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公开(公告)号：KR100369811B1
公开(公告)日：2003-01-29
申请号：KR1020010004278
申请日：2001-01-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B6/43
CPC classification number: H05B1/0233 , G05D23/1919 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: Disclosed is an optical device module having a heat transfer medium via a phase transformation for overcoming the non-uniform temperature distribution. The optical device module includes an optical device that requires temperature control; a temperature sensor for detecting the temperature of the optical device; a heat source for generating heat; and, a heat transfer medium, disposed between the heat source and the optical device, with a number of heat pipes inside thereof.
Abstract translation: 公开了一种光学装置模块，其具有经由相变的传热介质以克服不均匀的温度分布。 光学器件模块包括需要温度控制的光学器件; 温度传感器，用于检测光学装置的温度; 一个用于产生热量的热源; 以及布置在热源和光学装置之间的传热介质，其内部具有多个热管。 ＆lt;图像＆GT;
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公开(公告)号：KR1020020063691A
公开(公告)日：2002-08-05
申请号：KR1020010004278
申请日：2001-01-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B6/43
CPC classification number: H05B1/0233 , G05D23/1919 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: PURPOSE: An optical device module comprising a heat transfer medium using a state change is provided, which prevents a performance degradation of the optical device due to the ununiformity of a temperature distribution of a heat transfer plate, and thus assures a good characteristics of the optical device. CONSTITUTION: According to the optical device module comprising a heat transfer medium using a state change, a temperature control is required in an optical device(100), and a temperature sensor(110) senses a temperature of the optical device. A heat source(130) generates a heat. And a heat transfer medium is attached between the heat source and the optical device, and comprises a number of heat pipes in its inside. The optical device and the heat transfer medium and the heat source are attached using a thermal grease or a solder. The heat source is constituted with a TEC(Temperature Electric Cooler).
Abstract translation: 目的：提供一种包括使用状态变化的传热介质的光学器件模块，其防止由于传热板的温度分布不均匀导致的光学器件的性能劣化，从而确保光学器件的良好特性 设备。 构成：根据包括使用状态变化的传热介质的光学器件模块，在光学器件（100）中需要温度控制，并且温度传感器（110）感测光学器件的温度。 热源（130）产生热量。 并且传热介质附接在热源和光学装置之间，并且在其内部包括多个热管。 光学装置和传热介质和热源使用导热油脂或焊料附着。 热源由TEC（温度电冷却器）构成。
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公开(公告)号：KR100299124B1
公开(公告)日：2001-09-06
申请号：KR1019980051262
申请日：1998-11-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B6/02
Abstract: 본 발명은 1xN 광파장분할기 정렬 장치 및 이를 위한 1xN 광파장분할기에 관한 것으로, 1xN 광파장분할기는 입력되는 신호광의 파장이 통신영역파장이면, 신호광을 파장에 따라 N개로 분할하여 출력하고, 신호광이 통신파장이외 파장영역의 광이면 N개의 도파로이외의 정렬 도파로들로 신호광을 출력하는 1xN 광파장분할기; 신호광을 1xN 광파장분할기로 전달하도록 단심의 광섬유를 구비하는 단심 광섬유 블럭; N개 도파로의 출력측에 연결되는 N개의 광섬유 및 정렬 도파로들의 출력측에 연결되는 정렬 광섬유들을 구비하는 다심 광섬유 블럭; 정렬 광섬유들로부터 출력되는 광의 세기를 측정하는 측정부; 및 측정부로부터 광의 세기를 전달받아 그 세기가 최대가 되도록 단심 광섬유 블럭과 상기 정렬 도파로들, 정렬 도파로들과 다심 광섬유 블럭을 미세 정렬하는 제어부를 포함함을 특징으로한다.
본 발명에 의하면, 1xN 광파장분할기의 정렬시 통신파장이외 파장의 광을 광파장분할기의 외곽 도파로로 출력하여 정렬함으로써 파장에 무관하게 정렬할 수 있으므로 개개 소자의 파장특성을 정확히 알고 있을 필요가 없다. 따라서, 용이하고 빠른 정렬 및 접착이 가능하며 장비구성도 간단해진다.-
公开(公告)号：KR1020010003111A
公开(公告)日：2001-01-15
申请号：KR1019990023273
申请日：1999-06-21
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G02B6/12019 , G02B6/12033 , G02B6/4225
Abstract: PURPOSE: Divider/combiner of optical wavelength having aligning waveguide and an aligning apparatus thereof are provided to operate alignment regardless of performing functions through arranging the aligning waveguide. CONSTITUTION: The first shaping combiner(202) distributes optical signals inputted from input waveguides(201). An optical waveguide array grate(203) waveguides the distributed optical signals for the waveguided optical signals to have different phases. The second shaping combiner(204) diffracts the optical signals for outputting interfering optical signals. Output waveguides(205) output the interfering optical signals. Aligning waveguides(250) waveguide the optical signals from the first shaping combiner regardless of wavelength.
Abstract translation: 目的：提供具有对准波导的光波长的分频器/组合器及其对准装置，以便通过布置对准波导来执行功能，而不管其是否执行功能。 构成：第一整形组合器（202）分配从输入波导（201）输入的光信号。 光波导阵列格栅（203）波导用于波导光信号的分布式光信号以具有不同的相位。 第二整形组合器（204）衍射用于输出干涉光信号的光信号。 输出波导（205）输出干扰光信号。 对准波导（250）波导来自第一成形组合器的光信号，而不管波长。
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公开(公告)号：KR100265796B1
公开(公告)日：2000-10-02
申请号：KR1019980019035
申请日：1998-05-26
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/3065
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a porous film using inductively coupled plasma etching is provided to maintain mechanical intensity high and to control simultaneously porosity, size, distribution, and direction by using an inductively coupled plasma etching. CONSTITUTION: A film(222) is formed on a substrate(221). A mask pattern is formed on predetermined position of the film(222) formed on the substrate(221) in order to generate fine holes. A cathode electrode is applied to the substrate(221) formed with the mask pattern. The first RF(Radio Frequency) power is applied to the cathode electrode. The second RF power is applied to an inductively coupled plasma coil. A reaction gas is injected into a chamber in order to generate plasma(223). The exposed film(222) is etched.
Abstract translation: 目的：提供使用电感耦合等离子体蚀刻制造多孔膜的方法，以通过使用电感耦合等离子体蚀刻来保持机械强度高并且同时控制孔隙率，尺寸，分布和方向。 构成：在基板（221）上形成膜（222）。 在形成在基板（221）上的膜（222）的预定位置上形成掩模图案，以便产生细孔。 将阴极施加到形成有掩模图案的基板（221）上。 将第一RF（射频）功率施加到阴极。 第二RF功率被施加到电感耦合等离子体线圈。 将反应气体注入室以产生等离子体（223）。 暴露的膜（222）被蚀刻。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100468793B1
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：KR1019970057998
申请日：1997-11-04
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 송형승
IPC: H01L21/3065
Abstract: PURPOSE: A substrate cooling apparatus for a plasma etch apparatus using an inductively coupled plasma chamber is provided to efficiently cool a substrate and control a cooling temperature by attaching a cooling tube with good thermal conductivity to the lower part of a clamp such that the cooling tube directly cools the substrate. CONSTITUTION: A thermal conductive cooling tube(305) cools a substrate(306) on an electrode(301) in a plasma etch process using an inductively coupled plasma chamber, attached to the lower part of a clamp(302). A coolant control part(307) supplies and circulates coolant to control the temperature of the coolant. A coolant transfer part transfers the coolant supplied from the coolant control part to the thermal conductive cooling tube and transfers the coolant exhausted from the thermal conductive cooling tube to the coolant control part to circulate the coolant. A clamp support part for supporting the clamp is formed of a pipe type. The clamp support part of the pipe type is formed as one body with the thermal conductive cooling tube to use the clamp support part as the coolant transfer part, so that the coolant is circulated through the clamp support part and the thermal conductive cooling tube in an etch process.
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公开(公告)号：KR100429849B1
公开(公告)日：2004-09-18
申请号：KR1019970050362
申请日：1997-09-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B6/136
Abstract: PURPOSE: A method for forming an etch mask used in fabricating a planar lightwave guide is provided to prevent the damage of an epi layer like a mask pattern and a lightwave guide, and to form a more accurate mask pattern and to increase etch rate of a mask layer. CONSTITUTION: A lightwave guide is formed on a substrate(100). A mask layer is formed on the lightwave guide. A photoresist pattern revealing the mask layer is formed on the mask layer. And a mask pattern(550) is formed by patterning the revealed mask layer with an etching method using an inductively coupled plasma apparatus including a cathode electrode applied with the first RF power and an inductively coupled plasma coil and a chamber, using the photoresist pattern as a mask.
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公开(公告)号：KR100283952B1
公开(公告)日：2001-03-02
申请号：KR1019980037766
申请日：1998-09-14
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B6/24
Abstract: 본 발명은 광도파로 소자와 광섬유 블럭의 정렬 장치 및 그 결합 방법에 관한 것으로, 신호광을 전송하는 기능 도파로, 기능 도파로 주변에 위치하는 내부 및 외부 도파로를 구비한 광도파로 소자를 광섬유 블럭과 정렬하는 장치에 있어서, 광원; 기능 도파로의 일측에 연결되는 복수의 제1기능 광섬유 및 광원에서 생성된 광을 전송하도록 내부 및 외부 도파로의 일측에 정렬되는 복수의 제1정렬 광섬유를 구비하는 제1광섬유 블럭; 기능 도파로의 타측에 연결되는 복수의 제2기능 광섬유 및 내부 및 외부 도파로의 타측에 정렬되는 복수의 제2정렬 광섬유를 구비하는 제2광섬유 블럭; 제2정렬 광섬유에서 출력되는 광의 세기를 측정하는 측정부; 및 측정부로부터 광의 세기를 전달받아 그 세기가 최대가 되도록 제1광섬유 블럭과 광도파로 소자, 광도파로 소자와 제2광섬유 블럭을 미세 정렬하는 제어부를 포함함을 특징으로한다.
본 발명에 의하면, 도파로형 광소자 정렬시, 정렬 입출력 광섬유 및 광소자의 내부 및 외부 곡선 도파로를 이용하여 정렬하므로 파장에 무관하게 정렬할 수 있으므로 개개 소자의 파장특성을 정확히 알고 있을 필요가 없다.-
公开(公告)号：KR1019980073463A
公开(公告)日：1998-11-05
申请号：KR1019970008734
申请日：1997-03-14
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 송형승
IPC: G02B26/00
Abstract: 본 발명은 집적광학 반사형 광변조기에 관한 것으로서, 특히 종래의 집적광학 광변조기와 비교하여 보다 작은 사이즈와 보다 낮은 구동전압을 갖는 광변조기에 관한 것이다.
본 발명에 따른 집적광학 반사형 광변조기는, 기판에 형성된 입력광도파로에 마다가 형성되고 상기 벌크형 광파워분할기에서 출력되는 광신호는 출력도파로와 Y형 광파워분할/결합기에 각각 접속되며 상기 Y형 광파워분할/결합기에서 분기되는 제1, 2광도파로는 변조영역에 인가되는 전계에 의해 굴절율이 변화되며 상기 제1, 2광도파로의 끝단은 광신호를 반사시키는 거울을 포함함을 특징으로 하며, 여기서, 상기 거울에서 반사된 광신호들은 변조영역을 다시 겨쳐 Y형 광파워분할/결합기에서 다시 합쳐져 벌크형 광파워분할기를 통하여 출력도파로로 광신호가 출력된다.
본 발명에 의하면 변조영역에 있는 각각의 광도파로단에 거울을 부착시키고 상기 거울에 의해 반사된 광신호를 Y형 광파워분할/결합기에서 결합시킨 후 벌크형 광파워분할기로 반사시켜 출력도파로에 출력시킴으로써, 변조영역에 있는 광도파로 길이를 반으로 줄일 수 있어 구동전압을 상승시키지 않고 광변조기를 소형으로 제작할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1019970048682A
公开(公告)日：1997-07-29
申请号：KR1019950064237
申请日：1995-12-29
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 송형승
IPC: G02B26/00
Abstract: 1. 청구 범위에 기재된 발명이 속한 기술분야 낮은 전압으로도 구동되며 빛의 전송효율을 높이고 굴절율변화를 일정하게 하기 위한 광도파로를 가지는 광변조기에 관한 것이다.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제 낮은 전압으로도 구동되며 빛의 전송 효율을 높이고 굴절율변화를 일정하게 하기 위한 광도파로를 가지는 광변조기를 제공함에 있다.
3. 발명의 해결방벙의 요지 소정의 두께로 성장된 광전기 재료 내에 빛이 전송되는 특정 이온이 확산된 도파로를 가지며 상기 도파로의 상부에는 전계를 만들기 위한 제1전극으로 상기 빛의 흡수를 방지하기 위하여 버퍼층을 가지며 상기 광전기 재료의 하단부에는 상기 도파로의 폭과 동일한 폭으로 형성된 제2전극을 가지는 것을 요지로 한다.
4. 발명의 중요한 용도 광변조기에 적합하게 사용된다.
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