layer. And a waveguide(350) is formed by patterning the revealed core layer using an etching method using an inductively coupled plasma apparatus including a cathode electrode applied with the first RF power and an inductively coupled plasma coil and a chamber.
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公开(公告)号：KR100393610B1
公开(公告)日：2003-08-02
申请号：KR1020000076457
申请日：2000-12-14
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B6/02
Abstract: PURPOSE: A multichannel optical communication module loss change uniformization apparatus using a disturbance element is provided to uniformly output a power of each channel outputted from a complete module when manufacturing a module by arranging a nonuniform output power in each channel with an optical block. CONSTITUTION: The multichannel optical communication module loss change uniformization apparatus includes an input waveguide(30). A first star coupler(32) is connected to an output terminal of the input waveguide(30). An arrayed waveguide grating(34) is connected to an output terminal of the first star coupler(32). A second star coupler(36) is connected to the arrayed waveguide grating(34). An output waveguide(38) is connected to an output terminal of the second star coupler(36). A disturbance element(40) increases a disturbance of a power which advances to the output waveguide(38) as an arranged output waveguide is located in a center to induce a desired output feature.
Abstract translation: 目的：提供一种使用干扰元件的多通道光通信模块损耗变化均匀化装置，用于在通过用光学块在每个通道中布置不均匀输出功率来制造模块时，从完整模块输出的每个通道的功率均匀输出。 组成：多信道光通信模块损耗变化均匀化装置包括输入波导（30）。 第一星形耦合器（32）连接到输入波导（30）的输出端子。 阵列波导光栅（34）连接到第一星形耦合器（32）的输出端。 第二星形耦合器（36）连接到阵列波导光栅（34）。 输出波导（38）连接到第二星形耦合器（36）的输出端。 当布置的输出波导位于中心以引起期望的输出特征时，干扰元件（40）增加了前进到输出波导（38）的功率的扰动。
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公开(公告)号：KR100357851B1
公开(公告)日：2002-10-25
申请号：KR1020000078254
申请日：2000-12-19
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B6/02
Abstract: 본 발명은 모드 부정합을 이용한 다채널 광통신 모듈 손실 변화 균일화 장치에 관한 것으로서, 개시된 장치는 입/출력 도파로와, 상기 입/출력 도파로간을 연결하는 광도파로 열 격자를 구비한 광 소자에 있어서, 상기 출력 도파로의 폭이 상이하여 진행하는 출력광의 모드 부정합을 일으키는 출력광 균일화 수단; 및 상호간의 거리가 일정한 다수 개의 광섬유를 구비하며, 상기 출력 도파로의 센터와 일치하며, 상기 각각의 대응하는 출력 도파로의 출력단에 상기 광섬유가 각각 결합되는 광섬유 블럭으로 구성된다.
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公开(公告)号：KR100296384B1
公开(公告)日：2001-07-12
申请号：KR1019990023273
申请日：1999-06-21
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G02B6/12019 , G02B6/12033 , G02B6/4225
Abstract: 본발명은정렬도파로를구비한광파장분할기/결합기및 그정렬장치에관한것으로, 정렬도파로를구비한광파장분할기/결합기는복수개의입력도파로; 입력도파로로부터입력되는광신호를배분하는제1성형결합기; 서로다른길이를갖는복수의도파로를통해배분된광신호를도파하여도파된광신호가서로다른위상을갖게하는광도파로어레이격자; 서로다른위상을갖는광신호를회절시켜서서로간섭이일어난광신호를출력하는제2성형결합기; 제2성형결합기에연결되어간섭이일어난광신호를출력하는복수개의출력도파로; 및제1성형결합기의출력단에연결되고, 광도파로어레이격자및 출력도파로들의바깥쪽에형성되어제1성형결합기에서출력되는광신호를파장과무관하게도파하는복수의정렬도파로를포함함을특징으로한다. 본발명에의하면, 광파장분할기/결합기와같은광도파로소자를광섬유블럭과결합할때 기능수행에필요한도파로외에정렬도파로를구비함으로써기능수행과무관하게정렬할수 있다.
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